Kun­den­spe­zi­fi­sche Kon­zep­te und Lösun­gen für Abgas­rei­ni­gung

Der Schutz von Mensch und Umwelt ist der grund­le­gen­de Anspruch an Pro­duk­te zur Abgas­rei­ni­gung. Moder­ne Lösun­gen von DAS Envi­ron­men­tal Expert zie­len stets dar­auf ab, wei­te­re Wert­schöp­fungs­po­ten­tia­le zu erschlie­ßen.

Erwei­ter­te Lösun­gen für Abgas­rei­ni­gung

 

Die Mög­lich­kei­ten zur Erwei­te­rung des indi­vi­du­el­len Ent­sor­gungs-kon­zep­tes sind viel­fäl­tig. Je nach loka­len Gege­ben­hei­ten und Phi­lo­so­phie der Her­stel­ler von High­tech-Pro­duk­ten bestehen unter­schied­li­che Ansprü­che an die Umwelt­tech­nik.

Lösun­gen von DAS Envi­ron­men­tal Expert adres­sie­ren dabei vor allem erwei­ter­te Sicher­heits­aspek­te, Kos­ten- und Ener­gie­ein­spa­rungs-poten­tia­le sowie moder­nen Ser­vice.

IPAS – Inte­gra­ti­on von Pum­pen und Abgas­rei­ni­gung

 

Mit dem IPAS-Kon­zept (Inte­gra­ted Pump and Aba­te­ment Solu­ti­on) erwei­tert DAS Envi­ron­men­tal Expert das Port­fo­lio im Bereich Abgas­rei­ni­gung um eine inte­grier­te Lösung von Abgas­rei­ni­gung und Pum­pen in einem Schrank. Die­ses Kon­zept ist mit allen DAS-Abgas­rei­ni­gungs­an­la­gen mög­lich. Auch bei der Wahl des Pum­pen­lie­fe­ran­ten sind unse­re Kun­den fle­xi­bel. Optio­nal kön­nen Absor­ber­kar­tu­schen und Ent­sor­gungs­lö­sun­gen für Fein­staub inte­griert wer­den.

Durch kur­ze Ver­bin­dun­gen zwi­schen Pum­pe und Abgas­rei­ni­gung sinkt das Risi­ko von Lecka­ge und Ver­blo­ckun­gen. Die kom­bi­nier­te Lösung benö­tigt, im Ver­gleich zu den ein­zel­nen Sys­te­men, weni­ger Flä­che und arbei­tet mit einem gemein­sa­men Inter­face.

Lösun­gen für erwei­ter­ten Sicher­heits­be­darf

DAS-Anla­gen behan­deln unter ande­rem brenn­ba­re, kor­ro­si­ve, toxi­sche und reak­ti­ve Abga­se. Die Sicher­heit der Ent­sor­gung ist somit unent­behr­lich. Ein hohes Maß an Sen­so­rik in den DAS-Sys­te­men erlaubt daher jeder­zeit die Über­wa­chung des Anla­gen­sta­tus. Dar­über hin­aus bie­ten wir unse­ren Kun­den ver­schie­de­ne indi­vi­du­el­le Mög­lich­kei­ten:

  • SEMI S2-Zer­ti­fi­zie­rung: Die Richt­li­nie SEMI S2 defi­niert Umwelt‑, Gesund­heits- und Sicher­heits­aspek­te für Anla­gen der Halb­lei­ter­indus­trie. Abgas­rei­ni­gungs­an­la­gen von DAS ent­spre­chen die­ser Richt­li­nie und kön­nen optio­nal vor jeder Aus­lie­fe­rung indi­vi­du­ell zer­ti­fi­ziert wer­den.
  • Back­up-Funk­ti­on: Unse­re DUO-Sys­te­me erlau­ben die Umlei­tung von Gas­strö­men inner­halb der Anla­ge auf einen zwei­ten Bren­ner im Fall von War­tungs­ein­sät­zen.
  • IPAS-Kon­zept: Die Inte­gra­ti­on von Abgas­rei­ni­gung und Pum­pen in einer Anla­ge ermög­licht kur­ze Ver­bin­dun­gen zwi­schen den Kom­po­nen­ten und senkt somit das Risi­ko von Lecka­ge und Ver­blo­ckun­gen.
  • Schutz von Dop­pel­sys­te­men: Mehr­kam­mer-Pro­zess­an­la­gen stel­len neue Her­aus­for­de­run­gen an die Kapa­zi­tä­ten von Abgas­rei­ni­gungs­an­la­gen. Unse­re Ant­wort ist das Dop­pel­sys­tem TILIA. Auf Kun­den­wunsch haben wir hier eine Stahl­wand ein­ge­baut, wel­che die ein­zel­nen Sys­te­me von­ein­an­der trennt. Erhö­hung der Funk­ti­ons­si­cher­heit: Im Rah­men von Pro­dukt­neu- und ‑wei­ter­ent­wick­lun­gen führt DAS suk­zes­si­ve Steue­run­gen mit inhä­ren­ter Aus­fall­si­cher­heit ein, so genann­te Safe­ty-SPS. Hier­durch wird nicht nur die Anla­ge siche­rer son­dern gleich­zei­tig die Feh­ler­su­che ver­ein­facht und beschleu­nigt.

Stei­ge­rung der Pro­zess­sta­bi­li­tät

Hoch­tech­no­lo­gie-Fer­ti­gung ist dann am effi­zi­en­tes­ten, wenn alle Pro­zes­se stö­rungs­frei lau­fen und der idea­le Durch­satz erreicht wird. Da Point-of-Use Abgas­rei­ni­gungs­an­la­gen direkt mit der Pro­zess­an­la­ge ver­bun­den sind, hat die Lauf­zeit des Ent­sor­gungs­sys­tems einen unmit­tel­ba­ren Ein­fluss auf die Fer­ti­gung.

Durch unse­re Back­up-Lösun­gen gewähr­leis­ten wir einen lau­fen­den Betrieb, indem Abgas­strö­me inner­halb der Anla­ge auf einen zwei­ten Bren­ner umge­lei­tet wer­den, wenn am ers­ten Bren­ner War­tungs­ar­bei­ten durch­ge­führt wer­den müs­sen. Dies ermög­licht eine 99,9%ige Ver­füg­bar­keit der DAS-Abgas­rei­ni­gungs­an­la­gen.

Neben die­ser bewähr­ten Lösung grei­fen auch jün­ge­re tech­no­lo­gi­sche Ent­wick­lun­gen das The­ma Pro­zess­sta­bi­li­tät auf. Unser Gas­wä­scher SALIX wur­de bei­spiels­wei­se ent­wi­ckelt, um Abga­se aus der Sin­gle­wa­fer-Nass­rei­ni­gung zu ent­sor­gen. Die­se Abga­se wur­den bis­her über Swit­ching Boxes in die ent­spre­chen­de Abgas­ent­sor­gung gelei­tet. Dies war ver­bun­den mit einer gerin­gen Fle­xi­bi­li­tät gegen­über Pro­zess­wech­seln. Im Fall von SALIX füh­ren alle Pro­zess­kam­mern eines Pro­zess­tools direkt in den Nass­wä­scher, der nur an einen zen­tra­len Abluft­ka­nal ange­schlos­sen ist.

Poten­tia­le zur Ener­gie­ein­spa­rung

Das größ­te Poten­ti­al für Ener­gie­ein­spa­rung bei Abgas­rei­ni­gungs­an­la­gen liegt in der Kopp­lung des Sys­tems mit der Pro­zess­an­la­ge. Über eine Kopp­lung (z. B. poten­ti­al­freie Kon­tak­te, Ether­net) kann die Anla­ge mit unter­schied-lichen Bren­ner­leis­tun­gen lau­fen oder in ver­schie­de­ne Ruhe­zu­stän­de schal­ten. Die Umset­zung die­ses Kon­zepts hat im Feld Ener­gie­ein­spa­run­gen von bis zu 20 % erge­ben. Die­se Maß­nah­me opti­miert außer­dem den Ver­brauch von Brenn­gas (z. B. Erd­gas), Oxidant (Druck­luft bzw. Sauer­stoff), Was­ser, Kühl­was­ser und Lau­ge.

Con­nec­ted Ser­vice

 

Pro­ak­ti­ve Daten­ana­ly­se gewinnt zuneh­mend an Bedeu­tung, um früh­zei­tig Pro­ble­me an Anla­gen erken­nen zu kön­nen und Lösun­gen im Ide­al­fall bereits vor einem Aus­fall bereit­zu­stel­len. DAS ent­wi­ckelt hier­bei ver­schie­de­ne Lösun­gen.