Kundenspezifische Konzepte und Lösungen für Abgasreinigung

Der Schutz von Mensch und Umwelt ist der grundlegende Anspruch an Produkte zur Abgasreinigung. Moderne Lösungen von DAS Environmental Expert zielen stets darauf ab, weitere Wertschöpfungspotentiale zu erschließen.

Erweiterte Lösungen für Abgasreinigung

 

Die Möglichkeiten zur Erweiterung des individuellen Entsorgungs-konzeptes sind vielfältig. Je nach lokalen Gegebenheiten und Philosophie der Hersteller von Hightech-Produkten bestehen unterschiedliche Ansprüche an die Umwelttechnik.

Lösungen von DAS Environmental Expert adressieren dabei vor allem erweiterte Sicherheitsaspekte, Kosten- und Energieeinsparungs-potentiale sowie modernen Service.

IPAS – Integration von Pumpen und Abgasreinigung

 

Mit dem IPAS-Konzept (Integrated Pump and Abatement Solution) erweitert DAS Environmental Expert das Portfolio im Bereich Abgasreinigung um eine integrierte Lösung von Abgasreinigung und Pumpen in einem Schrank. Dieses Konzept ist mit allen DAS-Abgasreinigungsanlagen möglich. Auch bei der Wahl des Pumpenlieferanten sind unsere Kunden flexibel. Optional können Absorberkartuschen und Entsorgungslösungen für Feinstaub integriert werden.

Durch kurze Verbindungen zwischen Pumpe und Abgasreinigung sinkt das Risiko von Leckage und Verblockungen. Die kombinierte Lösung benötigt, im Vergleich zu den einzelnen Systemen, weniger Fläche und arbeitet mit einem gemeinsamen Interface.

Lösungen für erweiterten Sicherheitsbedarf

DAS-Anlagen behandeln unter anderem brennbare, korrosive, toxische und reaktive Abgase. Die Sicherheit der Entsorgung ist somit unentbehrlich. Ein hohes Maß an Sensorik in den DAS-Systemen erlaubt daher jederzeit die Überwachung des Anlagenstatus. Darüber hinaus bieten wir unseren Kunden verschiedene individuelle Möglichkeiten:

  • SEMI S2-Zertifizierung: Die Richtlinie SEMI S2 definiert Umwelt-, Gesundheits- und Sicherheitsaspekte für Anlagen der Halbleiterindustrie. Abgasreinigungsanlagen von DAS entsprechen dieser Richtlinie und können optional vor jeder Auslieferung individuell zertifiziert werden.
  • Backup-Funktion: Unsere DUO-Systeme erlauben die Umleitung von Gasströmen innerhalb der Anlage auf einen zweiten Brenner im Fall von Wartungseinsätzen.
  • IPAS-Konzept: Die Integration von Abgasreinigung und Pumpen in einer Anlage ermöglicht kurze Verbindungen zwischen den Komponenten und senkt somit das Risiko von Leckage und Verblockungen.
  • Schutz von Doppelsystemen: Mehrkammer-Prozessanlagen stellen neue Herausforderungen an die Kapazitäten von Abgasreinigungsanlagen. Unsere Antwort ist das Doppelsystem TILIA. Auf Kundenwunsch haben wir hier eine Stahlwand eingebaut, welche die einzelnen Systeme voneinander trennt. Erhöhung der Funktionssicherheit: Im Rahmen von Produktneu- und -weiterentwicklungen führt DAS sukzessive Steuerungen mit inhärenter Ausfallsicherheit ein, so genannte Safety-SPS. Hierdurch wird nicht nur die Anlage sicherer sondern gleichzeitig die Fehlersuche vereinfacht und beschleunigt.

Steigerung der Prozessstabilität

Hochtechnologie-Fertigung ist dann am effizientesten, wenn alle Prozesse störungsfrei laufen und der ideale Durchsatz erreicht wird. Da Point-of-Use Abgasreinigungsanlagen direkt mit der Prozessanlage verbunden sind, hat die Laufzeit des Entsorgungssystems einen unmittelbaren Einfluss auf die Fertigung.

Durch unsere Backup-Lösungen gewährleisten wir einen laufenden Betrieb, indem Abgasströme innerhalb der Anlage auf einen zweiten Brenner umgeleitet werden, wenn am ersten Brenner Wartungsarbeiten durchgeführt werden müssen. Dies ermöglicht eine 99,9%ige Verfügbarkeit der DAS-Abgasreinigungsanlagen.

Neben dieser bewährten Lösung greifen auch jüngere technologische Entwicklungen das Thema Prozessstabilität auf. Unser Gaswäscher SALIX wurde beispielsweise entwickelt, um Abgase aus der Singlewafer-Nassreinigung zu entsorgen. Diese Abgase wurden bisher über Switching Boxes in die entsprechende Abgasentsorgung geleitet. Dies war verbunden mit einer geringen Flexibilität gegenüber Prozesswechseln. Im Fall von SALIX führen alle Prozesskammern eines Prozesstools direkt in den Nasswäscher, der nur an einen zentralen Abluftkanal angeschlossen ist.

Potentiale zur Energieeinsparung

Das größte Potential für Energieeinsparung bei Abgasreinigungsanlagen liegt in der Kopplung des Systems mit der Prozessanlage. Über eine Kopplung (z. B. potentialfreie Kontakte, Ethernet) kann die Anlage mit unterschied-lichen Brennerleistungen laufen oder in verschiedene Ruhezustände schalten. Die Umsetzung dieses Konzepts hat im Feld Energieeinsparungen von bis zu 20 % ergeben. Diese Maßnahme optimiert außerdem den Verbrauch von Brenngas (z. B. Erdgas), Oxidant (Druckluft bzw. Sauerstoff), Wasser, Kühlwasser und Lauge.

Connected Service

 

Proaktive Datenanalyse gewinnt zunehmend an Bedeutung, um frühzeitig Probleme an Anlagen erkennen zu können und Lösungen im Idealfall bereits vor einem Ausfall bereitzustellen. DAS entwickelt hierbei verschiedene Lösungen.