ESCAPE(燃燒/水洗) 使用端廢氣處理設備
達思DAS Environmental Expert以燃燒/水洗處理技術為基礎開發出ESCAPE產品系列。該款系統能處理半導體與太陽能產業各種製程所產生的廢氣，系統的媒材供應並可視需求變換。
所有ESCAPE系統佔用空間甚小，並可從前方與背面拆殼以進行維護保修。安裝流程迅速簡易，不須使用特殊裝備。透過製程工具介面並可協助用戶優化營運成本及公眾安全。
ESCAPE的運作原理
製程廢氣的危險物質在產生處便直接進行減排(使用端)，廢氣為直接輸送到環狀的燃燒爐。系統會根據廢氣的化學成分進行不同種類的反應(氧化、還原、熱分解)，而在後續的清洗流程中，燃燒產生的易溶、氣相、以及固態成份都會透過適合的清洗液進行吸收與冷卻。清洗過程將中和許多燃燒產物，例如鹵化氫。透過整體性減排概念來運用ESCAPE，將使高科技產業製造商能符合德國當地空污法律(TA Luft)的嚴格標準。
ESCAPE DUO – 具備援功能的廢氣處理方案
ESCAPE DUO 是DAS達思系統的長銷型標準版機種，其配備雙反應室設計，提供兩個能同時運行的清洗系統。該款機種針對4個獨立進氣管線進行優化設計，當其中一個反應室故障或進行維護時，其他備援反應室將接手處理所有廢氣(內部備援)，確保設備達到將近100%的正常運作時間。此款系統能使用不同燃燒氣體與清洗液，並透過封閉循環設計來降低用水量。
規格
- 每個反應室最多配置2個獨立廢氣與備援管線
- 透過備援功能運作時間可達到99%以上
- 第二反應室能在維護時持續運行不停機
- 能使用不同燃燒氣體與清洗液
- 透過封閉循環設計減少用水量
- 提供兩種(高度)尺吋
技術資料
- 尺吋 (寬x 深 x 高): 1650 mm x 675 mm x 1800/2070 mm
- 可從前方與背面拆殼進行維護與保修
- 進氣接管:最多4個DN25 或DN40
- 出氣接管:最多2個DN100
更多ESCAPE 產品
ESCAPE INLINE
ESCAPE INLINE 是我們基本款系統，經過優化設計可提供最多4個獨立進氣接口。其能使用多種燃燒氣體與清洗液。反應室可採用有助省水的封閉循環設計做為廢氣洗滌液流通處理替代方案。
技術資料
- 尺吋(寬x深x高)
- 855 mm x 675 mm x 1800/2070 mm
- 可從前方與背面拆殼進行維護與保修
- 進氣接管:最多4個DN25 或DN40
- 出氣接管:DN100
ESCAPE配置選項
所有ESCAPE系統均提供以下設備選項:
- 電源供應器:3個400 V/50 Hz或3 個 208 V/60 Hz
- 燃燒氣體:天然氣、液化天然氣、氫氣
- 氧化劑:氧、CDA
- 加熱饋線
- 製程工具介面
- 警訊燈
- 防漏盤
- 地震安全套件
- 監控
- SEMI S2 認證
認證
ESCAPE DUO SEMI Zertifikat
