Point-of-Use Abgasreinigung mit ESCAPE (burn/wet)
Auf der Grundlage der Brenner/Wäscher-Technologie hat DAS Environmental Expert die ESCAPE-Produktlinie entwickelt, die sehr flexibel und kundenspezifisch zur Reinigung unterschiedlichster Prozessabgase der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie eingesetzt wird. Die Medienversorgung der Systeme kann variabel ausgeführt werden.
Abgasreinigung – ESCAPE
Behandlung von Abgasen mit ESCAPE
ESCAPE-Abgaswäscher (burn/wet) können platzsparend aufgestellt werden. Der Zugang für Bedienung und Wartung erfolgt von der Vorder- bzw. Rückseite. Die Wartung funktioniert einfach und schnell, ohne dass spezielle Werkzeuge benötigt werden. Eine Prozesskopplung ist sowohl zur Erhöhung der allgemeinen Sicherheit als auch zur Optimierung der Betriebskosten sinnvoll.
Funktionsprinzip der Abgasreinigung mit ESCAPE
Die Abgase werden direkt am Ort ihres Entstehens (Point-of-Use) beseitigt. Dazu werden die Prozessabgase in einen ringförmigen Brenner geleitet. Abhängig von ihrer chemischen Zusammensetzung kommt es zu verschiedenen Reaktionen (Oxidation, Reduktion, Pyrolyse).
Im anschließenden Waschprozess werden die im Verbrennungsprozess entstandenen löslichen, gasförmigen und festen Bestandteile durch eine entsprechende Waschflüssigkeit gebunden. Gleichzeitig erfolgt die schnelle Abkühlung der Verbrennungsprodukte durch die Waschflüssigkeit.
Halogenwasserstoffsäuren, die im Verbrennungsprozess entstehen, werden sofort ausgewaschen und neutralisiert. Der Einsatz von ESCAPE im Rahmen eines umfassenden Entsorgungskonzeptes ermöglicht somit die Einhaltung der TA Luft (rechtliche Vorschrift zur Reinhaltung der Luft).
ESCAPE DUO – Abgasreinigung mit Backup-Funktion
ESCAPE DUO ist unser Standardmodell, welches sich vielfach in der Industrie bewährt hat. Es besteht aus zwei Brenner/Wäscher-Systemen, die parallel zueinander arbeiten. Das Doppelsystem ist optimiert für bis zu vier unabhängige Schadgaseinlässe. Im Falle einer Betriebsstörung oder der Wartung eines Reaktors übernimmt der jeweils andere Reaktor die vollständige Abgasbehandlung (internes Backup). Dadurch wird eine nahezu 100-prozentige Verfügbarkeit der Prozessanlage(n) erreicht. Unterschiedliche Brenngase und Waschflüssigkeiten können verwendet werden. Die Anlage ist mit einem wassersparenden Waschflüssigkeits-Kreislaufsystem ausgestattet.
Spezifikationen
- Je Reaktor bis zu zwei getrennte Schadgaseinlässe
- Backup-Funktion der DUO-Systeme erlaubt Verfügbarkeiten größer als 99 %
- Backup-Reaktor erlaubt unterbrechungsfreien Betrieb während der Wartung
- Verschiedene Brenngase und Waschflüssigkeiten möglich
- In zwei Höhen verfügbar
- Geringer Wasserverbrauch aufgrund des Kreislaufsystems
Technische Daten
- Größe (B x T x H): 1650 mm x 675 mm x 1800/2070 mm
- Wartungsfläche vor und hinter der Anlage
- Gaseinlässe: max. 4 x DN25 oder DN40
- Gasauslass: max. 2 x DN100
Optionen für die Konfiguration von ESCAPE
Grundsätzlich können alle ESCAPE-Anlagen wie folgt optional ausgestattet werden
- Stromversorgung: 3 x 400 V/50 Hz oder 3 x 208 V/60 Hz
- Brenngas: NG, LPG, H2
- Oxidant: O2, CDA
- Heizung für Schadgaseinlässe und ‑leitungen
- Prozess-Tool-Interface
- Signalampel
- Tropfwanne
- Erdbeben-Sicherheitsset
- Monitoring
- SEMI S2-Zertifizierung
Zertifikate
