排ガス処理のカスタムソリューション
廃ガス処理製品には、人と環境を守るための法規・基準への対応が求められます。
DASは装置・技術・プロセスを進化させ、価値を高める革新的なソリューションを提供します。

次世代の排ガス処理ソリューション
個別の排ガス処理コンセプトは、さまざまな方法で強化できます。
設置スペースの制約や材料要件、先進技術に対するお客様の考え方など、現場ごとの条件によって環境技術に求められる内容は異なります。
DAS Environmental Expertsのソリューションは、安全性の向上をはじめ、コスト削減や省エネルギー、最先端のサービスに重点を置いています。

IPAS ― ポンプ一体型排ガス処理ソリューション
IPAS(Integrated Pump and Abatement Solution)は、ポンプと排ガス処理装置を1つのキャビネットに集約した統合ソリューションで、DAS Environmental Expertsの製品ラインアップを拡張します。
このコンセプトは、すべてのDAS排ガス処理システムで採用可能です。お客様はポンプのメーカーを自由に選択でき、吸収カートリッジや微粒子向けの処理機能を追加することも可能です。
ポンプと排ガス処理装置を近接配置することで、漏れや詰まりのリスクを低減します。
また、個別にシステムを設置する場合と比べて省スペースで、共通のインターフェースにより操作もシンプルになります。
安全性をさらに高めるソリューション
DASのシステムは、可燃性・腐食性・有毒・反応性などのさまざまな排ガスを処理します。そのため、処理プロセスにおける安全性は最優先事項です。
DASシステムには高度なセンサー技術が搭載されており、常に稼働状況を監視できます。
さらに、お客様のニーズに合わせて、さまざまな個別オプションをご用意しています。主な内容は以下の通りです:
SEMI S2認証
SEMI S2は、半導体製造装置における環境・健康・安全に関するガイドラインです。
DAS EEの排ガス処理システムはこれに準拠しており、ご要望に応じて納品前の認証取得にも対応しています。バックアップ機能
メンテナンス時には、DUOシステムがガスの流れをシステム内のもう一つのバーナーへ切り替えます。IPASコンセプト
排ガス処理とポンプを一体化することで、各機器間の接続距離を短縮し、漏れや詰まりのリスクを低減します。
ダブルシステムの保護
多チャンバーのプロセス設備では、排ガス処理装置の処理能力に新たな課題が生じます。これに対し、DASはダブルシステム「TILIA」を提供しています。
ご要望に応じて、2つのシステムを分離するステンレス製の仕切りを設置することも可能です。機能安全の向上
新製品の開発や既存製品の改良の中で、DAS EEは「Safety SPS」を導入しています。これは、フェイルセーフ技術を組み込んだ段階的な制御機構で、設備の安全性を高めるとともに、トラブル対応の簡素化と迅速化を実現します。

プロセスの安定性向上
ハイテク製造では、すべてのプロセスがスムーズに稼働し、最適なスループットを達成することで最大の効率が得られます。
ポイント・オブ・ユース(PoU)型の排ガス処理装置はプロセス設備に直接接続されているため、その稼働時間は生産に大きな影響を与えます。
DASのバックアップソリューションは、バーナーの定期メンテナンス時でも、ガスの流れをシステム内の別のバーナーへ切り替えることで、安定した運転を維持します。
この技術により、DAS EEの排ガス処理システムは99.9%の高い稼働率を実現しています。

SALIX(スクラバー)によるプロセス安定性の向上
最新技術により、プロセスの安定性をさらに高めています。
ガススクラバー SALIX は、シングルウェハのウェット洗浄で発生する排ガスを効率的に処理します。従来のようにスイッチングボックスを使う必要がなく、柔軟な運用が可能です。各プロセスチャンバーはスクラバーに直接接続され、排ガスは1つの中央排気ダクトに集約されます。

省エネを実現するソリューション
排ガス処理装置における最大の省エネ効果は、処理システムをプロセス装置に直接連携することで生まれます。無電位接点やイーサネットで接続することで、処理装置はバーナー出力を調整したり、待機モードへ切り替えたりすることが可能になります。これにより、20%以上の省エネルギーも実現できます。さらに、燃料ガス(天然ガス)や酸化剤(圧縮空気、CDA、酸素)に加え、水・冷却水・アルカリ薬液などの消費も最適化されます。

コネクテッドサービス
システムの不具合を早期に検知し、故障が発生する前に対応するため、プロアクティブなデータ分析の重要性が高まっています。
DAS Environmental Expertsでは、こうした予防型のデータ分析に向けたさまざまなソリューションを開発しています。