廃ガス処理のためのカスタマイズされたコンセプトとソリューション
廃ガス処理のソリューション強化
廃ガス処理用の製品は、人命と環境を守る基本的な法律や基準を満たさなければなりません。革新的なDAS環境エキスパートのソリューションは、処理装置、方法、プロセスを強化・進化させることで、製品価値を高める新たな可能性を常に切り開こうと努めています。個々の排ガス処理コンセプトを強化する可能性は数多くあります。
設置面積の制限、特定の材料要件、ハイテク製品に関するお客様の考え方など、地域の状況によって環境技術への要求はさまざまです。DAS環境エキスパートのソリューションは、何よりもまず、安全パラメータの拡大、コストとエネルギー節約の可能性、そして最先端のサービスに対応しています。
IPAS – 統合ポンプ・廃ガス処理ソリューション
IPASコンセプト(Integrated Pump and Abatement Solution)により、DAS Environmental Expertsは廃ガス処理とポンプを1つのキャビネットに統合したソリューションで、廃ガス処理のポートフォリオを拡大しました。このコンセプトはDASのすべての排ガス処理プラントで実現可能です。お客様はポンプサプライヤーを選択し、オプションの吸収カートリッジや微粉塵の除害ソリューションを統合することができます。
ポンプと排ガス処理プラント間の接続が短いため、漏れや閉塞のリスクが低くなります。2つの独立したシステムを利用するのに比べ、この複合ソリューションではスペースが少なくて済み、共通のインターフェースで作動します。
安全性向上のためのソリューション
DASシステムは、可燃性、腐食性、毒性、反応性の廃棄ガスや、その他の類似物質を処理します。そのため、除害プロセス中の安全性は最優先事項です。DAS-システム内部の洗練されたセンサー技術により、システムの状態を常に監視することができます。さらに、私たちはお客様に以下のような多様な個別オプションを提供しています:
- SEMI S2-認証: SEMI S2安全ガイドラインは、半導体製造装置の環境、健康、安全に関する規定を定めています。DASの排ガス処理システムは、このガイドラインに準拠しており、オプションで各システムを納入前に認証することも可能です。
- バックアップ機能 メンテナンスの際、DUO-システムはガスフローをシステム内のセカンドバーナーに振り向けるよう設計されています。
- IPASコンセプト: 廃ガス処理とポンプを1つのシステムに統合することで、システムコンポーネント間の接続を短縮し、漏れや閉塞のリスクを低減します。
- 二重システムの保護 マルチチャンバー・プロセス設備は、排ガス処理プラントの能力に新たな課題をもたらします。当社の対応策は、ダブルシステムTILIAです。お客様のご要望により、2つのシステムを空間的に分離するステンレス製の壁を設置しました。
- 機能安全の向上: 新製品開発と製品改良の一環として、DASはセーフティSPSを導入しました。セーフティSPSは、プラントの安全性を高め、トラブルシューティングを簡素化・迅速化する故障安全技術を統合した連続制御機構です。
プロセスの安定性の向上
ハイテク製造業は、すべての工程が円滑に進み、理想的な処理能力が達成されたときに最も効率的になります。使用時排ガス処理プラントはプロセス設備と直結しているため、排ガス処理システムの運転時間は生産に直接影響します。
当社のバックアップ・ソリューションは、1台のバーナーに定期メンテナンスが必要な場合に、プラント内のガス流を2台目のバーナーに再指向することで、操業が円滑に行われることを保証します。このバックアップ技術は、DAS排ガス処理プラントの99.9%の稼働率を保証します。
このソリューションとともに、当社の最新の最先端技術開発は、プロセスの安定性というテーマに取り組んでいます。当社のガスクラバーSALIXは、枚葉式ウェット洗浄からの排ガスを除去するように設計されています。これまでは、これらの排ガスは、スイッチボックスを経由して、それぞれの排ガス除去システムに導かれ、プロセス変更時の柔軟性を低下させていました。SALIXでは、単一のプロセスツールのすべてのプロセスチャンバーがスクラバーに直接接続され、中央の排気ダクト1本に接続されます。
省エネルギーの可能性
廃ガス処理プラントにおけるエネルギー節約の最大の可能性は、廃ガス処理システムをプロセスツールに直接リンクさせることにある。例えば、無電位接点やイーサーネットを介して両者を接続することで、処理プラントは異なるバーナー容量で運転したり、アイドルモードに切り替えたりすることができる。このコンセプトを実現することで、20%を超える省エネが可能になる。さらに重要なことに、この方法は燃料ガス(天然ガスなど)と酸化剤(圧縮空気、圧縮乾燥空気(CDA))、酸素、水、冷却水、灰汁)の消費を最適化する。
コネクティッドサービス
理想的にはシステム障害が発生する前にシステムの問題を検出し、解決策を提供するために、プロアクティブデータ解析の重要性が高まっています。DASの環境専門家は、プロアクティブデータ解析のための多様なソリューションを開発しています。