降低矽薄膜太陽能電池大規模生產線的成本

由於薄膜太陽能生產線面臨降低成本的壓力，我們啟動了一項降低廢氣處理系統運作成本的工作。

前提條件是，廢氣去除效率（DRE）不能降低。我們針對維護和廠務消耗的改進方案，在生產條件下進行了6個月的現場測試。

一張顯示包含ESCAPE、GIANT和EDC元件的技術示意圖，圖中左側展示了具有前後接觸的結構，而右側顯示了KAI、a-Si和μc-Si組件的排列及其連接方式。

Baoding Tianwei薄膜太陽能生產線概覽

非晶矽/微晶矽化學氣相沉積（a-Si/μc-Si CVD）製程設備使用大量的四氫化矽（SiH4）、氫氣（H2）、三氟化氮（NF3）、三甲基溴（TMB）和三聚苯胺（PH3）作為摻雜氣體。這些製程氣體具有自燃性、爆炸性或對環境有害。因此，製程廢氣需透過燃燒/水洗式技術等使用端處理方式進行處理，並配合靜電式集塵系統。每天大約產生100公斤二氧化矽粉塵和180公斤氫氟酸，這些污染物會被收集在處理系統中。TCO製程設備的廢氣中含有二乙基二苯醚（DEZ）、氧化鋅（ZnO）顆粒和碳氫化合物。每台TCO設備都連接到一組燃燒/水洗式廢氣處理系統，可氧化可燃化合物並截留粒狀物。