透過旋轉式微塵集塵器DALEA,進行使用端 (Point-of-Use) 廢氣處理
RDC系列系統使用離心力分離細微粉塵微粒。此系統採用純機械轉子—定子原理。
旋轉式微塵集塵器能減少微米及最細微粉塵微粒高達98%的排放量。處理量高達390 m³/h,結構精巧、占用空間小。DALEA通常設在大多數製程廢氣處理系統後端搭配使用。可從設備的前方或背面拆殼操作維護。
DALEA – 減少使用端 (Point-of-Use) 的微米及奈米微粒的排放量
DALEA 是一款旋轉式微塵集塵器,可對含有微粒或懸浮微粒的製程廢氣進行使用端 (Point-of-Use) 處理,處理量高達 390 m³/h。這款外接微細粉塵分離器的結構精巧、占用空間小。此外,轉子為鼓風機的作用,將廢氣向前推進;這樣可防止壓力損失,甚至支援正常情況下的抽排運作。
規格
- 可連接上游廢氣處理設備的外接集塵解決方案
- 處理量高達390 m³/h
- 占地空間小
- 可產生額外的負壓
- 維護需求少
技術資料
- 尺寸(深×寬×高):980 mm x 780 mm x 1658/2012 mm
- 可從設備前方與背面拆殼進行維護
- 進氣接管:DN200
- 出氣接管:DN200
所有DALEA系統都提供以下設備選配方案
- 電源供應:3 x 400 V/50 Hz 或 3 x 208 V/60 Hz
- 用於連接管線的附加清洗液分配器
- 製程工具介面
- 訊號塔
- 滴水盤
- 地震安全套件
- 監控
- SEMI S2認證