透過旋轉式微塵集塵器DALEA,進行使用端 (Point-of-Use) 廢氣處理

RDC系列系統使用離心力分離細微粉塵微粒。此系統採用純機械轉子—定子原理。

廢氣處理 – DALEA

使用DALEA處理廢氣

旋轉式微塵集塵器能減少微米及最細微粉塵微粒高達98%的排放量。處理量高達390 m³/h,結構精巧、占用空間小。DALEA通常設在大多數製程廢氣處理系統後端搭配使用。可從設備的前方或背面拆殼操作維護。

DALEA旋轉式微塵集塵器的運作原理

使用高速旋轉圓盤將水柱霧化。從而產生最細微水滴組成的水霧,利用離心力將當中的粉塵微粒分離。轉子能確保在不損失壓力的情況下,將廢氣吸入並向前推進。轉子和定子之間的剪切間隙產生的渦流,可確保水霧和載有微粒的製程氣體彼此有效混合。微細粉塵微粒懸浮在水中;廢氣經過淨化後可自由排放到環境中。

Operation Principal DALEA NoSensors

DALEA – 減少使用端 (Point-of-Use) 的微米及奈米微粒的排放量

DALEA 是一款旋轉式微塵集塵器,可對含有微粒或懸浮微粒的製程廢氣進行使用端 (Point-of-Use) 處理,處理量高達 390 m³/h。這款外接微細粉塵分離器的結構精巧、占用空間小。此外,轉子為鼓風機的作用,將廢氣向前推進;這樣可防止壓力損失,甚至支援正常情況下的抽排運作。

DALEA

規格

  • 可連接上游廢氣處理設備的外接集塵解決方案
  • 處理量高達390 m³/h
  • 占地空間小
  • 可產生額外的負壓
  • 維護需求少

技術資料

  • 尺寸(深×寬×高):980 mm x 780 mm x 1658/2012 mm
  • 可從設備前方與背面拆殼進行維護
  • 進氣接管:DN200
  • 出氣接管:DN200

所有DALEA系統都提供以下設備選配方案

  • 電源供應:3 x 400 V/50 Hz 或 3 x 208 V/60 Hz
  • 用於連接管線的附加清洗液分配器
  • 製程工具介面
  • 訊號塔
  • 滴水盤
  • 地震安全套件
  • 監控
  • SEMI S2認證

技術資料

SEMI2 Certificate DALEA