運用濕式水洗的廢氣處理設備
濕式廢氣處理設備(wet scrubber)能有效率地處理製程廢氣中的水溶性有害物質。濕式廢氣處理設備主要運用在半導體與LED產業上，使用端(POU)濕式廢氣處理系統能保護晶圓廠的排氣系統免受污染與侵蝕。
DAS達思系統濕式廢氣處理設備簡介
體積小巧的濕式廢氣處理設備處理效率極高，投資成本卻很低廉。運作成本則可透過製程工具介面進行優化。
AQUABATE — 濕式廢氣處理設備
DAS達思系統的小體積濕式廢氣處理設備AQUABATE能支援各種彈性與客製化的設計。這系列廢氣處理設備不僅能以高效率處理各種廢氣，而且佔地極小，運作成本更低。
SALIX – 專為Wet Bench製程設計的濕式廢氣處理設備
SALIX是DAS達思系統的使用端濕式廢氣處理設備，專門在單晶圓濕式清洗台(Wet Bench)上處理廢氣。這款系統不僅能彈性配合製程變更，還能節省空間與無塵室空氣，效能勝過以往較舊的處理概念。