運用濕式水洗的廢氣處理設備

濕式廢氣處理設備(wet scrubber)能有效率地處理製程廢氣中的水溶性有害物質。濕式廢氣處理設備主要運用在半導體與LED產業上,使用端(POU)濕式廢氣處理系統能保護晶圓廠的排氣系統免受污染與侵蝕。

DAS達思系統濕式廢氣處理設備簡介

體積小巧的濕式廢氣處理設備處理效率極高,投資成本卻很低廉。運作成本則可透過製程工具介面進行優化。

AQUABATE  – 濕廢氣處理設備

DAS達思系統的小體積濕式廢氣處理設備AQUABATE能支援各種彈性與客製化的設計。這系列廢氣處理設備不僅能以高效率處理各種廢氣,而且佔地極小,運作成本更低。

SALIX – 專為Wet Bench製程設計的濕式廢氣處理設備

SALIX是DAS達思系統的使用端濕式廢氣處理設備,專門在單晶圓濕式清洗台(Wet Bench)上處理廢氣。這款系統不僅能彈性配合製程變更,還能節省空間與無塵室空氣,效能勝過以往較舊的處理概念。