TSUGA：從碩士論文到成功除氮氧化合物(DeNOx)解決方案 TSUGA：從碩士論文到成功除氮氧化合物(DeNOx)解決方案 HomeArticles Posted by Jenny Kolewa 在半導體生產中，有效去除氮氧化物 (NOx) 至關重要。這些有害化合物是在生產過程中產生的，對環境和健康構成重大風險。DAS Environmental Experts 以創新的解決方案支援客戶有效淨化這些有害廢氣。 DeNOx 是用來去除半導體生產過程中產生的氮氧化物，以及隨後在 Subfab 中淨化製程氣體的製程。氮氧化物是危害環境和人類的有害化合物。DeNOx...
矽薄膜(Thinfilm Silicon)案例分享 提升矽薄膜太陽能電池生產線的廢氣處理能力以降低成本 HomeArticles Posted by digitalwert 效能更提升的廢氣處理設備 由於薄膜太陽能電池生產線面臨壓低成本的壓力，因此業界積極著手降低廢氣處理系統的運轉成本。 DRE(破壞去除效率)不能降低的前提下。設備維護與廠務水電氣消耗方面的改良規劃，會在生產條件下實地測試六個月。 保定天威(Baoding Tianwei)集團薄膜太陽能電池生產線介紹...
濕式清洗台製程案例分享 半導體製程濕式清洗台在使用端處理有害氣體之新觀念 HomeArticles Posted by digitalwert 使用端(Point-of-Use)系統取代切換箱(Switching Boxes) 在廢氣處理領域中，半導體生產線處理濕式化學製程廢氣的慣用方法是運用中央濕式廢氣處理設備，但若涉及揮發性有機化合物(VOCs)，則會運用中央廢氣焚化爐(thermal oxidizers)。 儘管如此，隨著單晶圓濕式洗淨系統進入量產，本地濕式廢氣處理設備仍具有優勢。...
