TFT 產業可靠的廢氣處理

TFT/LCD 產業在生產過程中產生的廢氣包含矽烷 SiH4、銨 NH3 和氮氧化物 N2O 等製程氣體的殘留物。其中有些物質具有高度腐蝕性、毒性或高度易燃性，需要在使用端進行處理。DAS 可針對特定的廢氣處理問題，提供客戶可靠的解決方案。製造 TFT/LCD 顯示器需要廢氣處理。例如，在玻璃基板上生產大型薄膜電晶體 (TFT) 的製程，會使用化學氣相沉積 (CVD) 將薄膜分離到材料上。

此製程需要定期清洗製程反應腔，並通常使用 NF3 進行蝕刻。分離薄膜的蝕刻通常會使用 CF4、SF6 和氯化氣體，這些氣體會釋放出大量的廢氣混合物，這些廢氣混合物可經由 燃燒/水洗式系統 或 靜電式集塵系統進行處理。DAS Environmental Experts 所設計的系統可直接在廢氣的源頭 (Point of Use) 清除製程廢氣，並可靠地消除有害物質。DAS 專為 TFT/LCD 產業開發解決方案，可安全地處理符合法律要求的大量廢氣。