位於德勒斯登的AMTC 倚重 DAS EE 實現廢氣的永續處理
德勒斯登先進光罩技術中心（AMTC）與 DAS Environmental Experts（DAS EE）正加強合作，共同邁向氣候中和製造的目標。
為實現氣候中和的光罩生產而建立的強勁合作夥伴關係
透過採用 DAS EE 公司的 STYRAX 電漿/水洗式系統，AMTC 正逐步將光罩生產中的廢氣處理方式轉變為永續的電氣化技術。其目標是顯著降低subfab的二氧化碳排放量，並推動整個價值鏈的脫碳進程。
轉向基於電漿的廢氣處理是AMTC實現二氧化碳中和策略的關鍵組成部分。透過subfab的電氣化，AMTC正逐步取代傳統的燃燒式廢氣處理系統，從而以永續的方式減少化石燃料的使用。
「為了實現我們在 2035 年生產氣候中和光罩的目標，轉向採用電漿式廢氣處理系統至關重要。作為該領域的領先企業，DAS EE 對我們而言是最佳的合作夥伴。我們在『矽谷薩克森』（Silicon Saxony）的緊密合作便是最佳證明。」
對氣候危害極大的製程氣體進行有效處理
所採用的 STYRAX 電漿/水洗式系統專為處理蝕刻製程中產生的含 PFC（全氟碳化合物）廢氣——尤其是四氟甲烷（CF₄）——而特別設計。CF₄ 具有極高的全球暖化潛勢，且在大氣中的存留時間極長。光罩製造過程中產生的其他含氟製程氣體，亦對氣候變遷造成顯著影響。
DAS EE 的電漿技術能特別有效地分解這些穩定分子。其達成的分解與去除效率（DRE）相當於市售的燃燒式處理系統，但一次能源需求顯著降低，且無直接二氧化碳排放。
「我們很高興能全程陪伴並為 AMTC 提供諮詢，協助其邁向氣候中和的光罩生產。35 年來，DAS Environmental Experts 一直致力於為半導體產業開發環境技術解決方案，並在處理高溫室效應潛能的製程氣體方面樹立了標竿。此次合作彰顯了我們共同的願景，即在整個價值鏈中將高科技生產與氣候保護相結合。」
實現永續高科技生產的合作模式
AMTC 與 DAS EE 之間的長期合作是基於對技術責任的共同理解。最先進的廢氣處理技術與最先進的光罩製造技術相結合 - 明確的目標是協調環保效能與生產需求。
STYRAX 電漿/水洗式系統預計於 3 月交貨。接下來將進行安裝程序。計劃在第二季度進行調試。
