電漿 - 替代能源
電漿技術技術為半導體產業提供了一種靈活且面向未來的廢氣處理解決方案。憑藉其高效分解高溫室潛能污染物的能力，該技術通過實現Subfab的脫碳，為該關鍵產業的可持續發展做出了重要貢獻
電漿/水洗式製程如何運作？
電漿分解有害物質的過程涉及物理和化學反應，只有將兩者正確結合，才能實現廢氣流的淨化。其核心是在兩個電極之間產生高能電漿狀態，以電弧的形式顯現。該電弧溫度約為 10,000 凱爾文(Kelvin)，可產生自由電子和離子。它是在流動的氮氣載氣中產生的，將部分離子和電子從電弧輸送到反應器中。最重要的是，電弧的高溫被傳遞到載氣中。形成一種肉眼可見的電漿火焰。電漿火焰的高溫和高能粒子在反應器中與晶片製造過程產生的污染物分子相遇。強大的分子鍵被電漿火焰的高能打破。電漿中的溫度對熱分解起著關鍵作用，這對於處理熱力學上非常穩定的 PFC 氣體（例如用於蝕刻過程的氣體）尤其有利。
斷裂的結構會產生反應性自由基。這些自由基不會重新組合成有害的原始形態，而是會反應成無害的分子化合物。PFC 氣體的成分需要額外的氧氣和氫氣，這些氣體以水的形式存在於反應室中。由此可以控制碳轉化為二氧化碳的反應以及氟轉化為氟化氫的反應。後者通過Scrubber從廢氣流中洗出，並可在裝置中進行中和。
技術實作範例：STYRAX 電漿/水洗式系統
我們創新的 STYRAX 電漿/水洗式系統使用直流電漿，以氮氣作為載氣，電漿割炬可提供 7-15 kW 的可調式功率輸出，並可根據需求進行調整。能量從電漿直接傳遞到廢氣中，確保了污染物的高效分解，尤其是在處理 PFC 氣體時。STYRAX 的靈活性使其可適用於不同的製程氣體，因此非常適合應用於各種半導體製程。根據不同的應用，系統可進行客製化，並可用於蝕刻製程（例如 PFC 氣體）或 CVD 製程（例如 H2、SiH4）。
STYRAX 系統的一大特點是可靠性高，由於其堅固的設計和低維護要求，正常運行時間超過 98%。電漿割炬電源具有優異的 AC/DC 轉換效率，超過 95%。因此，可大幅降低廢氣淨化所需的能源，每年可節省數千美元的廢氣處理成本。
使用最先進的電漿技術實現永續廢氣處理
在廢氣處理系統中採用電漿技術，不僅能消除超過99%的污染物，相較於燃燒式Scrubber系統，更能提升能源效率並減少環境足跡
其它優勢
STYRAX系統的另一項優勢在於資源節約：結合封閉循環系統，可大幅降低用水量。選配氫氧化鈉或氫氧化鉀溶液定量添加功能後，用水量還能進一步減少，從而提升半導體生產的永續性。
Cleanroom製程設備與電漿處理系統的連結，實現了智能系統控制與能耗動態調節。此外，該系統可運用系統性軟體解決方案，針對輸入氣體特性進行精準應對，並進一步調整能源使用以滿足需求。此舉不僅提升整體效率，更彰顯該廢氣處理系統在半導體生產領域中，兼具環保效益與經濟效益的前瞻性定位。
STYRAX 是一款成熟且在全球銷售的可靠系統。在開發電漿Scrubber時，最大的挑戰在於如何在不增加設備佔地面積、不增加服務面積且不影響性能的前提下，為設備添加電漿組件。透過自主研發交流/直流電源供應器，我們能夠充分利用現有空間。此外，我們只對必要之處進行調整。雖然電氣系統和反應器首部經過改造，但系統的其餘部分仍採用 STYRAX 成熟的技術。因此，我們成功地保持了設置面積和服務面積，同時提高了性能。
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