專為LED產業設計的高效率廢氣處理
在運用創新發光二極體(LED)技術的產品製造方面，會動用大量的氨氣與氫氣作為製程氣體(process gases)。DAS達思系統的環境工程師體認到這項市場趨勢，並著手研發多項新解決方案，以環境友善的原則處理各種製程氣體。
運用DAS的廢氣處理設備確保LED產業安全製造
高效率處理氫氣與氨氣
DAS達思系統的環境工程師所開發的廢氣處理系統LARCH是特別針對MOCVD(金屬有機化學氣相沉積 – MOCVD)製程而設計，除了能處理大流量的氫氣與氨氣外，其還能處理小流量的有機金屬與摻入雜質，而這些都是LED製程中常見的材料。
該系統的運作主要分成三個步驟。第一，處理廢氣透過特殊包覆的進氣口注入到分解區(decomposition zone)，氨成分會在這裡進行分解；之後，系統會以電弧點燃氫氣並進行氧化，廢氣經由反應室進行燃燒與氧化，最後再傳送至熱交換機進行冷卻。
經過DAS達思系統技術的妥善處理後，剩下的潔淨氣體便能排放至大氣中，而無須再進一步處理。透過各種感測器與備援式配置的安全設施可確保處理流程的穩定且安全無虞，這些程序依循一個簡單原理運作，並可達到節省成本與降低排污的目標，因此能取代先前使用的濕式水洗階段，而這些處理階段往往會產生大量的氨氣。整體而言，這種廢氣處理方式也更加環保。
