達思DAS ENVIRONMENTAL EXPERT可靠地處理微機電系統生產線的廢氣

微機電系統(MEMS)經常被整合至晶片、感測器與制動器等機械零件、以及評測與通訊領域的電子模組中。而內部加入光學元件的MEMS則稱為微光機電系統(MOEMS)。達思DAS Environmental Expert並已針對MEMS與MOEMS生產線提供多款可靠的廢氣處理解決設備。

德勒斯登製造 專為持續成長中的市場所設計的廢氣處理設備

對於包括工業4.0、自駕車、以及物聯網(IoT)此類具未來導向性的技術,微機電系統元件扮演著關鍵角色,因為其不僅是類比與數位世界間的聯結橋樑,也是數位資料處理的中控台。

隨著這些未來導向技術飛快發展,MEMS的市場與市佔率也水漲船高。MEMS在汽車市場需求暢旺,其用於提升駕駛舒適度與安全性。另外,針對自動化技術應用所生產的MEMS元件,其數量也正不斷攀升中。

在MEMS元件的製造過程中,達思DAS Environmental Expert的廢氣處理系統能有效輔助製造技術。不論使用何種設備或製程,我們的減排技術都能在使用端直接從排放的氣流中移除各種危險物質。

使用端廢氣減排系統提高MEMS製程中各個步驟的安全性

MEMS採用的製造流程類似半導體產業。舉例而言,一顆晶片上的微系統除了採用一些和微電子共同的技術,還涉及額外的特殊製程步驟。從1990年代創立以來,達思DAS Environmental Expert即為半導體產業研發、製造、以及安裝各種顧客導向的廢氣減排技術。我們也依客戶要求提供了系統保修服務。

在選項方面,沉積薄膜的選項包括反應濺鍍、ALD(原子層沉積)、CVD/PECVD(化學氣相沉積/電漿輔助化學氣相沉積),而在蝕刻、結構、以及晶圓清洗方面,我們針對所有製程步驟提供適合的廢氣處理解決方案。DAS達思系統的技術是一種彈性化、整合化的系統概念。由於機體微型化,我們的系統通常能裝載入一個機櫃內,佔用空間不到一平方公尺(10.8平方英呎)。

因此,危險氣體與氣態混合物的減排處理均可於使用端安全且可靠地進行。有害物質的清除可使用燃燒/水洗系統並配合獨立燃燒爐與廢氣處理設備,另外還可運用靜電過濾器。剩下的氣體則透過排放系統立即釋出至大氣中。由DAS達思系統所排出的氣體均符合所有相關法律的規範。

我們的產品線為MEMS製造採用的所有平台提供對應的減排技術。我們的系統完全為自動化運作,並透過感測器進行控制,其符合業界最嚴苛的安全標準,而這些標準均詳載於產品認證介紹中。