DALEA——使用端懸浮微粒處理系統

這款整合型旋風式集塵器可將懸浮微粒的排放量減少高達 98%。DALEA已被證明在分離 WF6 製程產生的鎢粉塵方面尤為有效。 DALEA 擁有高達 390 立方公尺/小時(m³/h)的處理能力和整合型的設計，是新建和現有晶圓廠的理想之選。 DALEA 可連接大多數粉塵排放設備的後方。此外，轉子還可作為風扇，將廢氣向前排出。這不僅可以防止壓力損失，還能輔助排氣系統。設備的前後兩側均可進行操作及維護。