EDC - 採用靜電式集塵系統的使用端廢氣處理設備
EDC 代表"靜電式集塵系統"。這些系統負責處理太陽能、LED、TFT 和半導體產業中累積的含微粒子和納米粒子或含氣霧的製程廢氣。

EDC PLUS - 減少微米和奈米微粒排放
EDC PLUS 是一種靜電式集塵系統,用於處理高達 270 立方公尺/小時的含有微米級和奈米級微粒或氣溶膠的製程廢氣。此系統專為半導體產業的應用而設計,例如用於處理 LED 製程中砷化氫 (AsH₃) 和磷化氫 (PH₃) 氧化產生的顆粒物排放。

使用 EDC PLUS 對產業製程進行高效處理
此集塵系統能將包括最細微顆粒在內的微粒物排放量降低多達 99.9%,並有效防止排氣管堵塞。它可安裝於大多數產生微粒物的系統後端。操作與維護可從正面及背面進行。
使用 EDC PLUS 優化廢氣處理
針對太陽能、LED、TFT/LCD 和半導體產業中微粒物和氣溶膠含量特別高的製程進行優化
