TILIA - 具備內部備援功能的雙反應器系統
TILIA DUO 的設計可有效處理不斷增加的製程氣體流量，因此可取代數個傳統的廢氣處理系統。
TILIA - 半導體產業先進蝕刻和 CVD 應用的廢氣處理
TILIA系統專門處理半導體與太陽能產業中，於化學及物理製程所使用或產生的自燃性、含氟、有毒或長效性環境有害氣體及其反應產物。處理過程透過燃燒及後續Scrubber處理實現，其中顆粒物經分離，可溶性氣體成分則利用洗滌液進行處理。TILIA 在占地面積與處理量比方面展現卓越效能，並可透過整合製程機台連動介面進一步優化營運成本。
使用 TILIA 對產業製程進行高效處理
TILIA DUO
TILIA DUO 包含兩個獨立單元，每個單元均由一個燃燒反應器與一個頂部整合除霧器的Scrubber組成。每個單元亦配備獨立電源供應系統。TILIA DUO 提供三種規格：TILIA DUO 2+2, TILIA DUO 4+4 及 TILIA DUO 6+6.。每組單元設有2、4或6個廢氣進氣口，以及2、4或6個附加進氣口，透過備援管線連接至另一組單元。必要時可將任一單元入口的廢氣導向另一單元，使系統具備內部備援功能設計，從而實現極高可用性。
業界頂尖減排系統：TILIA超越SEMI SCC溫室氣體基準
DAS Environmental Expert GmbH透過獨立驗證再次確立其在永續半導體排放控制領域的領導地位，證實其TILIA減排系統針對四氟化碳(CF₄)及其他含氟溫室氣體的破壞與去除效率(DRE) 均超越99.9%。此效能超越2024年SEMI SCC白皮書《氟化溫室氣體與一氧化二氮半導體減排技術綜覽》(“Overview of F‑GHG and Nitrous Oxide Semiconductor Abatement Technologies”)所訂目標——該文件將業界基準設定為最低DRE>95%，並提出>99%的願景目標。TILIA系統不僅證明更高效率在技術上可行，更帶來實質的永續發展與經濟效益。
燃燒/水洗式技術實現廢氣安全處理
DAS Environmental Experts 的整合型燃燒/水洗式組合技術，奠基於數十年廢氣處理經驗。根據氣體成分差異，製程廢氣將在環形燃燒器中進行氧化、還原或熱解處理。隨後的水洗式洗滌工藝能有效冷卻並固定生成的化合物。這項使用端技術可安全高效地處理產業廢氣——包括含氟化合物、氨、矽烷或氫氣的廢氣——並廣泛應用於全球半導體產業。
使用 TILIA 優化您的廢氣處理
有效處理發熱、含氟、有毒或長效性環境有害氣體及反應產物
TILIA – 技術規格與選配方案
TILIA (燃燒/水洗式)
廢氣被送入燃燒反應器，在此與燃料氣（天然氣、丙烷、氫氣）及氧化劑共同燃燒。基於設備設計，氣流呈自上而下流動。高溫作用下化學鍵被破壞，氧化反應形成穩定化合物，隨後在洗滌段被洗脫。
經處理的廢氣以逆流方式通過Scrubber。多組噴嘴與除霧器確保洗滌液充分進入氣流，使懸浮粒子沉降，並透過鹼性液體中和酸性成分。
燃燒器與Scrubber下方設有儲槽，用作洗滌液（水，必要時添加鹼液）的收集容器。液體循環流動並吸收可溶性氣體，熱交換器防止過熱。除霧器分離出的液滴將回流至洗滌液儲槽。
