TILIA - 具備內部備援功能的雙系統(燃燒/水洗)
TILIA DUO 專為高效處理日益增加的製程氣體流量而設計，因此能夠取代多套傳統廢氣處理系統。
TILIA – 半導體產業中用於先進蝕刻與化學氣相沉積（CVD）應用的廢氣處理
TILIA 是一套用於處理自燃性、含氟、有毒或長壽命環境有害氣體及反應產物的系統，這些氣體與產物用於半導體及太陽能產業的化學與物理製程中，或由該製程產生。處理過程透過燃燒及後續在洗滌塔中的處理進行，其中微粒物會被分離，而可溶性氣體成分則透過洗滌液進行去除。TILIA 在占地面積與處理量比方面展現卓越效能，並可透過整合製程機台連動介面進一步優化營運成本。
使用 TILIA 對產業製程進行高效處理
TILIA DUO
TILIA DUO 由兩個獨立的燃燒/水洗式處理單元組成，每個單元均配備專屬電源。此配置可對來自多台製程設備的工業廢氣流進行可靠且高效的處理。
本系統提供 TILIA DUO 2+2、TILIA DUO 4+4 及 TILIA DUO 6+6 等型號。其設計旨在提升單一處理單元內的晶圓處理量，並因應現代半導體製造設備日益增加的複雜性，特別是先進的 蝕刻與 CVD 主機。
業界頂尖減排系統：TILIA超越SEMI SCC溫室氣體基準
DAS Environmental Expert GmbH透過獨立驗證再次確立其在永續半導體排放控制領域的領導地位，證實其TILIA減排系統針對四氟化碳(CF₄)及其他含氟溫室氣體的破壞與去除效率(DRE) 均超越99.9%。此效能超越2024年SEMI SCC白皮書《氟化溫室氣體與一氧化二氮半導體減排技術綜覽》(“Overview of F‑GHG and Nitrous Oxide Semiconductor Abatement Technologies”)所訂目標——該文件將業界基準設定為最低DRE>95%，並提出>99%的願景目標。TILIA系統不僅證明更高效率在技術上可行，更帶來實質的永續發展與經濟效益。
燃燒/水洗式技術實現廢氣安全處理
DAS Environmental Experts 的燃燒/水洗式組合技術，奠基於數十年來在廢氣處理領域的豐富經驗。根據氣體成分的不同，製程氣體會在配備燃燒器的反應器中進行氧化、還原或熱解。隨後的水洗式洗滌製程能有效冷卻並吸附生成的化合物。
這項「使用端處理」技術能安全且高效地處理工業廢氣——包括含有氟化物、氨、硅烷或氫氣的廢氣——並已廣泛應用於全球半導體產業。
使用 TILIA 優化您的廢氣處理
有效處理發熱、含氟、有毒或長效性環境有害氣體及反應產物
