UPTIMUM - 化學氣相沉積(CVD)製程的高效廢氣處理
UPTIMUM 是 DAS Environmental Experts 燃燒/水洗式技術組合的一部分。該系統專為滿足特定化學氣相沉積(CVD)製程中更高的運行時間需求而設計。
UPTIMUM - 強大的使用端解決方案
所有 UPTIMUM 系統佔地面積小，可從前方和後方進行維修和保養。安裝快速簡單，不需要專業設備。使用製程機台連動介面可優化操作成本和一般安全性。
運用UPTIMUM高效處理產業製程
UPTIMUM 專為各類產業領域的CVD製程所設計，可優化處理多達六組獨立氣體入口。本系統支援多種燃料氣體與清洗液體。UPTIMUM PLUS 版本則特別針對薄膜矽太陽能製程需求進行調校，此版本可在不影響系統可用性的前提下處理更高量的 H2 和 NF3（或 F2）。
燃燒/水洗式技術實現廢氣安全處理
DAS Environmental Experts 的整合型燃燒/水洗式組合技術，奠基於數十年廢氣處理經驗。根據氣體成分差異，製程廢氣將在環形燃燒器中進行氧化、還原或熱解處理。隨後的水洗式洗滌工藝能有效冷卻並固定生成的化合物。這項使用端處理技術可安全高效地處理產業廢氣——包括含氟化合物、氨、矽烷或氫氣的廢氣——並廣泛應用於全球半導體產業。
使用 UPTIMUM 優化廢氣處理
UPTIMIUM 專為廣泛應用於各行業多種CVD製程而設計
UPTIMUM - 技術規格和選配方案
UPTIMUM (燃燒/水洗式)
製程廢氣最多可通過六個獨立的進氣口引進。根據廢氣的化學成分，會發生各種反應（氧化、還原、熱解）。流體壁/薄膜可防止反應器內發生腐蝕及顆粒沉積。在反應器旁的洗滌柱中，可溶性成分被吸收，懸浮顆粒則被分離。洗滌液在冷卻過程中中和了溴化氫等燃燒產物。透過將UPTIMUM系統整合至整體污染治理方案，高科技產業製造商將能滿足德國空氣污染法規（TA Luft）的嚴格標準。
