專為高科技產業所提供的廢氣處理系統
自1991年起,達思 DAS Environmental Expert便致力為全球高科技產業研發並生產客製化的使用端(Point-of-Use)廢氣處理系統。達思 DAS Environmental Expert的廢氣處理設備(DAS local scrubbers) 能處理可冷凝、可燃燒、具腐蝕性、易起反應、有毒和易自燃的氣體(例如: 矽烷、有機矽烷、松油醇、氫、氨或鹵化氫化合物)和微細粉塵。
因應不同製程及多種產品系列的使用端(Point-of-Use)廢氣處理系統
我們在半導體/MEMS、太陽能光電、平面面板和 LED 產業的客戶,可從我們在德勒斯登及全球團隊的廣泛技術專業知識中獲益。我們對客戶製造流程的詳細瞭解,意味著我們知道廢氣對製造流程的安全性至關重要。我們運用這些專業知識為客戶提供客製化且有效的解決方案。我們為各行各業開發和生產廢氣流量高達 5,000 m³/h 的使用端(Point-of-Use)廢氣處理系統。
如有需要,我們也提供整合式廢氣處理概念,包括在我們的系統中提供您所選擇的真空泵或其他元件,例如Dry Bed解決方案。我們也提供不同技術的智慧型組合,以形成完整的系統,完美符合您的製程需求。我們用於使用端(Point-of-Use)廢氣處理設備的產品組合包括四個技術群組
廢氣處理方案之諮詢與選擇
DAS達思系統的技術應用團隊會經由評估現場實際狀況來協助客戶選擇合適的產品技術方案。無論是製程設備、真空幫浦、廢氣種類或流量,以及可使用的設備等,皆為評估的重要資訊。
系統交付之後,為確保系統長期穩定運作及設備使用,我們的客服和技術支援團隊並將即時回應客戶需求或提供現場支援服務。
Steve Hsu
Sales Director