專為高科技產業所提供的廢氣處理系統
自1991年起，達思 DAS Environmental Expert便致力為全球高科技產業研發並生產客製化的使用端(Point-of-Use)廢氣處理系統。達思 DAS Environmental Expert的廢氣處理設備(DAS local scrubbers) 能處理可冷凝、可燃燒、具腐蝕性、易起反應、有毒和易自燃的氣體(例如: 矽烷、有機矽烷、松油醇、氫、氨或鹵化氫化合物)和微細粉塵。
因應不同製程及多種產品系列的使用端(Point-of-Use)廢氣處理系統
我們在半導體/MEMS、太陽能光電、平面面板和 LED 產業的客戶，可從我們在德勒斯登及全球團隊的廣泛技術專業知識中獲益。我們對客戶製造流程的詳細瞭解，意味著我們知道廢氣對製造流程的安全性至關重要。我們運用這些專業知識為客戶提供客製化且有效的解決方案。我們為各行各業開發和生產廢氣流量高達 5,000 m³/h 的使用端(Point-of-Use)廢氣處理系統。
如有需要，我們也提供整合式廢氣處理概念，包括在我們的系統中提供您所選擇的真空泵或其他元件，例如Dry Bed解決方案。我們也提供不同技術的智慧型組合，以形成完整的系統，完美符合您的製程需求。我們用於使用端(Point-of-Use)廢氣處理設備的產品組合包括四個技術群組
燃燒/水洗 系統
在最小的空間內結合燃燒與水洗兩種作業程序，是以我們的 ESCAPE 技術為基礎，此技術自 DAS 創立以來一直持續進步發展。廢氣被送入一個環狀的燃燒器。根據廢氣的化學成分，會發生各種反應（氧化、還原、熱解）。在隨後的水洗過程中，燃燒產生的可溶性、氣態和固態化合物會被適當的洗滌液吸收並冷卻。
燃燒式系統 — 高溫分解
製程廢氣將於系統中的分解區燃燒（可視需求添加燃氣）。依廢氣不同的組成，在燃燒時會產生不同的反應，例如氧化作用、還原反應或高溫分解。
燃燒式產品系列LARCH，即是針對LED產業的MOCVD製程而設計，可處理常見的大流量廢氣，如氫和氨。
水洗式系統(Scrubber)
水洗式Scrubber可有效處理製程出口端廢氣中的水溶性汙染物。DAS達思系統的水洗式Scrubber主要應用於半導體產業，其為使用端(Point-of-Use, POU)的水洗廢氣處理系統。特點是在緊連接在真空幫浦之後，可預防客戶廠房廢氣系統受物質汙染和腐蝕，而且保養快速簡單。
靜電式微粒及奈米微粒清理
靜電式集塵系統是透過電場原理來處理製程廢氣中的微塵粒子，DAS靜電集塵系統能處理廢氣中內含微奈米等級粉塵與氣膠粒子，例如在面板產業(TFT)生產過程所產生的製程廢氣。
此外，我們也提供靜電冷凝式分離系統，以有效冷凝處理任何有機化合物。
使用旋轉式集塵器進行廢氣處理
RDC 系列系統利用離心力分離微塵顆粒。它們以純機械轉子-定子原理為基礎。
轉子作為鼓風機工作，將廢氣向前推進；這可防止任何壓力損失，甚至支持通常隨後的抽排。
廢氣處理方案之諮詢與選擇
DAS達思系統的技術應用團隊會經由評估現場實際狀況來協助客戶選擇合適的產品技術方案。無論是製程設備、真空幫浦、廢氣種類或流量，以及可使用的設備等，皆為評估的重要資訊。
系統交付之後，為確保系統長期穩定運作及設備使用，我們的客服和技術支援團隊並將即時回應客戶需求或提供現場支援服務。
Steve Hsu
Sales Director