水洗式Scrubber產品系列概覽
DAS Environmental Experts 的整合型水洗式Scrubber以高處理效率與低投資成本為特色。透過製程機台連動介面，可進一步優化營運成本。
AQUABATE - 水洗式廢氣處理設備
DAS Environmental Expert 以水洗式Scrubber技術為基礎，開發出 AQUABATE 產品系列，以高度靈活和客製化的方式，在使用端去除製程廢氣中的水溶性污染物。水洗式Scrubber運作效率高、所需空間小，並可降低營運成本。
SALIX - 水洗式洗滌技術應用於單晶圓水洗式清洗台(Wet Bench)廢氣處理
針對單晶圓水洗式清洗台(Wet Bench)製程所產生的有害氣體，採用使用端水洗式Scrubber處理的概念已透過SALIX系統成功實現，並在現場經過數百次驗證。該系統能提供更靈活的製程調整能力，相較於舊有設計，不僅節省佔地面積，更能有效保護Clean Room空氣品質。
