SALIX使用端處理廢氣處理設備
濕式廢氣處理設備SALIX設計可用來因應半導體產業溼式洗淨技術所面臨的各種新需求。該系統能可靠地處理從單一晶圓洗淨工具輸送來廢氣中所含的異丙醇(IPA)、氨氣、以及氟化氫等成分。
SALIX是專門開發來作為切換器(switching boxes)應用的替代方案。其超越切換器的優點包括體積更小、排氣管路複雜度較低、佔用空間小，製程轉換的彈性更高。在DAS達思系統針對半導體產業濕式清洗台製程的案例研究中有詳細的背景介紹。
濕式廢氣處理設備SALIX的運行原理
系統會將從最多12個進氣口饋送的廢氣透過噴嘴送到前置水洗段 (pre-scrubber)，藉此排除進氣口出現任何堵塞狀況。廢氣隨後進入第一個水洗段，其中裝滿填充材料。水洗塔則透過噴嘴注入水洗廢液；由於填充材料具有極大的表面積，再加上逆流原理，故能達到最佳的廢氣吸收效果。
在第2水洗階段，會使用一種不同的水洗廢液。系統會使用一個除霧器(demister)來防止兩個階段的廢液相混。第二種水洗廢液允許使用替代的化學製劑，藉此優化廢氣的清洗效果。針對在第一個水洗階段沒有產生反應的廢氣成分，系統會在第二清洗階段進行更進一步的吸收。氣流中殘餘的水氣在除霧器經過沉積之後，留下的氣體可符合德國嚴格的空污排放標準(TA Luft)。
SALIX – 濕式廢氣處理設備能清除單一晶圓洗淨製程產生的各種水溶性物質
濕式廢氣處理設備SALIX之設計允許不同的進氣口配置，總流量可達2.000 至5.000 m³/h。而空間的需求也因情況而有所差異。
技術資料
- Dimensions (W x D x H) SALIX: 3207 mm x 1250 mm x 2575 mm
- Dimensions (W x D x H) SALIX MINI: 2000 mm x 1250 mm x 2378 mm
- Gas Entry: max. 12 x DN 150
- Gas Outlet: DN 300 — 450
選配方案
所有SALIX濕式廢氣處理設備均提供以下設備選項:
- 電源供應器:3個400 V/50 Hz或3 個 208 V/60 Hz
- 旁通管線
- 警訊燈
- 防漏盤
- 地震安全套件
- 監控
- SEMI S2 認證
認證
