Point-of-Use Abgas­rei­ni­gung mit SALIX

Der SALIX-Gas­wä­scher wur­de für neue Anfor­de­run­gen bei nass­che­mi­schen Rei­ni­gungs­pro­zes­sen (Wet Clean Tech­no­lo­gy) in der Halb­lei­ter­indus­trie ent­wi­ckelt. Die Anla­ge ent­sorgt u. a. zuver­läs­sig Iso­pro­pyl­al­ko­ho­le (IPA), Ammo­ni­ak und Flu­or­was­ser­stoff aus den Abgas­strö­men moder­ner „sin­gle wafer clean“ Anlagen.

Abgas­rei­ni­gung – SALIX

Behand­lung von Abga­sen mit SALIX

Funk­ti­ons­prin­zip
Tech­ni­sche Daten
Optio­nen
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SALIX wur­de als alter­na­ti­ve Lösung zum Ersatz von Gasum­schalt­sys­te­men (Swit­ching Boxes) ent­wi­ckelt. Die grund­le­gen­den Vor­tei­le der Anla­ge sind dabei viel­fäl­tig: klei­ne­re und ein­fa­che­re Abluft­lei­tun­gen, gerin­ge­re Last für die zen­tra­len Abluft­sys­te­me, höhe­re Fle­xi­bi­li­tät bei Pro­zess­än­de­run­gen und gerin­ge­re Stand­flä­che. Detail­lier­te Hin­ter­grün­de wer­den in unse­rer Fall­stu­die zu Nass­bank-Pro­zes­sen in der Halb­lei­ter­indus­trie aufgeführt.

Funk­ti­ons­prin­zip der SALIX-Abgaswäscher

Über bis zu zwölf sepa­ra­te Ein­läs­se wer­den die Schad­ga­se in einen Vor­wä­scher gelei­tet und mit­tels Sprüh­dü­sen vor­ge­wa­schen. Danach gelan­gen die Gase in die ers­te Wasch­stre­cke und strö­men zwangs­wei­se von unten nach oben durch eine Füll­kör­per­pa­ckung, die über Sprüh­dü­sen mit Wasch­flüs­sig­keit ver­sorgt wird. Durch die gro­ße Ober­flä­che der Füll­kör­per und das Gegen­strom­prin­zip ist eine opti­ma­le Absorp­ti­on der Schad­ga­se möglich.

Nach der ers­ten Wasch­stre­cke durch­strömt das Gas einen Tröpf­chen­ab­schei­der, um eine Ver­schlep­pung von Wasch­flüs­sig­keit zu ver­hin­dern. In der zwei­ten Wasch­stre­cke wird in der Regel mit einer ande­ren Wasch­flüs­sig­keit gewa­schen. Inhalts­stof­fe der Schad­ga­se, die in der ers­ten Wasch­stre­cke nicht reagiert haben, kön­nen somit in der zwei­ten Wasch­stre­cke bes­ser absor­biert wer­den. Nach­dem mit­ge­ris­se­ne Tröpf­chen des Gas­stroms in einem Demis­ter abge­schie­den wur­den, ent­spricht das ver­blei­ben­de Rest­gas den Vor­schrif­ten zur Rein­hal­tung der Luft (TA Luft).

Operation Principal SALIX

SALIX-Nass­wä­scher ent­fernt was­ser­lös­li­che Schad­stof­fe aus Single-Wafer-Clean-Prozessen

Gas­wä­scher der SALIX-Pro­dukt­fa­mi­lie kön­nen ent­spre­chend den spe­zi­fi­schen Kun­den­an­for­de­run­gen für Inert-Abgas­strö­me zwi­schen 2.000 bis 5.000 m3/h modi­fi­ziert wer­den. Ent­spre­chend ist auch der Platz­be­darf variabel.

Tech­ni­sche Daten

  • Grö­ße (B x T x H) SALIX: 3207 mm x 1250 mm x 2493 mm 
  • Grö­ße (B x T x H) SALIX MINI: 1500 mm x 1530 mm x 1700 mm
  • Gas­ein­lass: max. 12 x DN 150
  • Gas­aus­lass: DN 300 – 450

Optio­nen

Grund­sätz­lich kön­nen alle SALIX-Anla­gen wie folgt optio­nal aus­ge­stat­tet werden:

  • Strom­ver­sor­gung: 3 x 400 V/50 Hz oder 3 x 208 V/60 Hz
  • Bypass
  • Signal­am­pel
  • Tropf­wan­ne
  • Erd­be­ben-Sicher­heits­set
  • Moni­to­ring
  • SEMI S2-Zer­ti­fi­zie­rung

Zer­ti­fi­ka­te