半導體產業的廢水處理– 從廢棄物管理到資源回收
為了執行半導體電路層的蝕刻、沉積、或洗淨等製程，半導體製造商在製造過程會使用各種不同的化學製藥劑。作為使用端污染減量技術的專家，達思DAS Environmental Expert不僅提供製程廢氣減量的全方位知識，並提供整個廢水處理流程的專業技術。
結合廢氣與廢水處理以提高半導體製造流程的環境永續性(Eco-Sustainability)
達思DAS Environmental Expert提供陣容完備的方案，針對半導體產業的各種需求量身設計。半導體產業在一片晶圓上就能製造出大量的記憶體晶片。其他產品還包括針對特殊應用打造的積體電路，例如發光二極體(LED/OLED)，以及從各種化合物半導體原料晶圓製成的高效能晶片，其中包括如砷化鎵、氮化鎵、磷化銦、以及碳化矽等原料。半導體涉及的製程種類繁多，加上生產過程中各種製程廢
氣與化學藥劑，其中有些廢氣屬於溫室效應氣體，對氣候會產生極為負面的影響。其他氣體有的具有毒性/或高度易燃。因此這些物質在任何情況下都不能釋放到環境中。多年來我們的系統確保晶片製造商能符合當局制定的最高標準，藉以保護人類生命與環境。我們非常熟悉包括純度、可靠度、以及安全等方面的最高規範。這是因為從我們開業以來，半導體產業一直是我們最重要的客群之一。
從超純水到廢水 – 達思DAS Environmental Expert提供在半導體產業長久累積的經驗
為確保半導體製造工廠安全營運，達思DAS Environmental Expert開發許多系統，能在起始點(使用端)直接處理廢氣。為此我們設計一款結合燃燒爐與洗滌器的系統，佔用空間極小，能從廢氣中移除各種有害物質。此系統能依據製程管理的需求，在燃燒階段執行各種反應(包括氧化、還原、或高溫分解)。在後續的洗滌塔(washing column)，可溶性微粒以及化合物都會附著在洗滌廢液。
處理過後留下的是無微粒的無害氣體混合物，可經由排氣管道釋出到大氣。我們會負責處理洗滌廢液，若客戶要求也會處理包括從各種水洗製程產生的廢水，如蝕刻以及平坦化等製程。這類製程並包括如砷化鎵化合物半導體晶圓的生產線。
面對針對每座工廠不同客戶的專屬製程，我們都能移除各種有害物質，讓廢水中的含量比例降至法律規定的門檻。為此我們提供各種可靠的程序用來移除氟化物、降解銨、以及水中的各種有機物質。另外，三價砷經過氧化後轉為五價砷，即可透過沉澱方法過濾或移除水中的砷，顆料狀氫氧化鐵也可以用於清除砷。另外也可透過摻入活性碳的方法，從水中分離出砷以及各種重金屬。若廢水含有其他金屬成分，可採用個別化與針對性的處理方法，像是運用各種有機硫化物進行沉澱。
透過DAS達思系統全球分支據點提供可靠服務
我們的國際化程度和客戶完全一致:達思DAS Environmental Expert的營運版圖遍及全球各地，在半導體產業各領域都有我們的客戶。我們提供24小時服務，每天24小時/每週7天都有專人接聽電話，另外並提供長駐現場的服務團隊。
對於達思DAS Environmental Expert而言，環境保護不光僅止於可靠的廢棄物減量。我們正著手發展各種程序，藉以從廢水中回收稀土元素。透過這種方式，我們持續樹立新技術的標準，而這些標準的重要性在未來將會不斷攀升。