工業中的懸浮微粒
懸浮微粒在工業領域扮演著重要角色，其影響不僅限於職業安全層面：工業製程中產生的廢氣必須經過可靠處理，其中所含的懸浮微粒亦須安全清除。高科技產業尤其仰賴DAS Environmental Expert GmbH提供的解決方案。
工業是懸浮微粒的最大排放源之一
從能源生產到物流運輸、生產流程及廢棄物處理，工業運作對空氣污染貢獻甚鉅。例如化學與礦業中使用的溶劑，以及高科技產業的生產製程，皆是工業領域中懸浮微粒的來源。
高科技產業中懸浮微粒的來源
在半導體領域，後製程中使用雷射切割晶圓是懸浮微粒的重要來源之一。當採用熱處理工藝（焚化爐）處理製程廢氣時，亦可能產生懸浮微粒，尤其在覆蓋製程（如磊晶製程）之後，或進行大面積覆蓋時（例如製造太陽能電池或平面顯示器）。若未採取進一步措施，這些微粒將進入廢氣處理系統，可能導致堵塞等問題，進而迫使整座工廠停工。當懸浮微粒釋放到大氣中時，亦對健康與環境構成風險。工廠會嚴格管控懸浮微粒進入關鍵區域（如Clean Room），因懸浮微粒可能同時損壞設備與晶圓等產品。
懸浮微粒分離製程
懸浮微粒對人和機器都會造成危害。特別是在工業製程中，必須安全可靠地處理產生的廢氣，並需要分離其中所含的懸浮微粒。為此使用以下不同的製程：
旋風式集塵器、靜電式集塵系統、濕式分離器和過濾分離器。為了分離懸浮微粒，特別是PM2.5微粒子和超細微粒，往往使用靜電式集塵系統或過濾分離器。旋風式集塵器則更適合粗粒粉塵。
靜電式集塵系統
靜電式集塵系統運用電場來清除廢氣中的微粒、懸浮微粒和凝結液。因此，廢氣中的微粒子、超細微粒以及凝結的有機化合物都都被可靠、高效地清除。
濕式分離器
廢氣處理Scrubber將廢氣流與洗滌液接觸，洗滌液會結合並部分溶解所含的微粒。產生的混合物與廢氣流分離並沉澱；洗滌液則經過處理。
過濾分離器
在過濾分離器中，廢氣通常從外向內流經過濾元件。過濾沉澱在過濾介質上，形成所謂的濾餅 - 一層需要定期清除的微粒粉塵。
針對不同懸浮微粒種類汙染的解決方案
查閱以下頁面，了解哪些技術解決方案可在實務中運用
