靜電集塵系統

EDC和EDC PLUS系統是靜電集塵系統，用於對含有微粒和懸浮微粒的製程廢氣進行使用端 (point-of-use) 處理。一套系統每小時可淨化高達270立方公尺的廢氣。這些系統可消除高達99.9%的細微粉塵微粒，如氧化矽。

首先，讓預處理後的製程廢氣飽和在水中，然後進入分離管柱，使微粒、奈米微粒和懸浮微粒在靜電場中進行電離，然後利用沖洗壁上水洗液的接地膜進行分離。分離出來的粉塵會懸浮在水洗液中；這就可防止粉塵微粒從系統中排出，進入無塵室和其他敏感的生產區域。

旋轉式細微粉塵集塵器

RDC系列系統使用離心力分離細微粉塵微粒。其運轉奠定在純機械轉子-定子原理：使用高速旋轉圓盤將水柱霧化。從而產生最細微水滴組成的水霧，利用離心力將當中的粉塵微粒分離。轉子能確保在不損失壓力的情況下，將廢氣吸入並向前推進。轉子和定子之間的剪切間隙產生的渦流，可確保水霧和載有微粒的製程氣體彼此有效混合。微細粉塵微粒懸浮在水中；廢氣經過淨化後可自由排放到環境中。