廢氣處理系統的替代能源

可持續廢氣處理的未來能源被稱為電漿(Plasma)：通過極高的溫度和反應性微粒，電漿能夠高效分解即使是最穩定的分子，如 PFC。與化石燃料相比，來自可再生能源的電能可用於以更環保的方式處理廢氣。此技術有助於Sub-fab的去碳化，也是邁向氣候友善產業的關鍵一步。