半導體產業廢氣處理中氫氣的使用

半導體產業面臨一項重大挑戰:在降低二氧化碳排放的同時,作為一個能源密集且製程複雜的產業,還必須應對日益增長的市場需求。波士頓顧問公司(Boston Consulting Group, BCG)的一項研究預測,若產業持續成長,半導體製造所產生的碳排放每年將增加約8%,並可能要到2045年左右才會達到高峰。這一預測與全球主要半導體製造商所設定的「溫室氣體淨零排放」雄心目標形成鮮明對比。

預測中的碳排放增加與產業永續目標之間的差距,突顯出半導體產業即將面臨的轉型任務既迫切又複雜。
為因應這項挑戰,半導體產業正積極致力於轉向使用再生能源、提升製程設備的能源效率,以及減少製程氣體的排放。透過與供應商的密切合作,各公司正努力在整個價值鏈中降低碳排放。為了在廢氣處理方面達成這一目標,綠色氫能作為化石燃料的替代能源,提供了一種可實現零碳燃燒的解決方案。

廢氣處理的優勢

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火焰溫度更高

氫氣的燃燒會產生比天然瓦斯更高的峰值溫度,這有助於全氟化碳 (PFC) 或三氟化氮 (NF3) 等複雜化合物的分解。

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乾淨燃燒產物

氫氣燃燒只產生水 (H₂O),不排放 CO₂,減少了燃料氣造成的系統 CO₂足跡。

DAS EE 的氫能系統

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DAS Environmental Experts 透過在廢氣淨化系統中使用氫氣,為脫碳提供創新的解決方案。我們的燃燒-水洗式系統可使用綠能氫氣運作,為減少 CO₂ 排放做出重要貢獻。

我們久經考驗的 ESCAPESTYRAX 產品線已設計為可使用氫氣,或可改裝為使用氫氣。只需更換燃料氣體系和某些組件,即可輕鬆升級現有系統。

讓您的生產製程更具永續性

在半導體產業中使用綠能氫氣,可大幅降低 CO₂ 排放,同時使製造過程更具永續性,從而使企業更好地實現 ESG(環境、社會、治理)目標。透過使用我們具備 H₂ 能力的消減系統,我們可協助客戶邁向可持續的低碳生產。作為一家在氫氣方面擁有多年工作經驗的老牌供應商,我們可以為現有系統的改造提供可靠、高品質的解決方案,從而幫助減少子廠的改造工作量。 

我們將攜手打造半導體產業的未來 — 環保且高效!

Steve Hsu

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Steve Hsu

Sales Director