高科技製造業的微細粉塵(Fine Dust)處理

達思DAS En­vir­on­mental Experts的空氣清淨技術

空氣污染是本地、泛歐洲、甚至涉及整個北半球的問題。而在主要空污來源中,微細粉塵(Fine Dust)扮演了關鍵角色,因其粉塵體積極不可思議的細微,一旦暴露在充斥這類微粒(Particle)的空氣中,便會對人體健康造成嚴重危害,尤其是呼吸道方面的疾病。

微細粉塵的常見來源包括森林火災、汽車與卡車、以及建築工地等。另外,由於氣體在許多工業過程中發生的化學反應也會形成顆粒物。在半導體產業、光電產業、LED產業和平面顯示產業製造過程中都會發生這種情況,這些多樣的製造過程以及複雜的氣體特性都會產生有害的廢氣。

高科技製造業的顆粒粉塵(Particle)廢氣處理系統

許多廢氣減量過程中都需要收集微細粉塵。廢氣中的微細粉塵是極細的固體微粒(Particle),會長時間懸浮在空氣中。直徑超過10微米的粒子歸為粗微粒,這類顆粒微粒會被鼻毛或鼻咽腔內的黏膜吸附。直徑小於10微米(PM10)的微細粉塵屬於懸浮粒子,一旦吸入人體,將會沿著氣管與支氣管一直深入直達肺部。

直徑小於2.5微米的微細粉塵便屬於微細懸浮微粒(PM2.5),而小於0.1微米者則屬於超微細懸浮微粒。包括PM10、PM2.5、以及超微細懸浮微粒,都很難處理,因為這些微小粒子會通過氣體洗滌器(gas scrub­ber)和分離器(sep­ar­at­or)不會被洗滌液吸附,因此可能造成排氣道阻塞。

高科技製造業的顆粒粉塵(Particle)解決方案

達思DAS En­vir­on­mental Ex­pert所開發的靜電集塵器(EDC)是專門收集處理這類顆粒物質。我們的EDC系統廣泛運用在半導體產業、太陽能產業 、以及平面顯示器產業,並且符合LED產業製造的環保法規 ; 特別是砷污染防治方面,其EDC系統效率保證符合法規條文以及極低排放門檻的規定。

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