半導體製造的先進廢氣處理技術

我們的廢氣處理產品組合概覽

三位戴著白色安全帽的技術人員正在檢查工業設備的運行情況,設備周圍有複雜的管線和控制面板,強調安全和精確的工業維護。

廢氣處理的概念

自 1991 年以來,DAS Environmental Experts 一直為全球高科技產業開發並生產客製化的廢氣處理「使用端」設備。我們藉此支持社會的技術發展,同時保護人民與環境。 工業廢氣處理不僅有助於保護人類與環境,更能確保生產流程的穩定性。DAS Environmental Experts 早在 35 多年前便已致力於此項任務。我們的廢氣處理方案始終為客戶量身訂製,並依照德國的高工業標準進行製造。

熱帶雨林中透過茂密樹葉和植被的陽光輕柔地照射在水霧上,形成夢幻般的自然景象。
兩位穿戴安全設備的工人在工廠車間操作大型金屬容器背景。

產品組合:廢氣處理

歡迎來到廢氣處理創新領域的核心!在 DAS Environmental Experts,我們深感自豪能提供一套全面的產品組合,旨在徹底改變各產業管理廢氣排放的方式。 我們對環境永續發展的承諾,體現在多樣化的處理製程中,其中包括「燃燒/水洗式」與「電漿/水洗式」系統、水洗式系統、燃燒式系統、觸媒催化系統,以及微粒分離器技術。

解決方案與產品

在我們全面的廢氣處理產品組合中,探索最先進的解決方案。從客製化的使用端系統到整合式處理方案——我們提供您所在產業所需的一切。

以火焰與水滴的象徵性表現來描述燃燒/水洗式系統

燃燒/水洗式系統

這項技術能夠在使用端(POU)直接對廢氣進行安全處理,並被廣泛應用於眾多 DAS 處理系統中,以 移除 危險及有害物質,例如 氟化合物、氨、矽烷或氫.

「燃燒/水洗式」技術概述

等離子噴槍和水滴的符號化表現,用以描述等離子水洗式系統

電漿/水洗式系統

電漿/水洗式技術是一種創新的廢氣處理製程,在以下方面特別有效: 處理持久性污染物 例如 PFC 氣體。

概述:電漿/水洗式技術

這是一個紫色防水和防塵圖標,左側是一滴水的符號,右側是一條斜線下面有點狀灰塵的圖案。

水洗式系統

水洗式系統是一種高效的處理方法,用於 水溶性污染物的處理 製程中的廢氣。DAS Environmental Experts 所生產的整合型水洗式Scrubber,具有處理效率高且投資成本低的特點。

概述:水洗式系統(Scrubber)

用蜂窩狀催化劑和水滴的符號來描述催化系統

觸媒催化系統

用於 最大限度地減少氮氧化物 在燃燒/水洗式及其他會產生氮氧化物的處理系統後所產生的排放量。

觸媒催化系統概述

雲與循環箭頭的圖標以紫色描繪,帶有氣候解決方案和環保的含義。

微粒分離器-集塵系統

微粒分離是廢氣處理中不可或缺的一環, 預防管道堵塞 以及 減少 排放量 灰塵、氣溶膠及其他微粒。DAS Environmental Experts 的系統能有效處理含有微粒、奈米粒子及氣溶膠的製程廢氣。

概覽:集塵系統

以熱氣流與火焰的象徵性表現,描述乾式/燃燒式系統(熱解)

燃燒式系統

使用端系統 適用於 MOCVD 及 EUV 製程 – 無廢水排放、燃氣消耗量低且運作可靠性高。

「燃燒式系統」概覽

您對我們的產品有任何疑問嗎?

我們的環境專家很樂意為您提供專業、量身訂製且可靠的諮詢服務。

全球服務,致力於高效且安全的廢氣處理

service video
辦公桌上擺放著水管配件和工程圖,兩個人正在討論設計方案,展示了工程和團隊合作的場景。

案例分享

DAS Environmental Expert GmbH 擁有超過 35 年的經驗,專門開發廢氣處理技術——包括燃燒水洗式、燃燒式或Scrubber解決方案。每項案例研究都展示了 DAS Environmental Experts 的創新技術如何協助生產流程變得更環保,並具備面向未來的韌性。

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我們很榮幸能成為您在廢氣處理領域中值得信賴的合作夥伴。