ALCEA – 先進觸媒催化
專為半導體產業高溫廢氣處理設備所設計的高效、整合式脫硝（DeNOx）解決方案。
ALCEA
ALCEA 基於高效電漿強化觸媒催化技術，是一款高度整合且高效能的二次處理系統，適用於任何會產生 NOx 的廢氣處理裝置的下游。該製程利用電漿技術產生活性氧物種（ROS），進而作為觸媒催化反應的基礎。
視前期處理步驟而定，ALCEA 能在最低能源消耗下，實現高達 95% 的卓越 NOx 處理效率。透過將觸媒催化裝置整合至排氣管道中，ALCEA 幾乎不佔用任何空間。該技術系統可輕鬆安裝於半導體廠房的排氣管道系統中。
氮氧化物（NOx）處理
幾乎不佔空間
支援升級安裝
先進的氮氧化物（NOx）處理技術
ALCEA 為附加處理系統而開發，安裝於產生 NOx 的廢氣處理設備（例如電漿水洗式或燃燒/水洗式設備）下游。由於觸媒催化裝置已整合至排氣管道系統中，因此無需在半導體廠房內佔用額外空間。 該電漿強化觸媒催化裝置結合了非熱電漿體 (NTP) 與觸媒催化技術，能在低能耗下實現高效的氮氧化物 (NOx) 處理。其高處理能力與整合型設計，使其能輕鬆整合至現有排氣系統中，且不會影響上游處理設備的運作或性能。
運用 ALCEA 優化您的廢氣處理
處理氮氧化物（NOx）的高整合度、高效率二次處理設備
