ALCEA – 先進觸媒催化氧化

專為半導體產業燃燒後廢氣處理所設計的高效、整合式脫氮(DeNOx)解決方案。

這張圖片展示了一個現代化的工業管線系統,包含兩個大型垂直容器和控制面板,其設計用於優化製程控制,自動化設備旁有排風管道。

ALCEA

ALCEA 基於久經考驗的 DAS 電漿體增強觸媒催化技術,是一款高度整合且高效能的二次處理系統,適用於任何會產生 NOx 的廢氣處理裝置的下游。該製程利用電漿體技術產生活性氧物種(ROS),進而作為觸媒催化反應的基礎。

視前期處理步驟而定,ALCEA 能在最低能源消耗下,實現高達 95% 的卓越 NOx 處理效率。透過將觸媒催化單元整合至排氣管道中,ALCEA 幾乎不佔用任何空間。該技術系統可輕鬆安裝於半導體廠房的排氣管道系統中。

該圖像顯示一個以紫色繪製的速度表圖示,指針指向右側,背景簡單,可能代表速度或效能的概念。
95%

氮氧化物(NOx)處理

這是一個紫色的管道圖示,中間有一片綠葉符號,象徵著環保或綠能技術。
< 1 m²

幾乎不佔空間

萬能扳手與箭頭符號的紫色圖標,象徵著維修和提升效率的概念。
100

% 支援後裝升級

先進的氮氧化物(NOx)處理技術

ALCEA 專為用作二次處理系統而開發,安裝於產生 NOx 的處理技術(例如電漿/水洗式或燃燒/水洗式系統)的下游。由於觸媒催化單元已整合至排氣管道系統中,因此無需在半導體廠房內佔用額外空間。 該電漿增強型觸媒催化器結合了非熱電漿體 (NTP) 與觸媒催化技術,能在低能耗下實現高效的氮氧化物 (NOx) 處理。其高處理能力與整合型設計,使其能輕鬆整合至現有排氣系統中,且不會影響上游處理設備的運作或性能。

運用 ALCEA 優化您的廢氣處理

用於處理氮氧化物(NOx)的高整合度、高效率二次處理系統。

ALCEA – 技術規格與選配方案

ALCEA(先進觸媒催化氧化)

先進觸媒催化氧化技術是利用非熱電漿體系統所產生的高反應性氧自由基(ROS),使其在催化劑表面進行觸媒催化反應,例如Langmuir-Hinshelwood反應(L-H)及Eley-Rideal反應(E-R)。

此過程將 NOx 轉化為水溶性極佳的高度氧化氮化合物(NxOy),使其能在下游的中央水洗式處理系統中高效去除,從而實現有效的脫氮。除了具備卓越的脫氮效能外,這項先進的觸媒催化氧化技術在複雜的製程及大氣條件下,亦展現出非凡的穩定性與耐受性。

諮詢與技術選項

由我們的應用專家在分析現場狀況後,選定合適的技術。有關製程工具、真空幫浦、氣體種類與流量,以及可用操作材料的資訊,皆為關鍵考量因素。

為了確保系統能長期穩定運行並維持工具的可用性,自系統啟用之日起,我們便可應要求提供服務與技術支援,或直接派員至現場提供協助。

Cathy Lee

Business Development Director

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