半導體產業的觸媒催化式氮氧化物（NOx）處理技術

現代的燃燒/水洗式系統能可靠地去除多種危險的製程氣體。與此同時，此過程可能會產生氮氧化物（NOx），而相關環境法規對其的管制正日益嚴格。觸媒催化後處理 為針對性地降低 NOx 排放量提供了有效的解決方案。