燃燒式系統——高效、安全且低排放的廢氣處理方案
適用於 MOCVD 及 EUV 製程的「使用端」系統——無廢水排放、燃料氣消耗低且運作可靠性高。
概覽
對於氫氣和氨氣含量高、有機金屬化合物和矽烷含量較低的製程廢氣，燃燒式系統提供了一種特別可靠且永續性的使用端解決方案。因此，它非常適合處理MOCVD、LED、µLED、GaN和EUV製程所產生的廢氣。
LARCH
得益於穩健的「燃燒式」原理，LARCH 產品系列運作極為穩定，維護需求極低，且營運成本極為低廉。由於其運作過程中不使用新鮮水，因此不會產生廢水，這點與水洗式Scrubber截然不同。 同時，透過污染物的熱分解或分級燃燒，可顯著減少氮氧化物（NOx）的生成，使該製程成為同類技術中最具環保效益且最高效的技術之一。
