DAS Environmental Expert demonstriert erneut die Vorteile der Burn/Wet-Technologie für die Entsorgung von CVD-Prozessen in der Solarindustrie.

Hsinchu, 01.08.2012. Die Taiwanesische Hightech-Industrie investiert weiterhin verstärkt in Prozessoptimierung. Dies betrifft natürlich auch die lokale Photovoltaikindustrie. Doch verbesserte Prozessanlagen können neben effizienteren Produkten, auch neue Herausforderungen an die Abgasentsorgung stellen. DAS überzeugte hier zuletzt mit UPTIMUM, einer Anlage, speziell entwickelt für die effiziente Point-of-Use-Entsorgung von bis zu 500 slm Abgasen aus CVD-Prozessen.  

Neue Anforderungen an den Abbau von N2O  

Verkauft wurde die Anlage in Taiwan nun erstmals an einen Hersteller waferbasierter Solarzellen. Bei der Aufbringung der dünnen Anti-Reflexionsschicht sowie der Passivierungsschicht kommt hier u.a. Distickstoffmonoxid (N2O) zum Einsatz, ein Gas, welches in naher Zukunft sehr wahrscheinlich von der Taiwanesischen Regierung auf die obligatorische Liste der zu behandelnden Gase gesetzt wird. Dieses Abgas ausreichend zu zerstören ist eine Stärke der erprobten Burn/Wet-Technologie, welche UPTIMUM zu Grunde liegt. Bekräftigt wurden die Angaben der Environmental Experts aus Dresden durch ein bekanntes Taiwanesisches Forschungsinstitut. Neben den guten Abbauraten von UPTIMUM überzeugte DAS letztendlich auch durch geringen Medienverbrauch, eine schnelle Anlagenverfügbarkeit sowie eine Serviceabdeckung 24/7.      

 

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