DAS Envi­ron­men­tal Expert demons­triert erneut die Vor­tei­le der Burn/­Wet-Tech­no­lo­gie für die Ent­sor­gung von CVD-Pro­zes­sen in der Solar­in­dus­trie.

Hsin­chu, 01.08.2012. Die Tai­wa­ne­si­sche High­tech-Indus­trie inves­tiert wei­ter­hin ver­stärkt in Pro­zess­op­ti­mie­rung. Dies betrifft natür­lich auch die loka­le Pho­to­vol­ta­ik­in­dus­trie. Doch ver­bes­ser­te Pro­zess­an­la­gen kön­nen neben effi­zi­en­te­ren Pro­duk­ten, auch neue Her­aus­for­de­run­gen an die Abgas­ent­sor­gung stel­len. DAS über­zeug­te hier zuletzt mit UPTIMUM, einer Anla­ge, spe­zi­ell ent­wi­ckelt für die effi­zi­en­te Point-of-Use-Ent­sor­gung von bis zu 500 slm Abga­sen aus CVD-Pro­zes­sen.  

Neue Anfor­de­run­gen an den Abbau von N2O  

Ver­kauft wur­de die Anla­ge in Tai­wan nun erst­mals an einen Her­stel­ler wafer­ba­sier­ter Solar­zel­len. Bei der Auf­brin­gung der dün­nen Anti-Refle­xi­ons­schicht sowie der Pas­si­vie­rungs­schicht kommt hier u.a. Distick­stoff­mon­oxid (N2O) zum Ein­satz, ein Gas, wel­ches in naher Zukunft sehr wahr­schein­lich von der Tai­wa­ne­si­schen Regie­rung auf die obli­ga­to­ri­sche Lis­te der zu behan­deln­den Gase gesetzt wird. Die­ses Abgas aus­rei­chend zu zer­stö­ren ist eine Stär­ke der erprob­ten Burn/­Wet-Tech­no­lo­gie, wel­che UPTIMUM zu Grun­de liegt. Bekräf­tigt wur­den die Anga­ben der Envi­ron­men­tal Experts aus Dres­den durch ein bekann­tes Tai­wa­ne­si­sches For­schungs­in­sti­tut. Neben den guten Abbau­ra­ten von UPTIMUM über­zeug­te DAS letzt­end­lich auch durch gerin­gen Medi­en­ver­brauch, eine schnel­le Anla­gen­ver­füg­bar­keit sowie eine Ser­vice­ab­de­ckung 24/7.      

 

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