Unser Port­fo­lio für Abgas­rei­ni­gung am Point-of-Use

Zur Ent­wick­lung und Opti­mie­rung unse­rer Anla­gen koope­rie­ren wir eng mit Kun­den, Gebäu­de­pla­nern und Lie­fe­ran­ten von Pro­zess­an­la­gen (OEMs). Dadurch kön­nen wir gemein­sam inno­va­ti­ve Lösun­gen im Bereich Sicher­heit, Kos­ten- und Ener­gie­ein­spa­rung sowie Con­nec­ted Ser­vice entwickeln.

Die Fer­ti­gung von Mikro­chips, Solar­zel­len oder Flach­bild­schir­men und LEDs besteht aus vie­len Teil­schrit­ten, bei denen schäd­li­che Abga­se ent­ste­hen. Pro­zess­schrit­te, wie Ätzen, CVD (che­mi­sche Gas­pha­sen­ab­schei­dung), Epi­ta­xie und TCO (Abschei­dung von Schich­ten aus trans­pa­ren­ten, lei­ten­den Oxi­den) erzeu­gen sen­si­ble Men­gen an Schad­stof­fen, wel­che aus diver­sen Grün­den unmit­tel­bar ent­sorgt wer­den müssen:

Par­ti­kel oder Fein­stäu­be kön­nen das Abluft­sys­tem einer Fabrik zum Erlie­gen brin­gen, was unge­woll­te Aus­fall­zei­ten in der Fer­ti­gung bedeu­ten wür­de. Der Staub ist schwer zu behan­deln, da die Par­ti­kel häu­fig klei­ner als 1 µm sind und des­halb leicht durch den Gas­wä­scher oder Abschei­der drin­gen, ohne in der Wasch­flüs­sig­keit gefan­gen zu werden.

In den meis­ten Fäl­len ste­hen Anla­gen zur Abgas­be­hand­lung in der soge­nann­ten „sub fab“, direkt neben den Vaku­um­pum­pen. Die Ent­sor­gung am Point-of-Use bie­tet dabei vie­le Vor­tei­le. Kur­ze Gas­lei­tun­gen sen­ken das Risi­ko von Lecka­ge und Ver­blo­ckun­gen. Für beheiz­te Lei­tun­gen, die zur Ver­mei­dung von Kon­den­sa­ti­on in den Schad­gas­lei­tun­gen bei eini­gen Pro­zes­sen not­wen­dig sind, besteht ein deut­li­ches Kos­ten­ein­spa­rungs­po­ten­ti­al. Der Ein­satz von Abgas­rei­ni­gungs­sys­te­men ver­rin­gert außer­dem Rei­ni­gungs- und War­tungs­auf­wän­de an den Gas­lei­tun­gen. Unse­re Fall­stu­di­en zei­gen eini­ge Best-Prac­ti­ce-Bei­spie­le dafür.