Unser Port­fo­lio für Abgas­rei­ni­gung am Point-of-Use

Abgas­rei­ni­gungs­sys­te­me von DAS Envi­ron­men­tal Expert ent­sor­gen seit 1991 Pro­zess­ab­ga­se aus der Hoch­tech­no­lo­gie-Fer­ti­gung und unter­stüt­zen somit den tech­no­lo­gi­schen Fort­schritt unse­rer Gesell­schaft bei gleich­zei­ti­gem Schutz von Mensch und Umwelt.

Ent­sor­gungs­kon­zep­te für Abgas­rei­ni­gung

Die Rei­ni­gung von Abga­sen in der Indus­trie dient dem Schutz von Mensch und Umwelt sowie der Sta­bi­li­tät des Pro­duk­ti­ons­pro­zes­ses. Die­ser Auf­ga­be hat sich DAS Envi­ron­men­tal Expert vor mehr als 25 Jah­ren ver­schrie­ben. Unse­re Ent­sor­gungs­kon­zep­te wer­den kun­den­spe­zi­fisch geplant und kon­fi­gu­riert, nach hohen Indus­trie­stan­dards in Deutsch­land gefer­tigt und durch welt­wei­te Ser­vice­teams pro­fes­sio­nell betreut. Durch haus­ei­ge­ne Ent­wick­lungs- kapa­zi­tä­ten am Haupt­stand­ort Dres­den sowie in den 

 

Inno­va­ti­ons­zen­tren in Tai­wan und USA kön­nen wir eng mit unse­ren Kun­den koope­rie­ren und schnell auf neue Inno­va­ti­ons­zy­klen reagie­ren. Unse­re Lösun­gen ent­spre­chen den höchs­ten Qua­li­täts- und Sicher­heits­stan­dards der High­tech-Indus­trie und erfül­len die anspruchs­vol­len Vor­ga­ben der TA Luft (Tech­ni­sche Anlei­tung zur Rein­hal­tung der Luft). All das macht DAS Envi­ron­men­tal Expert zu einem der füh­ren­den Unter­neh­men sei­ner Bran­che.

 

Pla­nung und Ent­wick­lung kun­den­spe­zi­fi­scher Ent­sor­gungs­kon­zep­te

Zur Ent­wick­lung und Opti­mie­rung unse­rer Anla­gen koope­rie­ren wir eng mit Kun­den, Gebäu­de­pla­nern und Lie­fe­ran­ten von Pro­zess­an­la­gen (OEMs). Dadurch kön­nen wir gemein­sam inno­va­ti­ve Lösun­gen im Bereich Sicher­heit, Kos­ten- und Ener­gie­ein­spa­rung sowie Con­nec­ted Ser­vice ent­wi­ckeln.

Port­fo­lio für Abgas­rei­ni­gung an der Pro­zess­an­la­ge

Abgas­rei­ni­gungs­an­la­gen von DAS Envi­ron­men­tal Expert ent­sor­gen Pro­zess­ab­ga­se direkt am Ort ihrer Ent­ste­hung (Point-of-Use) in der Halbleiter‑, Photovoltaik‑, LED- und TFT-Indus­trie. Sie behan­deln kon­den­sier­ba­re, brenn­ba­re, kor­ro­si­ve, reak­ti­ve, toxi­sche und/oder pyro­pho­re Abga­se sowie Fein­stäu­be. Unser Ver­fah­ren­sport­fo­lio umfasst Bren­ner/­Wä­scher-Sys­te­me, Gas­wä­scher, Pyro­ly­se und Elek­tro­sta­ti­sche Fil­ter.

 

Opti­mie­rung von Abgas­rei­ni­gungs­an­la­gen

Durch die bestän­di­ge Opti­mie­rung und Wei­ter­ent­wick­lung der Fer­ti­gungs­pro­zes­se unse­rer Kun­den, ändern sich auch die Anfor­de­run­gen an die Abgas­rei­ni­gung. Eine ver­än­der­te Zusam­men­set­zung oder Quan­ti­tät der Pro­zess­ab­ga­se kann sich auf die Effi­zi­enz der Anla­ge aus­wir­ken. Auch ver­än­der­te Indus­trie­stan­dards für Kom­po­nen­ten und Bau­grup­pen unse­rer Anla­gen erfor­dern die kon­ti­nu­ier­li­che Wei­ter­ent­wick­lung der Abgas­rei­ni­gungs­sys­te­me.

Ser­vice und War­tung Ihrer Abgas­be­hand­lungs­an­la­ge

Unse­re Ser­vice­mit­ar­bei­ter sind welt­weit auf Abruf oder als fes­te Teams vor Ort an allen High­tech-Stand­or­ten ver­füg­bar. Unser Kun­den­dienst umfasst die Inbe­trieb­nah­me, die pro­fes­sio­nel­le War­tung und den Tech­ni­schen Sup­port. Wir arbei­ten dabei welt­weit aus­schließ­lich mit ori­gi­nal Ersatz- und Ver­schleiß­tei­len, um die Sicher­heit und Effi­zi­enz der Abgas­rei­ni­gung zu gewähr­leis­ten.

Ent­sor­gung kri­ti­scher Indus­trie­pro­zes­se

Die Her­stel­lung von leis­tungs­star­ken High­tech-Pro­duk­ten, wie Mikro­chips, Pho­to­vol­ta­ik-Modu­le, Flach­bild­schir­me oder Leucht­di­oden, erfolgt in hoch­kom­ple­xen, mehr­stu­fi­gen Pro­duk­ti­ons­ver­fah­ren. Dabei ent­ste­hen in ver­schie­de­nen Teil­schrit­ten Abga­se, die direkt am Ort des Ent­ste­hens (Point-of-Use) ent­sorgt wer­den müs­sen. Erfah­ren Sie hier mehr über die­se Pro­zes­se und unse­re Lösun­gen.

Wir ver­trau­en DAS seit nun­mehr 18 Jah­ren. Die Dresd­ner Umwelt­ex­per­ten ken­nen unse­re hohen Qua­li­täts­an­sprü­che und tra­gen erheb­lich dazu bei, die­se zu rea­li­sie­ren.

Jür­gen Burek, Robert Bosch GmbH

Als inter­na­tio­na­ler Chip­her­stel­ler ver­trau­en wir seit Jah­ren den Ent­sor­gungs­lö­sun­gen der DAS. Dar­aus ist eine part­ner­schaft­li­che Bezie­hung gewach­sen.

Eck­hard Oetjen, GLOBALFOUNDRIES

Unser Ver­fah­ren­sport­fo­lio für Abgas­rei­ni­gung in der Indus­trie

Abgas­rei­ni­gung ermög­licht Umwelt­schutz und Sicher­heit in der Indus­trie

Die Fer­ti­gung von Mikro­chips, Solar­zel­len oder Flach­bild­schir­men und LEDs besteht aus vie­len Teil­schrit­ten, bei denen schäd­li­che Abga­se ent­ste­hen. Pro­zess­schrit­te, wie Ätzen, CVD (che­mi­sche Gas­pha­sen­ab­schei­dung), Epi­ta­xie und TCO (Abschei­dung von Schich­ten aus trans­pa­ren­ten, lei­ten­den Oxi­den) erzeu­gen sen­si­ble Men­gen an Schad­stof­fen, wel­che aus diver­sen Grün­den unmit­tel­bar ent­sorgt wer­den müs­sen:

 

1. Sicher­heit und Gesund­heit am Arbeits­platz

Vie­le der ein­ge­setz­ten Pro­zess­ga­se sind ent­flamm­bar oder explo­siv. Dazu gehö­ren u.a. Was­ser­stoff (H2) oder Silan (SiH4). Ande­re Gase hin­ge­gen sind gif­tig und müs­sen behan­delt wer­den (COF2, HBr und F2), bevor sie in Kon­takt mit Mensch und Natur kom­men.

2. Umwelt­schutz

Vie­le der zu behan­deln­den Abga­se sind umwelt­schäd­lich. Tetra­fluor­koh­len­stoff (CF4) hat bei­spiels­wei­se eine Lebens­dau­er in der Atmo­sphä­re von ca. 50.000 Jah­ren. Sein rela­ti­ves Treib­haus­po­ten­ti­al ist 6.500-mal so hoch wie das von Koh­len­stoff­di­oxid (CO2).

3. Sta­bi­li­tät des Pro­duk­ti­ons­pro­zes­ses

Par­ti­kel oder Fein­stäu­be kön­nen das Abluft­sys­tem einer Fabrik zum Erlie­gen brin­gen, was unge­woll­te Aus­fall­zei­ten in der Fer­ti­gung bedeu­ten wür­de. Der Staub ist schwer zu behan­deln, da die Par­ti­kel häu­fig klei­ner als 1 µm sind und des­halb leicht durch den Gas­wä­scher oder Abschei­der drin­gen, ohne in der Wasch­flüs­sig­keit gefan­gen zu wer­den.

In den meis­ten Fäl­len ste­hen Anla­gen zur Abgas­be­hand­lung in der soge­nann­ten „sub fab“, direkt neben den Vaku­um­pum­pen. Die Ent­sor­gung am Point-of-Use bie­tet dabei vie­le Vor­tei­le. Kur­ze Gas­lei­tun­gen sen­ken das Risi­ko von Lecka­ge und Ver­blo­ckun­gen. Für beheiz­te Lei­tun­gen, die zur Ver­mei­dung von Kon­den­sa­ti­on in den Schad­gas­lei­tun­gen bei eini­gen Pro­zes­sen not­wen­dig sind, besteht ein deut­li­ches Kos­ten­ein­spa­rungs­po­ten­ti­al. Der Ein­satz von Abgas­rei­ni­gungs­sys­te­men ver­rin­gert außer­dem Rei­ni­gungs- und War­tungs­auf­wän­de an den Gas­lei­tun­gen. Unse­re Fall­stu­di­en zei­gen eini­ge Best-Prac­ti­ce-Bei­spie­le dafür.

 

Ihre Ansprech­part­ner im Geschäfts­be­reich Abgas­rei­ni­gung

Frau Juli­et­te Cavaillier/Herr Falk All­mrodt
Key Account Mana­ger

+49 351 40494–400