Unser Portfolio für Abgasreinigung am Point-of-Use

Abgasreinigungssysteme von DAS Environmental Expert entsorgen seit 1991 Prozessabgase aus der Hochtechnologie-Fertigung und unterstützen somit den technologischen Fortschritt unserer Gesellschaft bei gleichzeitigem Schutz von Mensch und Umwelt.

Entsorgungskonzepte für Abgasreinigung

Die Reinigung von Abgasen in der Industrie dient dem Schutz von Mensch und Umwelt sowie der Stabilität des Produktionsprozesses. Dieser Aufgabe hat sich DAS Environmental Expert vor mehr als 25 Jahren verschrieben. Unsere Entsorgungskonzepte werden kundenspezifisch geplant und konfiguriert, nach hohen Industriestandards in Deutschland gefertigt und durch weltweite Serviceteams professionell betreut. Durch hauseigene Entwicklungs- kapazitäten am Hauptstandort Dresden sowie in den 

 

Innovationszentren in Taiwan und USA können wir eng mit unseren Kunden kooperieren und schnell auf neue Innovationszyklen reagieren. Unsere Lösungen entsprechen den höchsten Qualitäts- und Sicherheitsstandards der Hightech-Industrie und erfüllen die anspruchsvollen Vorgaben der TA Luft (Technische Anleitung zur Reinhaltung der Luft). All das macht DAS Environmental Expert zu einem der führenden Unternehmen seiner Branche.

 

Planung und Entwicklung kundenspezifischer Entsorgungskonzepte

Zur Entwicklung und Optimierung unserer Anlagen kooperieren wir eng mit Kunden, Gebäudeplanern und Lieferanten von Prozessanlagen (OEMs). Dadurch können wir gemeinsam innovative Lösungen im Bereich Sicherheit, Kosten- und Energieeinsparung sowie Connected Service entwickeln.

Portfolio für Abgasreinigung an der Prozessanlage

Abgasreinigungsanlagen von DAS Environmental Expert entsorgen Prozessabgase direkt am Ort ihrer Entstehung (Point-of-Use) in der Halbleiter-, Photovoltaik-, LED- und TFT-Industrie. Sie behandeln kondensierbare, brennbare, korrosive, reaktive, toxische und/oder pyrophore Abgase sowie Feinstäube. Unser Verfahrensportfolio umfasst Brenner/Wäscher-Systeme, Gaswäscher, Pyrolyse und Elektrostatische Filter.

 

Optimierung von Abgasreinigungsanlagen

Durch die beständige Optimierung und Weiterentwicklung der Fertigungsprozesse unserer Kunden, ändern sich auch die Anforderungen an die Abgasreinigung. Eine veränderte Zusammensetzung oder Quantität der Prozessabgase kann sich auf die Effizienz der Anlage auswirken. Auch veränderte Industriestandards für Komponenten und Baugruppen unserer Anlagen erfordern die kontinuierliche Weiterentwicklung der Abgasreinigungssysteme.

Service und Wartung Ihrer Abgasbehandlungsanlage

Unsere Servicemitarbeiter sind weltweit auf Abruf oder als feste Teams vor Ort an allen Hightech-Standorten verfügbar. Unser Kundendienst umfasst die Inbetriebnahme, die professionelle Wartung und den Technischen Support. Wir arbeiten dabei weltweit ausschließlich mit original Ersatz- und Verschleißteilen, um die Sicherheit und Effizienz der Abgasreinigung zu gewährleisten.

Entsorgung kritischer Industrieprozesse

Die Herstellung von leistungsstarken Hightech-Produkten, wie Mikrochips, Photovoltaik-Module, Flachbildschirme oder Leuchtdioden, erfolgt in hochkomplexen, mehrstufigen Produktionsverfahren. Dabei entstehen in verschiedenen Teilschritten Abgase, die direkt am Ort des Entstehens (Point-of-Use) entsorgt werden müssen. Erfahren Sie hier mehr über diese Prozesse und unsere Lösungen.

Wir vertrauen DAS seit nunmehr 18 Jahren. Die Dresdner Umweltexperten kennen unsere hohen Qualitätsansprüche und tragen erheblich dazu bei, diese zu realisieren.

Jürgen Burek, Robert Bosch GmbH

Als internationaler Chiphersteller vertrauen wir seit Jahren den Entsorgungslösungen der DAS. Daraus ist eine partnerschaftliche Beziehung gewachsen.

Eckhard Oetjen, GLOBALFOUNDRIES

Unser Verfahrensportfolio für Abgasreinigung in der Industrie

Abgasreinigung ermöglicht Umweltschutz und Sicherheit in der Industrie

Die Fertigung von Mikrochips, Solarzellen oder Flachbildschirmen und LEDs besteht aus vielen Teilschritten, bei denen schädliche Abgase entstehen. Prozessschritte, wie Ätzen, CVD (chemische Gasphasenabscheidung), Epitaxie und TCO (Abscheidung von Schichten aus transparenten, leitenden Oxiden) erzeugen sensible Mengen an Schadstoffen, welche aus diversen Gründen unmittelbar entsorgt werden müssen:

 

1. Sicherheit und Gesundheit am Arbeitsplatz

Viele der eingesetzten Prozessgase sind entflammbar oder explosiv. Dazu gehören u.a. Wasserstoff (H2) oder Silan (SiH4). Andere Gase hingegen sind giftig und müssen behandelt werden (COF2, HBr und F2), bevor sie in Kontakt mit Mensch und Natur kommen.

2. Umweltschutz

Viele der zu behandelnden Abgase sind umweltschädlich. Tetrafluorkohlenstoff (CF4) hat beispielsweise eine Lebensdauer in der Atmosphäre von ca. 50.000 Jahren. Sein relatives Treibhauspotential ist 6.500-mal so hoch wie das von Kohlenstoffdioxid (CO2).

3. Stabilität des Produktionsprozesses

Partikel oder Feinstäube können das Abluftsystem einer Fabrik zum Erliegen bringen, was ungewollte Ausfallzeiten in der Fertigung bedeuten würde. Der Staub ist schwer zu behandeln, da die Partikel häufig kleiner als 1 µm sind und deshalb leicht durch den Gaswäscher oder Abscheider dringen, ohne in der Waschflüssigkeit gefangen zu werden.

In den meisten Fällen stehen Anlagen zur Abgasbehandlung in der sogenannten „sub fab“, direkt neben den Vakuumpumpen. Die Entsorgung am Point-of-Use bietet dabei viele Vorteile. Kurze Gasleitungen senken das Risiko von Leckage und Verblockungen. Für beheizte Leitungen, die zur Vermeidung von Kondensation in den Schadgasleitungen bei einigen Prozessen notwendig sind, besteht ein deutliches Kosteneinsparungspotential. Der Einsatz von Abgasreinigungssystemen verringert außerdem Reinigungs- und Wartungsaufwände an den Gasleitungen. Unsere Fallstudien zeigen einige Best-Practice-Beispiele dafür.

 

Ihre Ansprechpartner im Geschäftsbereich Abgasreinigung

Frau Juliette Cavaillier/Herr Falk Allmrodt
Key Account Manager

+49 351 40494-400