Unser Portfolio für Abgasreinigung am Point-of-Use
Abgasreinigungssysteme von DAS Environmental Expert entsorgen seit 1991 Prozessabgase aus der Hochtechnologie-Fertigung und unterstützen somit den technologischen Fortschritt unserer Gesellschaft bei gleichzeitigem Schutz von Mensch und Umwelt.
Entsorgungskonzepte für Abgasreinigung
Die Reinigung von Abgasen in der Industrie dient dem Schutz von Mensch und Umwelt sowie der Stabilität des Produktionsprozesses. Dieser Aufgabe hat sich DAS Environmental Expert vor mehr als 30 Jahren verschrieben. Unsere Entsorgungskonzepte werden kundenspezifisch geplant und konfiguriert, nach hohen Industriestandards in Deutschland gefertigt und durch weltweite Serviceteams professionell betreut. Durch hauseigene Entwicklungskapazitäten am Hauptstandort Dresden sowie in den Innovationszentren in Taiwan und USA können wir eng mit unseren Kunden kooperieren und schnell auf neue Innovationszyklen reagieren.
Unsere Lösungen entsprechen den höchsten Qualitäts- und Sicherheitsstandards der Hightech-Industrie und erfüllen die anspruchsvollen Vorgaben der TA Luft (Technische Anleitung zur Reinhaltung der Luft). All das macht DAS Environmental Expert zu einem der führenden Unternehmen seiner Branche.
Unser Portfolio für Abgasreinigung im Überblick
Haben Sie Fragen zu unseren Produkten und Services?
Planung und Entwicklung kundenspezifischer Entsorgungskonzepte
Zur Entwicklung und Optimierung unserer Anlagen kooperieren wir eng mit Kunden, Gebäudeplanern und Lieferanten von Prozessanlagen (OEMs). Dadurch können wir gemeinsam innovative Lösungen im Bereich Sicherheit, Kosten- und Energieeinsparung sowie Connected Service entwickeln.
Portfolio für Abgasreinigung an der Prozessanlage
Abgasreinigungsanlagen von DAS Environmental Expert entsorgen Prozessabgase direkt am Ort ihrer Entstehung (Point-of-Use) in der Halbleiter‑, Photovoltaik‑, LED- und TFT-Industrie. Sie behandeln kondensierbare, brennbare, korrosive, reaktive, toxische und/oder pyrophore Abgase sowie Feinstäube. Unser Verfahrensportfolio umfasst Brenner/Wäscher-Systeme, Gaswäscher, Pyrolyse und Elektrostatische Filter.
Optimierung von Abgasreinigungsanlagen
Durch die beständige Optimierung und Weiterentwicklung der Fertigungsprozesse unserer Kunden, ändern sich auch die Anforderungen an die Abgasreinigung. Eine veränderte Zusammensetzung oder Quantität der Prozessabgase kann sich auf die Effizienz der Anlage auswirken. Auch veränderte Industriestandards für Komponenten und Baugruppen unserer Anlagen erfordern die kontinuierliche Weiterentwicklung der Abgasreinigungssysteme.
Service und Wartung Ihrer Abgasbehandlungsanlage
Unsere Servicemitarbeiter sind weltweit auf Abruf oder als feste Teams vor Ort an allen Hightech-Standorten verfügbar. Unser Kundendienst umfasst die Inbetriebnahme, die professionelle Wartung und den Technischen Support. Wir arbeiten dabei weltweit ausschließlich mit original Ersatz- und Verschleißteilen, um die Sicherheit und Effizienz der Abgasreinigung zu gewährleisten.
Entsorgung kritischer Industrieprozesse
Unser Verfahrensportfolio für Abgasreinigung in der Industrie
Branchen und Referenzen
DAS Environmental Expert bietet Herstellern von High-Tech-Produkten weltweit passgenaue und effektive Lösungen. Dies ist unser Beitrag zur technologischen Entwicklung unserer Gesellschaft im Einklang mit dem Schutz von Mensch und Umwelt.
Halbleiterindustrie
Solarindustrie
LED-Industrie
MEMS
Abgasreinigung ermöglicht Umweltschutz und Sicherheit in der Industrie
Die Fertigung von Mikrochips, Solarzellen oder Flachbildschirmen und LEDs besteht aus vielen Teilschritten, bei denen schädliche Abgase entstehen. Prozessschritte, wie Ätzen, CVD (chemische Gasphasenabscheidung), Epitaxie und TCO (Abscheidung von Schichten aus transparenten, leitenden Oxiden) erzeugen sensible Mengen an Schadstoffen, welche aus diversen Gründen unmittelbar entsorgt werden müssen:
1. Sicherheit und Gesundheit am Arbeitsplatz:
Viele der eingesetzten Prozessgase sind entflammbar oder explosiv. Dazu gehören u.a. Wasserstoff (H2) oder Silan (SiH4). Andere Gase hingegen sind giftig und müssen behandelt werden (COF2, HBr und F2), bevor sie in Kontakt mit Mensch und Natur kommen.
2. Umweltschutz:
Viele der zu behandelnden Abgase sind umweltschädlich. Tetrafluorkohlenstoff (CF4) hat beispielsweise eine Lebensdauer in der Atmosphäre von ca. 50.000 Jahren. Sein relatives Treibhauspotential ist 6.500-mal so hoch wie das von Kohlenstoffdioxid (CO2).
3. Stabilität des Produktionsprozesses:
Partikel oder Feinstäube können das Abluftsystem einer Fabrik zum Erliegen bringen, was ungewollte Ausfallzeiten in der Fertigung bedeuten würde. Der Staub ist schwer zu behandeln, da die Partikel häufig kleiner als 1 µm sind und deshalb leicht durch den Gaswäscher oder Abscheider dringen, ohne in der Waschflüssigkeit gefangen zu werden.
In den meisten Fällen stehen Anlagen zur Abgasbehandlung in der sogenannten „sub fab“, direkt neben den Vakuumpumpen. Die Entsorgung am Point-of-Use bietet dabei viele Vorteile. Kurze Gasleitungen senken das Risiko von Leckage und Verblockungen. Für beheizte Leitungen, die zur Vermeidung von Kondensation in den Schadgasleitungen bei einigen Prozessen notwendig sind, besteht ein deutliches Kosteneinsparungspotential. Der Einsatz von Abgasreinigungssystemen verringert außerdem Reinigungs- und Wartungsaufwände an den Gasleitungen. Unsere Fallstudien zeigen einige Best-Practice-Beispiele dafür.
Beratung und Technologieauswahl
Die Auswahl der geeigneten Technologie erfolgt durch unsere Anwendungsspezialisten nach Analyse der Situation vor Ort. Dabei sind Informationen über das Prozesswerkzeug, die Vakuumpumpe, die Gasarten und ‑ströme sowie die verfügbaren Betriebsmittel entscheidend.
Um eine langfristige Laufzeit und Werkzeugverfügbarkeit zu gewährleisten, stehen unser Service und technischer Support auf Abruf oder vor Ort zur Verfügung, sobald die Anlage in Betrieb genommen wurde.
Dr. Christian Kuhne
Director Sales Global
Exhibitions and Case Studies of DAS
SEMICON Korea 2024 … 31.01.–02.02.2024
Die SEMICON Korea steht an der Spitze der Halbleiterindustrie und bringt weltweit führende Unternehmen, Experten und Innovatoren zusammen, um die neuesten Fortschritte und Trends zu erkunden. Sie dient als zentrale Plattform für Networking, Wissensaustausch und…
Kostenreduzierung bei Silizium-Dünnschicht-Solarzellen-Produktionslinie
Kostenreduzierung bei Silizium-Dünnschicht-Solarzellen-Produktionslinie Verbesserungen der Abgasbehandlung Aufgrund des Drucks zur Kostenreduzierung in einer Dünnschicht-Solarzellen-Fertigung wurde der Versuch gestartet, die laufenden Kosten der…
Neues Abgasreinigungskonzept für Nassbank-Prozesse in der Halbleiterindustrie
Neues Abgasreinigungskonzept für Nassbank-Prozesse in der Halbleiterindustrie Point-of-Use System ersetzt Switching Boxes Im Bereich Abgasreinigung ist es gängige Praxis, Abgase aus nasschemischen Prozessen der Halbleiterindustrie mittels zentralen…