Abgasreinigungsverfahren und ‑anlagen für die Hochtechnologie-Fertigung
Seit 1991 entwickeln und produzieren wir als Umwelttechnologie-Unternehmen kundenspezifische Anlagen zur Abgasreinigung von Fertigungsprozessen der weltweiten Hightech-Industrien. Prinzipiell können DAS-Abgasreinigungsanlagen kondensierbare, brennbare, korrosive, reaktive, toxische und/oder pyrophore Abgase (z. B. Silane, Silanorganika, Terpineole, Wasserstoff, Ammoniak oder Halogenwasserstoffe) sowie Feinstäube behandeln.
Verfahrens- und Anlagenportfolio für Abgasreinigung am Point-of-Use
Unsere Kunden aus der Halbleiter/MEMS- und Solarbranche, aber auch aus den Bereichen TFT und LED profitieren vom ausgeprägten technischen Verständnis unserer Experten in Dresden und weltweit. Wir kennen die Industrieprozesse für Mikrochips und Solarmodule sehr genau und wissen, dass die Abgasreinigung maßgeblich für die Sicherheit der Fertigungsprozesse ist. Mit dieser Expertise bieten wir Ihnen passgenaue und effektive Lösungen an. Wir planen, entwickeln, fertigen und warten Point-of-Use Entsorgungslösungen für Abgasströme bis zu 5.000 m³/h.
Auf Wunsch erhalten Sie von uns auch integrierte Abgas- entsorgungslösungen, d. h. wir integrieren die Vakuumpumpen und weitere Komponenten Ihrer Wahl in unser System, oder kombinieren mehrere unserer Produkte zu einer kompletten Lösung. Unser Produktportfolio im Bereich Point-of-Use Abgasreinigung umfasst vier Technologiegruppen.
Brenner-Wäscher Systeme
Die kompakte Kombination von Brenner und Wäscher basiert auf unserem seit Gründung der DAS EE kontinuierlich weiterentwickelten Know-how. Abgase werden einem ringförmigen Brenner zugeführt, in dem je nach chemischer Zusammensetzung verschiedene Reaktionen wie Oxidation, Reduktion oder Pyrolyse ablaufen. Anschließend absorbiert und kühlt eine geeignete Waschflüssigkeit die entstehenden löslichen, gasförmigen und festen Verbindungen. Diese Technologie ermöglicht eine sichere Behandlung von Abgasen direkt am Point-of-Use (POU) und kommt in zahlreichen DAS-Reinigungssystemen zur Entfernung gefährlicher und schädlicher Substanzen wie Fluorverbindungen, Ammoniak, Silan oder Wasserstoff zum Einsatz – beispielsweise in der Halbleiterindustrie.
Plasma-Wäscher Systeme
Die Plasma-Wäscher-Technologie ist ein innovatives Verfahren zur Abgasreinigung dar, das besonders effektiv bei der Behandlung schwer abbaubarer Schadstoffe wie PFC-Gase ist. Bei Plasma-Wäscher Systemen wird mit Gleichstrom ein Plasma in einem Trägergas aus Stickstoff erzeugt. Der Kern des Verfahrens ist die Übertragung der sehr hohen Energie auf das zu reinigende Abgas, was zu dessen Zerfall und damit einem hocheffizienten Abbau der Schadstoffe führt. Durch die Einstellbarkeit der Leistungsabgabe kann die Anlage für unterschiedliche Anforderungen und Schadstoffkonzentrationen optimal konfiguriert werden, was ihr Vielseitigkeit und Effizienz ermöglicht.
Trockenbrenner – Pyrolysis
Die Prozessabgase werden in einer Zersetzungszone zerlegt. Bei Bedarf kann ein Brenngas zugeführt werden. Je nach chemischer Zusammensetzung der Abgase finden verschiedene Reaktionen statt, wie z.B. Oxidation, Reduktion oder Pyrolyse.
Die Brenner-Produktfamilie LARCH wurde speziell für MOCVD-Prozesse in der LED- und GaN-Industrie entwickelt. Die Anlagen sind in der Lage, große Ströme der typischen Gase Wasserstoff und Ammoniak zu behandeln.
Katalytische Systeme
Die katalytischen Systeme von DAS EE stellen eine innovative Lösung für die Halbleiterindustrie dar. Sie bieten eine überragende Leistung bei der Abgasnachbehandlung, indem sie die Leistung der selektiven katalytischen Reduktion (SCR) mit Ammoniak für DeNOx und Feinstaubentfernung durch einen hocheffektiven Membranfilter nutzen. Die Anlagen gewährleisten eine außergewöhnliche Reduktionseffizienz bei minimalem Energieverbrauch durch Rückgewinnung von mehr als 80 % der Prozesswärme. Mit dieser fortschrittlichen, zuverlässigen und umweltfreundlichen Lösung sind Sie den Umweltvorschriften immer einen Schritt voraus und können Ihre Nachhaltigkeitsziele erreichen.
Wäscher
Die Nasswäsche ist ein effizientes Verfahren zur Behandlung von wasserlöslichen Schadstoffen in Prozessabgasen. Unsere Nasswäscher werden hauptsächlich in der Halbleiterindustrie als Point-of-Use (POU) Nassbehandlungssystem installiert. Sie werden dicht hinter den Vakuumpumpen installiert und schützen das Abgassystem der Fabrik optimal vor Verschmutzung und Korrosion. Die Wartung ist schnell und einfach.
Partikelabscheider
Die Partikelabscheidung ist ein wesentlicher Aspekt der Abgasbehandlung, um Verstopfungen von Rohrleitungen zu vermeiden und das Austreten von giftigen Stäuben in die Umwelt zu verhindern. Unsere Systeme filtern mikro- und nanopartikelhaltige oder aerosolhaltige Prozessabgase. DAS EE nutzt hierfür unterschiedliche Abscheidetechnologien wie z.B. elektrostatische Filter oder zentrifugale Abscheider. Unsere Anlagen sind außerdem auf einen geringen Druckverlust optimiert und manche erzeugen sogar zusätzlichen Unterdruck bei der Reinigung.
Abgasreinigung mit rotierenden Feinstaub-Abscheider
Die Anlagen der RDC-Baureihe nutzen die Zentrifugalkraft zur Abtrennung der Feinstaubpartikel. Sie beruhen auf dem rein mechanischen Rotor-Stator-Prinzip.
Der Rotor wirkt wie ein Gebläse und fördert das Abgas; es entsteht also kein Druckverlust, sondern die üblicherweise angeschlossene Absaugung wird sogar unterstützt.
Consulting and Technology Selection
Die Auswahl der geeigneten Technologie erfolgt durch unsere Anwendungsspezialisten nach Analyse der Situation vor Ort. Dabei sind Informationen über das Prozesswerkzeug, die Vakuumpumpe, die Gasarten und ‑ströme sowie die verfügbaren Betriebsmittel entscheidend.
Um eine langfristige Laufzeit und Werkzeugverfügbarkeit zu gewährleisten, stehen unser Service und technischer Support auf Abruf oder vor Ort zur Verfügung, sobald die Anlage in Betrieb genommen wurde.
Dr. Christian Kuhne
Director Sales Global