Abgas­rei­ni­gungs­ver­fah­ren und ‑anla­gen für die Hochtechnologie-Fertigung

Seit 1991 ent­wi­ckeln und pro­du­zie­ren wir als Umwelt­tech­no­lo­gie-Unter­neh­men kun­den­spe­zi­fi­sche Anla­gen zur Abgas­rei­ni­gung von Fer­ti­gungs­pro­zes­sen der welt­wei­ten High­tech-Indus­trien. Prin­zi­pi­ell kön­nen DAS-Abgas­rei­ni­gungs­an­la­gen kon­den­sier­ba­re, brenn­ba­re, kor­ro­si­ve, reak­ti­ve, toxi­sche und/oder pyro­pho­re Abga­se (z. B. Sila­ne, Sil­an­or­ga­nika, Ter­pi­neole, Was­ser­stoff, Ammo­ni­ak oder Halo­gen­was­ser­stof­fe) sowie Fein­stäu­be behandeln.

Ver­fah­rens- und Anla­gen­port­fo­lio für Abgas­rei­ni­gung am Point-of-Use

Unse­re Kun­den aus der Halb­lei­ter/­MEMS- und Solar­bran­che, aber auch aus den Berei­chen TFT und LED pro­fi­tie­ren vom aus­ge­präg­ten tech­ni­schen Ver­ständ­nis unse­rer Exper­ten in Dres­den und welt­weit. Wir ken­nen die Indus­trie­pro­zes­se für Mikro­chips und Solar­mo­du­le sehr genau und wis­sen, dass die Abgas­rei­ni­gung maß­geb­lich für die Sicher­heit der Fer­ti­gungs­pro­zes­se ist. Mit die­ser Exper­ti­se bie­ten wir Ihnen pass­ge­naue und effek­ti­ve Lösun­gen an. Wir pla­nen, ent­wi­ckeln, fer­ti­gen und war­ten Point-of-Use Ent­sor­gungs­lö­sun­gen für Abgas­strö­me bis zu 5.000 m³/h.

Auf Wunsch erhal­ten Sie von uns auch inte­grier­te Abgas- ent­sor­gungs­lö­sun­gen, d. h. wir inte­grie­ren die Vaku­um­pum­pen und wei­te­re Kom­po­nen­ten Ihrer Wahl in unser Sys­tem, oder kom­bi­nie­ren meh­re­re unse­rer Pro­duk­te zu einer kom­plet­ten Lösung. Unser Pro­dukt­port­fo­lio im Bereich Point-of-Use Abgas­rei­ni­gung umfasst vier Technologiegruppen.

Bren­ner-Wäscher Systeme

Die kom­pak­te Kom­bi­na­ti­on von Bren­ner und Wäscher basiert auf unse­rem seit Grün­dung der DAS EE kon­ti­nu­ier­lich wei­ter­ent­wi­ckel­ten Know-how. Abga­se wer­den einem ring­för­mi­gen Bren­ner zuge­führt, in dem je nach che­mi­scher Zusam­men­set­zung ver­schie­de­ne Reak­tio­nen wie Oxi­da­ti­on, Reduk­ti­on oder Pyro­ly­se ablau­fen. Anschlie­ßend absor­biert und kühlt eine geeig­ne­te Wasch­flüs­sig­keit die ent­ste­hen­den lös­li­chen, gas­för­mi­gen und fes­ten Ver­bin­dun­gen. Die­se Tech­no­lo­gie ermög­licht eine siche­re Behand­lung von Abga­sen direkt am Point-of-Use (POU) und kommt in zahl­rei­chen DAS-Rei­ni­gungs­sys­te­men zur Ent­fer­nung gefähr­li­cher und schäd­li­cher Sub­stan­zen wie Flu­or­ver­bin­dun­gen, Ammo­ni­ak, Silan oder Was­ser­stoff zum Ein­satz – bei­spiels­wei­se in der Halbleiterindustrie.

Operation Principal STYRAX INLINE
STYRAX Plasma-Wet System Operation Principle

Plas­ma-Wäscher Systeme

Die Plas­ma-Wäscher-Tech­no­lo­gie ist ein inno­va­ti­ves Ver­fah­ren zur Abgas­rei­ni­gung dar, das beson­ders effek­tiv bei der Behand­lung schwer abbau­ba­rer Schad­stof­fe wie PFC-Gase ist. Bei Plas­ma-Wäscher Sys­te­men wird mit Gleich­strom ein Plas­ma in einem Trä­ger­gas aus Stick­stoff  erzeugt. Der Kern des Ver­fah­rens ist die Über­tra­gung der sehr hohen Ener­gie auf das zu rei­ni­gen­de Abgas, was zu des­sen Zer­fall und damit einem hoch­ef­fi­zi­en­ten Abbau der Schad­stof­fe führt. Durch die Ein­stell­bar­keit der Leis­tungs­ab­ga­be kann die Anla­ge für unter­schied­li­che Anfor­de­run­gen und Schad­stoff­kon­zen­tra­tio­nen opti­mal kon­fi­gu­riert wer­den, was ihr Viel­sei­tig­keit und Effi­zi­enz ermöglicht.

Tro­cken­bren­ner – Pyrolysis

Die Pro­zess­ab­ga­se wer­den in einer Zer­set­zungs­zo­ne zer­legt. Bei Bedarf kann ein Brenn­gas zuge­führt wer­den. Je nach che­mi­scher Zusam­men­set­zung der Abga­se fin­den ver­schie­de­ne Reak­tio­nen statt, wie z.B. Oxi­da­ti­on, Reduk­ti­on oder Pyrolyse.

Die Bren­ner-Pro­dukt­fa­mi­lie LARCH wur­de spe­zi­ell für MOCVD-Pro­zes­se in der LED- und GaN-Indus­trie ent­wi­ckelt. Die Anla­gen sind in der Lage, gro­ße Strö­me der typi­schen Gase Was­ser­stoff und Ammo­ni­ak zu behandeln.

Operation Principal LARCH
Operation Principal TSUGA

Kata­ly­ti­sche Systeme

Die kata­ly­ti­schen Sys­te­me von DAS EE stel­len eine inno­va­ti­ve Lösung für die Halb­lei­ter­indus­trie dar. Sie bie­ten eine über­ra­gen­de Leis­tung bei der Abgas­nach­be­hand­lung, indem sie die Leis­tung der selek­ti­ven kata­ly­ti­schen Reduk­ti­on (SCR) mit Ammo­ni­ak für DeN­Ox und Fein­staub­ent­fer­nung durch einen hoch­ef­fek­ti­ven Mem­bran­fil­ter nut­zen. Die Anla­gen gewähr­leis­ten eine außer­ge­wöhn­li­che Reduk­ti­ons­ef­fi­zi­enz bei mini­ma­lem Ener­gie­ver­brauch durch Rück­ge­win­nung von mehr als 80 % der Pro­zess­wär­me. Mit die­ser fort­schritt­li­chen, zuver­läs­si­gen und umwelt­freund­li­chen Lösung sind Sie den Umwelt­vor­schrif­ten immer einen Schritt vor­aus und kön­nen Ihre Nach­hal­tig­keits­zie­le erreichen.

Wäscher

Die Nass­wä­sche ist ein effi­zi­en­tes Ver­fah­ren zur Behand­lung von was­ser­lös­li­chen Schad­stof­fen in Pro­zess­ab­ga­sen. Unse­re Nass­wä­scher wer­den haupt­säch­lich in der Halb­lei­ter­indus­trie als Point-of-Use (POU) Nass­be­hand­lungs­sys­tem instal­liert. Sie wer­den dicht hin­ter den Vaku­um­pum­pen instal­liert und schüt­zen das Abgas­sys­tem der Fabrik opti­mal vor Ver­schmut­zung und Kor­ro­si­on. Die War­tung ist schnell und einfach.

Operation Principal SALIX
Operation Principal EDC

Par­ti­kel­ab­schei­der

Die Par­ti­kel­ab­schei­dung ist ein wesent­li­cher Aspekt der Abgas­be­hand­lung, um Ver­stop­fun­gen von Rohr­lei­tun­gen zu ver­mei­den und das Aus­tre­ten von gif­ti­gen Stäu­ben in die Umwelt zu ver­hin­dern. Unse­re Sys­te­me fil­tern mikro- und nano­par­ti­kel­hal­ti­ge oder aero­sol­hal­ti­ge Pro­zess­ab­ga­se. DAS EE nutzt hier­für unter­schied­li­che Abschei­de­tech­no­lo­gien wie z.B. elek­tro­sta­ti­sche Fil­ter oder zen­tri­fu­ga­le Abschei­der. Unse­re Anla­gen sind außer­dem auf einen gerin­gen Druck­ver­lust opti­miert und man­che erzeu­gen sogar zusätz­li­chen Unter­druck bei der Reinigung.

Abgas­rei­ni­gung mit rotie­ren­den Feinstaub-Abscheider

Die Anla­gen der RDC-Bau­rei­he nut­zen die Zen­tri­fu­gal­kraft zur Abtren­nung der Fein­staub­par­ti­kel. Sie beru­hen auf dem rein mecha­ni­schen Rotor-Stator-Prinzip.

Der Rotor wirkt wie ein Geblä­se und för­dert das Abgas; es ent­steht also kein Druck­ver­lust, son­dern die übli­cher­wei­se ange­schlos­se­ne Absau­gung wird sogar unterstützt.

Operation Principal RDC
Dr. Chris­ti­an Kuhne

Con­sul­ting and Tech­no­lo­gy Selection

Die Aus­wahl der geeig­ne­ten Tech­no­lo­gie erfolgt durch unse­re Anwen­dungs­spe­zia­lis­ten nach Ana­ly­se der Situa­ti­on vor Ort. Dabei sind Infor­ma­tio­nen über das Pro­zess­werk­zeug, die Vaku­um­pum­pe, die Gas­ar­ten und ‑strö­me sowie die ver­füg­ba­ren Betriebs­mit­tel entscheidend.

Um eine lang­fris­ti­ge Lauf­zeit und Werk­zeug­ver­füg­bar­keit zu gewähr­leis­ten, ste­hen unser Ser­vice und tech­ni­scher Sup­port auf Abruf oder vor Ort zur Ver­fü­gung, sobald die Anla­ge in Betrieb genom­men wurde.

Dr. Chris­ti­an Kuhne

Direc­tor Sales Global