Abgas­rei­ni­gungs­ver­fah­ren und ‑anla­gen für die Hoch­tech­no­lo­gie-Fer­ti­gung

Seit 1991 ent­wi­ckeln und pro­du­zie­ren wir als Umwelt­tech­no­lo­gie-Unter­neh­men kun­den­spe­zi­fi­sche Anla­gen zur Abgas­rei­ni­gung von Fer­ti­gungs­pro­zes­sen der welt­wei­ten High­tech-Indus­trien. Prin­zi­pi­ell kön­nen DAS-Abgas­rei­ni­gungs­an­la­gen kon­den­sier­ba­re, brenn­ba­re, kor­ro­si­ve, reak­ti­ve, toxi­sche und/oder pyro­pho­re Abga­se (z. B. Sila­ne, Sil­an­or­ga­nika, Ter­pi­neole, Was­ser­stoff, Ammo­ni­ak oder Halo­gen­was­ser­stof­fe) sowie Fein­stäu­be behan­deln.

Ver­fah­rens- und Anla­gen­port­fo­lio für Abgas­rei­ni­gung am Point-of-Use

Unse­re Kun­den aus der Halb­lei­ter/­MEMS- und Solar­bran­che, aber auch aus den Berei­chen TFT und LED pro­fi­tie­ren vom aus­ge­präg­ten tech­ni­schen Ver­ständ­nis unse­rer Exper­ten in Dres­den und welt­weit. Wir ken­nen die Indus­trie­pro­zes­se für Mikro­chips und Solar­mo­du­le sehr genau und wis­sen, dass die Abgas­rei­ni­gung maß­geb­lich für die Sicher­heit der Fer­ti­gungs­pro­zes­se ist. Mit die­ser Exper­ti­se bie­ten wir Ihnen pass­ge­naue und effek­ti­ve Lösun­gen an. Wir pla­nen, ent­wi­ckeln, fer­ti­gen und war­ten Point-of-Use Ent­sor­gungs­lö­sun­gen für Abgas­strö­me bis zu 5.000 m³/h.

Auf Wunsch erhal­ten Sie von uns auch inte­grier­te Abgas- ent­sor­gungs­lö­sun­gen, d. h. wir inte­grie­ren die Vaku­um­pum­pen und wei­te­re Kom­po­nen­ten Ihrer Wahl in unser Sys­tem, oder kom­bi­nie­ren meh­re­re unse­rer Pro­duk­te zu einer kom­plet­ten Lösung. Unser Pro­dukt­port­fo­lio im Bereich Point-of-Use Abgas­rei­ni­gung umfasst vier Tech­no­lo­gie­grup­pen.

Bren­ner/­Wä­scher-Ver­fah­ren

Die­ses Ver­fah­ren kom­bi­niert Bren­ner und Abgas­wä­scher zu einem Sys­tem. Die Pro­zess­ab­ga­se wer­den zunächst in einen ring­för­mi­gen Ver­bren­nungs­re­ak­tor gelei­tet. Abhän­gig von ihrer che­mi­schen Zusam­men­set­zung erfol­gen dort ver­schie­de­ne Reak­tio­nen. Die dabei ent­ste­hen­den lös­li­chen, gas­för­mi­gen und fes­ten Sub­stan­zen wer­den anschlie­ßend im Abgas­wä­scher durch eine geeig­ne­te Wasch­flüs­sig­keit gebun­den.

Abgas­rei­ni­gung durch Pyro­ly­se

In einem Bren­ner wer­den Schad­stof­fe aus Pro­zess­ab­ga­sen ent­fernt. Dazu kann, falls erfor­der­lich, ein Brenn­gas ein­ge­setzt wer­den. Im Abgas­bren­ner erfol­gen, abhän­gig von der che­mi­schen Zusam­men- set­zung der Abga­se, ver­schie­de­ne Reak­tio­nen wie Oxi­da­ti­on, Reduk­ti­on oder Pyro­ly­se.

Die Bren­ner-Pro­dukt­fa­mi­lie LARCH wur­de spe­zi­ell für MOCVD-Pro­zes­se in der LED-Indus­trie ent­wi­ckelt. Als typi­sche Gase wer­den hier Was­ser­stoff und Ammo­ni­ak behan­delt.

Gas­wä­scher zur Ent­sor­gung was­ser­lös­li­cher Schad­ga­se

Die Nass­wä­sche ist ein effi­zi­en­tes Ver­fah­ren zum Aus­wa­schen was­ser­lös­li­cher Schad­stof­fe aus Pro­zess­ab­ga­sen. Unse­re Point-of-Use-Gas­wä­scher wer­den erfolg­reich vor allem in der Halb­lei­ter­indus­trie zur Abgas­rei­ni­gung ein­ge­setzt. Dazu wer­den sie in mög­lichst kur­zer Ent­fer­nung hin­ter den Vaku­um­pum­pen instal­liert. Die Anla­gen sind sehr war­tungs­freund­lich und schüt­zen das Abluft­sys­tem der Fabrik vor Ver­un­rei­ni­gung und Kor­ro­si­on.

Par­ti­kel­rei­ni­gung durch Elek­tro­sta­ti­sche Fil­ter

Elek­tro­sta­ti­sche Fil­ter nut­zen ein elek­tri­sches Feld, um Pro­zess­ab­ga­se von Par­ti­keln zu rei­ni­gen. Unse­re Anla­gen fil­tern fei­ne und feins­te Stäu­be sowie Aero­so­le zuver­läs­sig und effi­zi­ent aus Abga­sen, wie sie u.a. in der TFT-Indus­trie ent­ste­hen.

Zur Behand­lung kon­den­sier­ba­rer orga­ni­scher Ver­bin­dun­gen bie­ten wir Ihnen einen Elek­tro­sta­ti­schen Kon­den­sat Abschei­der.

 

Bera­tung und Ver­fah­rens­aus­wahl

Die Aus­wahl des pas­sen­den Ver­fah­rens erfolgt durch unse­re Appli­ka­ti­ons­spe­zia­lis­ten nach Ana­ly­se der Situa­ti­on vor Ort. Infor­ma­tio­nen zu Pro­zess­an­la­ge, Vaku­um­pum­pe, Gas­ty­pen und –flüs­sen sowie den ver­füg­ba­ren Betriebs­mit­teln sind dafür aus­schlag­ge­bend.

Um eine lang­fris­ti­ge Lauf­zeit und Maschi­nen­ver­füg­bar­keit zu gewähr­leis­ten ste­hen unser Ser­vice und Tech­ni­scher Sup­port ab Inbe­trieb­nah­me des Sys­tems auf Abruf oder on-site zur Ver­fü­gung.