Effiziente Abgasreinigung und Wasserbehandlung für die Halbleiterindustrie
Seit über 30 Jahren sind wir bei DAS EE Spezialisten für Point-of-Use-Entsorgungstechnologie. Unsere Kunden*innen schätzen sowohl unser umfangreiches Know-how in der Entsorgung von Prozessabgasen als auch unsere Expertise für die komplette Wasserbehandlung.
In vielen Produktionsprozessen der hochtechnisierten Halbleiterproduktion, bspw. beim Reinigen der Wafer und im Rahmen von Ätz‑, CVD- und Epitaxie-Prozessen, kommen Gase zum Einsatz, die aus Sicherheitsgründen unmittelbar und zuverlässig behandelt werden müssen. Die entstandenen Abgase sind häufig Treibhausgase („Greenhouse Gases“), giftig und/oder leicht entzündbar, und oft mit erheblichen Risiken für Produktionsstätten und Umwelt verbunden. Durch die Zusammenführung und den Transport verschiedener Abgase in zentrale Abgassysteme der Fabriken, können mitgeführte Partikel die Transportleitungen zusetzen.
Zudem können leicht entzündliche bzw. hoch explosive Gasgemische entstehen, welche in Extremfällen bereits zum Totalverlust ganzer Fabriken geführt haben.
Um derartige Risiken zu eliminieren, haben wir bei DAS-Anlagen entwickelt, die Prozessabgase direkt am Ort ihrer Entstehung (Point-of-Use) reinigen – Brenner/Wäscher-Systeme, Wäscher und Elektrostatischen Filter. Übrig bleibt häufig lediglich ein partikelfreies, ungefährliches Gasgemisch, das über die Abluft freigesetzt werden kann. Um die Aufbereitung der entstandenen Waschflüssigkeit aus unseren Wäschern kümmern wir uns ebenfalls – und, wenn Sie möchten, gern auch um die Behandlung Ihrer Abwässer aus Wet-Prozessen, wie Ätzen oder Planarisieren.
Gefährliche Prozessgase erfordern modernste Abgaslösungen
In der Halbleiterindustrie kommen verschiedene Prozessgase zum Einsatz, die bei fehlerhafter oder mangelnder Behandlung nicht selten ein Risiko für die Produktionsstätte, Mitarbeiter und Umwelt darstellen. DAS-Lösungen arbeiten effizient, voll automatisiert und sensorgesteuert für beste Reinigungsergebnisse.
Prozess der Waferfertigung
- Epitaxy
- CVD
- ETCH
- CMP
- Wet Cleaning
- CVD
- Wafer Dicing
Flexible Point-Of-Use-Lösungen zur Abgasreinigung
Seit 1991 entsorgen Point-of-Use-Anlagen, welche DAS EE in Dresden entwickelt und herstellt, fachgerecht Abgase aus CVD/MOCVD‑, Epitaxy‑, Etch- und Wet Cleaning Prozessen der Halbleiterindustrie. DAS-Anlagen sind faktisch an allen modernen Beschichtungs- und Ätzanlagen der Chipindustrie einsetzbar. Die Abgase werden sicher und umweltgerecht gereinigt, sodass die Abluft die behördlichen Anforderungen erfüllt. Die DAS-Technologie basiert dabei auf einem flexiblen, integrierten Anlagenkonzept. Die kleinsten Anlagen passen komplett in einen Schrank mit deutlich weniger als 1x1 m² Grundfläche.
Von der Abwasserentsorgung zur Wertstoff-Rückgewinnung
In der Halbleiterindustrie fallen Abwässer aus verschiedenen Produktions- und Reinigungsprozessen sowie der anschließenden Abgasreinigung an. Wir bei DAS EE sind Spezialisten für die Behandlung derartiger Abwässer. Ob Sie ein bestehendes Abwasserbehandlungssystem aufrüsten wollen oder eine neue Anlage planen, unsere Experten entwickeln mit Ihnen gemeinsam eine maßgeschneiderte Lösung, die Ihre Bedürfnisse erfüllt und Ihre Erwartungen übertrifft.
Zentralisierte, semizentralisierte & POU-Systeme
Jeder Kunden hat individuelle Anforderungen an seine Abwasserbehandlungsanlage. Diese wirken sich maßgeblich auf die Gestaltung, Technologie, den Standort sowie die Größe der Anlage aus. Wir bieten zentralisierte, semizentralisierte sowie auch Point-of-Use-Anlagen an und geben unseren Kunden so die Möglichkeit, den Ansatz zu wählen, der am besten zu ihren spezifischen Bedürfnissen passt. Zudem können durch den modularen Aufbau unserer Systemkomponenten unsere DAS-Abwasseranlagen weitestgehend vorgefertigt und montagefreundlich an ihren Einsatzort ausgeliefert werden.
Unser Portfolio für die Halbleiterindustrie beinhaltet u. a.
- Entfernung von organischen Verunreinigungen, gemessen als chemischer Sauerstoffbedarf (CSB) und biochemischer Sauerstoffbedarf (BSB), aus Abwässern
- Entfernung von Schwermetallen oder anderen toxischen Verbindungen
- Behandlung von chemisch-mechanischen Polier-/Planarisierungsabwasser (CMP)
- Behandlung von Siliziumabfällen
- Behandlung und Polieren von flurid- und arsenhaltigem Abwasser
- Behandlung von Isopropanol (IPA) oder anderen flüchtigen
organischen Verbindungen (VOCs) - Wiederverwendung von behandeltem Abwasser (Wasserrecycling)
- Rückgewinnung und Recycling von Wertmetallen aus
Abwässern
Halbleiterhersteller produzieren umweltfreundlich durch kombinierte Abgas- und Abwasserbehandlung
DAS EE bietet ein umfangreiches und durchdachtes Portfolio für Halbleiterhersteller. Mit unseren Anlagen für Abgasentsorung und Wasserbehandlung sogen wir seit vielen Jahren dafür, dass die Chipproduktion mit hohen Ansprüchen an den Schutz von Mensch und Umwelt einhergeht. Wir sind bestens vertraut mit höchsten Anforderungen an Reinheit, Zuverlässigkeit und Sicherheit, denn die Unternehmen der Halbleiterindustrie zählen seit der Unternehmensgründung zu unseren wichtigsten Kunden.
Ziele für nachhaltige Entwicklung
Wir unterstützen die Hightechindustrie bei der Umsetzung von Nachhaltigkeit und grüner Produktion – im Einklang mit den von der UNESCO festgelegten Zielen für nachhaltige Entwicklung.
Ihr Ansprechpartner für alle Themen im Bereich der Halbleiterindustrie
Dr. Christian Kuhne
Director Sales Global