DAS präsentiert neue technische Lösung für eine umweltfreundliche Halbleiter- und Photovoltaikindustrie – mehr zu Abgasreinigung mit STYRAX

Dresden, 1. September 2011. Neue technische Lösung für eine umweltfreundliche Halbleiter- und Photovoltaikindustrie: STYRAX heißt das jüngste Produkt der DAS Environmental Expert GmbH aus Dresden. Die neue Anlage wurde für die Entsorgung gefährlicher Substanzen aus den Abgasen von CVD-Prozessen entwickelt. „Technologisch basiert STYRAX auf unseren Systemen GIANT und UPTIMUM, jedoch herunterskaliert auf geringere Gasmengen“, erläutert Dr. Guy Davies, Leiter Geschäftsbereich Abgasentsorgungbei der DAS Environmental Expert GmbH. „Wir haben STYRAX speziell für typische Anwendungen in der Halbleiterindustrie entwickelt. Doch auch in der Photovoltaik-Produktionwerden nicht immer die großen Anlagen benötigt. Jetzt können wir Kunden auch kleinere Systeme anbieten“, sagt Davies.   

Die neue Anlage verwendet bewährte Technologie, die  auf die speziellen Erfordernisse der chemischen Gasphasenabscheidung („Chemical Vapour Deposition“ – CVD) angepasst ist. Mit diesem Verfahren, das unter anderem in der Halbleiterindustrie zum Einsatz kommt, wird auf der Oberfläche eines Substrates durch eine chemische Reaktion aus der Gasphase eine dünne Schicht erzeugt. CVD wird beispielsweise bei der Chipherstellung genutzt, um Schichten aus diversen Metallen, Siliziumnitrid, Siliziumoxid oder poly-Silizium abzuscheiden. Dabei kommt eine Vielzahl von gasförmigen Substanzen zum Einsatz, die teilweise giftig, leicht entzündlich, explosiv oder klimaschädlich sind. 

„STYRAX entspricht den Bedürfnissen vieler Kunden besser und komplettiert so unser Produktportfolio“, fügt Dr. Guy Davies hinzu. Die Anlage wurde durch die Dresdner Umweltexperten speziell für die Entsorgung von Abgasen aus anspruchsvollen CVD-Prozessen konzipiert. Dank ihres geringen Flächenbedarfes kann STYRAX sowohl im Fab-Basement als auch in unmittelbarer Nähe der CVD-Anlagen aufgestellt werden.

STYRAX basiert auf der Brenner/Wäscher-Technologie, die bereits seit einigen Jahren erfolgreich in den Systemen GIANT und UPTIMUM zum Einsatz kommt. Das Brennen erfolgt dabei von oben nach unten. Ein Flüssigkeitsfilm schützt die Wände der Brennkammer vor Partikelablagerungen und beugt Korrosion vor. In einer Waschkolonne, die parallel zum Reaktor angeordnet ist, werden die Reaktionsprodukte aus den Abgasen durch Waschen entfernt. Auch Partikel werden dabei in Suspension überführt. Anschließend kann die abgekühlte und gereinigte Abluft über Dach abgeblasen werden.

Zur Abgasreinigung können unterschiedliche Brenngase und Waschflüssigkeiten eingesetzt werden. STYRAX zeichnet sich durch lange Wartungszyklen, hohe Verfügbarkeit, Entsorgungseffizienz und Servicefreundlicheit aus.  Die Verlängerung der Wartungsintervalle  unterstützt  die Kunden bei der Senkung von Betriebskosten. Die Anbindung des Systems an ein Monitoring-Netzwerk ist möglich. Für Anwendungen, bei denen eine Verfügbarkeit von nahezu 100 Prozent erforderlich ist, hat die DAS Environmental Expert GmbH zudem die Variante STYRAXDUO entwickelt. Dabei handelt es sich um eine Anlage mit zwei Brenner/Wäscher-Systemen, die parallel zueinander arbeiten können. Wenn es erforderlich ist – beispielsweise bei der Wartung eines der beiden Systeme – übernimmt jeweils das andere die gesamte Abgasbehandlung.  

Über das Unternehmen 
Die DAS Environmental Expert GmbH mit Sitz in Dresden ist ein Umwelt-Technologie-Unternehmen. 1991 gegründet, zählt das Unternehmen zu den weltweit führenden Technologie- und Equipmentanbietern für Prozessabgasentsorgungslösungen. Die DAS-Technologie wird bei den international agierenden Branchengrößen der Halbleiter-, TFT- und LCD-Display-Industrie sowie in der Photovoltaikindustrie eingesetzt. In einem zweiten Geschäftsbereich entwickelt das Unternehmen Verfahrens- und Anlagenlösungen zur Behandlung von industriellen und kommunalen Abwässern. DAS Environmental Expert ist weltweit tätig, beschäftigt derzeit 220 Mitarbeiter und erzielte in den letzten Jahren im Schnitt 21 Millionen Euro Umsatz. 

Bei Rückfragen wenden Sie sich bitte an: 
Daniela Georgi (Leiterin Marketing), Telefon: +49 351 40494130, georgi@das-europe.com
PR Piloten GmbH & Co. KG, Robert Weichert, Telefon: +49 351 50 14 02 02, info@pr-piloten.de