DAS prä­sen­tiert neue tech­ni­sche Lösung für eine umwelt­freund­li­che Halb­lei­ter- und Pho­to­vol­ta­ik­in­dus­trie – mehr zu Abgas­rei­ni­gung mit STYRAX

Dres­den, 1. Sep­tem­ber 2011. Neue tech­ni­sche Lösung für eine umwelt­freund­li­che Halb­lei­ter- und Pho­to­vol­ta­ik­in­dus­trie: STYRAX heißt das jüngs­te Pro­dukt der DAS Envi­ron­men­tal Expert GmbH aus Dres­den. Die neue Anla­ge wur­de für die Ent­sor­gung gefähr­li­cher Sub­stan­zen aus den Abga­sen von CVD-Pro­zes­sen ent­wi­ckelt. „Tech­no­lo­gisch basiert STYRAX auf unse­ren Sys­te­men GIANT und UPTIMUM, jedoch her­un­ter­ska­liert auf gerin­ge­re Gas­men­gen“, erläu­tert Dr. Guy Davies, Lei­ter Geschäfts­be­reich Abgas­ent­sor­gung­bei der DAS Envi­ron­men­tal Expert GmbH. „Wir haben STYRAX spe­zi­ell für typi­sche Anwen­dun­gen in der Halb­lei­ter­indus­trie ent­wi­ckelt. Doch auch in der Pho­to­vol­ta­ik-Pro­duk­ti­onwer­den nicht immer die gro­ßen Anla­gen benö­tigt. Jetzt kön­nen wir Kun­den auch klei­ne­re Sys­te­me anbie­ten“, sagt Davies.   

Die neue Anla­ge ver­wen­det bewähr­te Tech­no­lo­gie, die  auf die spe­zi­el­len Erfor­der­nis­se der che­mi­schen Gas­pha­sen­ab­schei­dung („Che­mi­cal Vapour Depo­si­ti­on“ – CVD) ange­passt ist. Mit die­sem Ver­fah­ren, das unter ande­rem in der Halb­lei­ter­indus­trie zum Ein­satz kommt, wird auf der Ober­flä­che eines Sub­stra­tes durch eine che­mi­sche Reak­ti­on aus der Gas­pha­se eine dün­ne Schicht erzeugt. CVD wird bei­spiels­wei­se bei der Chip­her­stel­lung genutzt, um Schich­ten aus diver­sen Metal­len, Sili­zi­um­ni­trid, Sili­zi­um­oxid oder poly-Sili­zi­um abzu­schei­den. Dabei kommt eine Viel­zahl von gas­för­mi­gen Sub­stan­zen zum Ein­satz, die teil­wei­se gif­tig, leicht ent­zünd­lich, explo­siv oder kli­ma­schäd­lich sind. 

„STYRAX ent­spricht den Bedürf­nis­sen vie­ler Kun­den bes­ser und kom­plet­tiert so unser Pro­dukt­port­fo­lio“, fügt Dr. Guy Davies hin­zu. Die Anla­ge wur­de durch die Dresd­ner Umwelt­ex­per­ten spe­zi­ell für die Ent­sor­gung von Abga­sen aus anspruchs­vol­len CVD-Pro­zes­sen kon­zi­piert. Dank ihres gerin­gen Flä­chen­be­dar­fes kann STYRAX sowohl im Fab-Base­ment als auch in unmit­tel­ba­rer Nähe der CVD-Anla­gen auf­ge­stellt wer­den.

STYRAX basiert auf der Bren­ner/­Wä­scher-Tech­no­lo­gie, die bereits seit eini­gen Jah­ren erfolg­reich in den Sys­te­men GIANT und UPTIMUM zum Ein­satz kommt. Das Bren­nen erfolgt dabei von oben nach unten. Ein Flüs­sig­keits­film schützt die Wän­de der Brenn­kam­mer vor Par­ti­kel­ab­la­ge­run­gen und beugt Kor­ro­si­on vor. In einer Wasch­ko­lon­ne, die par­al­lel zum Reak­tor ange­ord­net ist, wer­den die Reak­ti­ons­pro­duk­te aus den Abga­sen durch Waschen ent­fernt. Auch Par­ti­kel wer­den dabei in Sus­pen­si­on über­führt. Anschlie­ßend kann die abge­kühl­te und gerei­nig­te Abluft über Dach abge­bla­sen wer­den.

Zur Abgas­rei­ni­gung kön­nen unter­schied­li­che Brenn­ga­se und Wasch­flüs­sig­kei­ten ein­ge­setzt wer­den. STYRAX zeich­net sich durch lan­ge War­tungs­zy­klen, hohe Ver­füg­bar­keit, Ent­sor­gungs­ef­fi­zi­enz und Ser­vice­freund­licheit aus.  Die Ver­län­ge­rung der War­tungs­in­ter­val­le  unter­stützt  die Kun­den bei der Sen­kung von Betriebs­kos­ten. Die Anbin­dung des Sys­tems an ein Moni­to­ring-Netz­werk ist mög­lich. Für Anwen­dun­gen, bei denen eine Ver­füg­bar­keit von nahe­zu 100 Pro­zent erfor­der­lich ist, hat die DAS Envi­ron­men­tal Expert GmbH zudem die Vari­an­te STYRAXDUO ent­wi­ckelt. Dabei han­delt es sich um eine Anla­ge mit zwei Bren­ner/­Wä­scher-Sys­te­men, die par­al­lel zuein­an­der arbei­ten kön­nen. Wenn es erfor­der­lich ist – bei­spiels­wei­se bei der War­tung eines der bei­den Sys­te­me – über­nimmt jeweils das ande­re die gesam­te Abgas­be­hand­lung.  

Über das Unter­neh­men 
Die DAS Envi­ron­men­tal Expert GmbH mit Sitz in Dres­den ist ein Umwelt-Tech­no­lo­gie-Unter­neh­men. 1991 gegrün­det, zählt das Unter­neh­men zu den welt­weit füh­ren­den Tech­no­lo­gie- und Equip­men­tan­bie­tern für Pro­zess­ab­gas­ent­sor­gungs­lö­sun­gen. Die DAS-Tech­no­lo­gie wird bei den inter­na­tio­nal agie­ren­den Bran­chen­grö­ßen der Halbleiter‑, TFT- und LCD-Dis­play-Indus­trie sowie in der Pho­to­vol­ta­ik­in­dus­trie ein­ge­setzt. In einem zwei­ten Geschäfts­be­reich ent­wi­ckelt das Unter­neh­men Ver­fah­rens- und Anla­gen­lö­sun­gen zur Behand­lung von indus­tri­el­len und kom­mu­na­len Abwäs­sern. DAS Envi­ron­men­tal Expert ist welt­weit tätig, beschäf­tigt der­zeit 220 Mit­ar­bei­ter und erziel­te in den letz­ten Jah­ren im Schnitt 21 Mil­lio­nen Euro Umsatz. 

Bei Rück­fra­gen wen­den Sie sich bit­te an: 
Danie­la Geor­gi (Lei­te­rin Mar­ke­ting), Tele­fon: +49 351 40494130, georgi@das-europe.com
PR Pilo­ten GmbH & Co. KG, Robert Wei­chert, Tele­fon: +49 351 50 14 02 02, info@pr-piloten.de