DAS Envi­ron­men­tal Expert GmbH schafft Mehr­wert für die Halb­lei­ter­indus­trie: Neu­er Anla­gen­typ SALIX senkt Ent­sor­gungs­kos­ten bei gerin­ge­rem ‚Foot­print’ und höhe­rer Effi­zi­enz

SALIX heißt die neu­es­te Anla­ge der DAS Envi­ron­men­tal Expert GmbHDres­den (Deutsch­land), einem der welt­weit füh­ren­den Unter­neh­men für die Ent­sor­gung von Pro­zess­ab­ga­sen in der Halb­lei­ter­indus­trie. SALIX ist eine Anla­ge zur Ent­sor­gung von Schad­ga­sen aus Nass­bank-Appli­ka­tio­nen. „Wir haben sie auf eine Kun­den­an­fra­ge hin ent­wi­ckelt”, berich­tet Dr. Guy Davies, Lei­ter Geschäfts­be­reich Abgas­ent­sor­gung bei der DAS Envi­ron­men­tal Expert GmbH. „Ein gro­ßes Unter­neh­men aus dem Found­ry-Bereich such­te eine Lösung für die Absau­gung von Nass­bän­ken.” Eine ers­te Anla­ge hat die DAS Envi­ron­men­tal Expert GmbH im Dezem­ber 2012 instal­liert. „Sie läuft seit Ende Janu­ar die­ses Jah­res”, berich­tet Davies. „Bis­lang gab es kei­ner­lei Feh­ler, und auch die Effi­zi­enz­mes­sung zeig­te, dass sie die Vor­ga­ben des Kun­den erfüllt: Am Aus­gang ist kei­ne der zu ent­sor­gen­den Sub­stan­zen mehr nach­weis­bar.”

Anhal­ten­der Kos­ten­druck auch in der Halb­lei­ter­indus­trie

Die Bran­che ach­tet sehr auf einen spar­sa­men Ein­satz der Res­sour­cen. Effi­zi­enz ist für die Chip­her­stel­ler ein wich­ti­ges The­ma, und da spre­chen gleich meh­re­re Argu­men­te für die Point-of-Use-Ent­sor­gung auch bei Nass­bän­ken. „Ein sol­ches Tool hat bis zu zwölf Kam­mern, und bis­lang erfolg­te die Absau­gung jeder Kam­mer über meh­re­re Exhaust-Sys­te­me. Zur Ver­mei­dung von Abla­ge­run­gen in den Lei­tun­gen wur­den auf­wen­di­ge Umschalt­ein­rich­tun­gen ein­ge­setzt”, sagt Davies. „SALIX ermög­licht es, all die­se sehr raum­grei­fen­den Instal­la­tio­nen ein­zu­spa­ren. Benö­tigt wird nur eine SALIX-Anla­ge pro Nass­bank, und dann anschlie­ßend auch nur eine Lei­tung für die gerei­nig­te Abluft. SALIX benö­tigt zudem in der Sum­me weni­ger Platz als die bis­he­ri­ge Tech­nik.”

Die DAS Envi­ron­men­tal Expert GmbH ist der­zeit der welt­weit ers­te Anbie­ter von Point-of-Use-Ent­sor­gungs­tech­nik für Sin­gle Wafer Clean Nass­bän­ke. „Bis­lang war die Point-of-Use-Ent­sor­gung sol­cher Anla­gen kein The­ma”, sagt Davies. „Das hat sich geän­dert. Uns lie­gen mitt­ler­wei­le auch Anfra­gen von wei­te­ren Kun­den aus den USA vor. Das Inter­es­se an SALIX ist groß, weil die Res­sour­cen­ein­spa­run­gen die Kos­ten bei wei­tem auf­wie­gen.” ergänzt Davies.  

SALIX senkt Ent­sor­gungs­kos­ten bei gerin­ge­rem ‚Foot­print’ und höhe­rer Effi­zi­enz

In den soge­nann­ten Wet Ben­ches wer­den bei der Her­stel­lung von inte­grier­ten Schalt­krei­sen dün­ne Schei­ben aus Sili­zi­um, die Wafer, nach bestimm­ten Bear­bei­tungs­schrit­ten gerei­nigt. Dabei kom­men unter­schied­li­che Lösun­gen zum Ein­satz, erklärt Davies, „und zwar nach­ein­an­der sowohl Rein­was­ser als auch sau­re und alka­li­sche Che­mi­ka­li­en und auch flüch­ti­ge Lösungs­mit­tel. Anschlie­ßend wer­den die Wafer rück­stands­frei getrock­net.”  

Wur­de zur Rei­ni­gung von 200-Mil­li­me­ter-Wafern noch die gan­ze Kas­set­te getaucht, so set­zen heu­te Chip­her­stel­ler bei 300-Mil­li­me­ter-Wafern auf das soge­nann­te Sin­gle Wafer Clea­ning, sagt Davies. „Dabei wer­den die Wafer ein­zeln in schnel­le Dre­hung ver­setzt und dann ent­spre­chend mit den Rei­ni­gungs­flüs­sig­kei­ten benetzt. Auf­grund der Rota­ti­on ver­teilt sich das Rei­ni­gungs­mit­tel über den Wafer, und wird schließ­lich am Rand abge­schleu­dert und in der Anla­ge mit Prall­plat­ten auf­ge­fan­gen.”  

In der Abluft, die aus die­sen Wet Ben­ches abge­saugt wird, sind Antei­le die­ser Rei­ni­gungs­mit­tel ent­hal­ten – ent­we­der in der Dampf­pha­se oder aber in Form von Tröpf­chen. Bis­lang wur­den sie über ein extrem auf­wen­di­ges Sys­tem abge­saugt, erläu­tert Davies. „Es wur­den meh­re­re Abzugs­sys­te­me ein­ge­setzt, sau­re, alka­li­sche und lösungs­mit­tel­hal­ti­ge Abga­se wur­den getrennt abge­führt.” Denn nur durch die getrenn­te Absau­gung waren Salz­bil­dung und Kon­den­sa­ti­on in den Rohr­lei­tun­gen zu ver­mei­den.  

SALIX ent­fernt die Schad­stof­fe direkt am Ort ihrer Ent­ste­hung in einem zwei­stu­fi­gen Wasch­vor­gang durch che­mi­sche und phy­si­ka­li­sche Absorp­ti­on aus dem Gas­strom.  Die Schad­ga­se wer­den aus den Pro­zess­kam­mern der Nass­bank über sepa­ra­te Ein­läs­se in einen Vor­wä­scher gelei­tet und dort mit Hil­fe von Sprüh­dü­sen vor­ge­wa­schen. Danach gelan­gen die Gase in die ers­te Wasch­stre­cke. Das ver­blei­ben­de Rein­gas kann ohne Gefahr für Tech­nik und Umwelt in die Außen­luft abge­ge­ben wer­den.  

Durch die Point-of-Use-Ent­sor­gung ver­hin­dert SALIX zuver­läs­sig das Zuset­zen der nach­fol­gen­den Abluft­lei­tun­gen.  Die Anla­ge benö­tigt kei­ne Ver­dün­nungs­luft, so bleibt die mit hohem Auf­wand auf­be­rei­te­te Rein­raum­luft im Rein­raum – auch das hilft, die Kos­ten zu sen­ken.