Das neue System der DAS Environmental Expert GmbH entsorgt gefährliche Abgase aus der Halbleiterproduktion sicher und zuverlässig

Die DAS Environmental Expert GmbH bietet ihren Kunden ab sofort eine neue Anlage für die Abgasreinigung an: SPRUCE ist ein Abgasentsorgungssystem, das ohne den Einsatz vonBrenngas auskommt. „Damit schließen wir eine Lücke in unserem Portfolio“, sagt Dr. Guy Davies, Geschäftsbereichsleiter Abgasentsorgung bei der DAS Environmental Expert GmbH. „Wir haben festgestellt, dass die Nachfrage nach derartigen Anlagen hoch ist. So gibt es Halbleiterfabs, die den Einsatz von Brenngas grundsätzlich vermeiden wollen. Zum anderen sind aber auch bestehende Fabs leichter nachrüstbar, wenn auf die Zuführung von Brenngas verzichtet werden kann. Das ist ein großer Markt, und wir haben jetzt das passende Angebot dafür.“  

Kostengünstige und zuverlässige Behandlung von Abgas aus Produktionsanlagen

SPRUCE ist besonders geeignet für die Entsorgung von Abgasen aus Prozessen, die das Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung („Chemical Vapour Deposition“ – CVD) nutzen. Dabei kommen gasförmige Substanzen zum Einsatz, die teilweise giftig, leicht entzündlich, explosiv oder klimaschädlich sind. SPRUCE entfernt Reste davon kostengünstig und zuverlässig aus dem Abgas der Produktionsanlagen. „Die Prozessabgase werden über bis zu vier Schadgaseingänge in den Reaktor eingebracht, der von außen elektrisch geheizt wird“, erläutert Davies die Funktionsweise der Anlage. „Dort werden sie thermisch zerlegt und es kommt dabei in Abhängigkeit von der Zusammensetzung der Schadgase zu verschiedenen chemischen Reaktionen. Anschließend werden die gasförmigen und festen Reaktionsprodukte in einer Nasswaschstrecke, die dem thermischen Reaktor nachgeschaltet ist, durch eine entsprechende Waschflüssigkeit gebunden. Gleichzeitig erfolgt in der Nassstrecke die Abkühlung der Abgase.“ Das abgekühlte und gereinigte Abgas kann danach ohne Probleme als Abluft abgeblasen werden.  

Kleine Fläche, geringer Investitions- und Wartungsaufwand

Die Abgasreinigung erfolgt, ohne dass eine Flamme entsteht. Aufgrund des geringen Flächenbedarfes kann das System sowohl im Fab-Basement als auch in unmittelbarer Nähe der CVD-Anlagen aufgestellt werden. „SPRUCE zeichnet sich durch geringe Investitionskosten und eine hohe Anlagenverfügbarkeit aus“, so Davies. Ein integrierter Reinigungsmechanismus in der Reaktionskammer sorgt für lange Wartungszyklen. Die Anbindung des Systems an ein Monitoring-Netzwerk ist möglich. Für Anwendungen, bei denen eine Verfügbarkeit von nahezu 100 Prozent erforderlich ist, hat die DAS Environmental Expert GmbH zudem die Variante SPRUCE DUO entwickelt. Dabei handelt es sich um eine Anlage mit zwei Reaktor/Wäscher-Systemen, die parallel zueinander arbeiten können. Wenn es erforderlich ist – beispielsweise bei der Wartung eines der beiden Systeme – übernimmt jeweils das andere die gesamte Abgasbehandlung. 

 

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Daniela Georgi (Leiterin Marketing), Telefon: +49 351 40494130, georgi@das-europe.com

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