SPRUCE: Abgas­be­hand­lung ohne Brenngas

Das neue Sys­tem der DAS Envi­ron­men­tal Expert GmbH ent­sorgt gefähr­li­che Abga­se aus der Halb­lei­ter­pro­duk­ti­on sicher und zuverlässig

Die DAS Envi­ron­men­tal Expert GmbH bie­tet ihren Kun­den ab sofort eine neue Anla­ge für die Abgas­rei­ni­gung an: SPRUCE ist ein Abgas­ent­sor­gungs­sys­tem, das ohne den Ein­satz von­Brenn­gas aus­kommt. „Damit schlie­ßen wir eine Lücke in unse­rem Port­fo­lio“, sagt Dr. Guy Davies, Geschäfts­be­reichs­lei­ter Abgas­ent­sor­gung bei der DAS Envi­ron­men­tal Expert GmbH. „Wir haben fest­ge­stellt, dass die Nach­fra­ge nach der­ar­ti­gen Anla­gen hoch ist. So gibt es Halb­lei­terfabs, die den Ein­satz von Brenn­gas grund­sätz­lich ver­mei­den wol­len. Zum ande­ren sind aber auch bestehen­de Fabs leich­ter nach­rüst­bar, wenn auf die Zufüh­rung von Brenn­gas ver­zich­tet wer­den kann. Das ist ein gro­ßer Markt, und wir haben jetzt das pas­sen­de Ange­bot dafür.“ 

Kos­ten­güns­ti­ge und zuver­läs­si­ge Behand­lung von Abgas aus Produktionsanlagen

SPRUCE ist beson­ders geeig­net für die Ent­sor­gung von Abga­sen aus Pro­zes­sen, die das Ver­fah­ren der che­mi­schen Gas­pha­sen­ab­schei­dung („Che­mi­cal Vapour Depo­si­ti­on“ – CVD) nut­zen. Dabei kom­men gas­för­mi­ge Sub­stan­zen zum Ein­satz, die teil­wei­se gif­tig, leicht ent­zünd­lich, explo­siv oder kli­ma­schäd­lich sind. SPRUCE ent­fernt Res­te davon kos­ten­güns­tig und zuver­läs­sig aus dem Abgas der Pro­duk­ti­ons­an­la­gen. „Die Pro­zess­ab­ga­se wer­den über bis zu vier Schad­gas­ein­gän­ge in den Reak­tor ein­ge­bracht, der von außen elek­trisch geheizt wird“, erläu­tert Davies die Funk­ti­ons­wei­se der Anla­ge. „Dort wer­den sie ther­misch zer­legt und es kommt dabei in Abhän­gig­keit von der Zusam­men­set­zung der Schad­ga­se zu ver­schie­de­nen che­mi­schen Reak­tio­nen. Anschlie­ßend wer­den die gas­för­mi­gen und fes­ten Reak­ti­ons­pro­duk­te in einer Nass­wasch­stre­cke, die dem ther­mi­schen Reak­tor nach­ge­schal­tet ist, durch eine ent­spre­chen­de Wasch­flüs­sig­keit gebun­den. Gleich­zei­tig erfolgt in der Nass­stre­cke die Abküh­lung der Abga­se.“ Das abge­kühl­te und gerei­nig­te Abgas kann danach ohne Pro­ble­me als Abluft abge­bla­sen werden. 

Klei­ne Flä­che, gerin­ger Inves­ti­ti­ons- und Wartungsaufwand

Die Abgas­rei­ni­gung erfolgt, ohne dass eine Flam­me ent­steht. Auf­grund des gerin­gen Flä­chen­be­dar­fes kann das Sys­tem sowohl im Fab-Base­ment als auch in unmit­tel­ba­rer Nähe der CVD-Anla­gen auf­ge­stellt wer­den. „SPRUCE zeich­net sich durch gerin­ge Inves­ti­ti­ons­kos­ten und eine hohe Anla­gen­ver­füg­bar­keit aus“, so Davies. Ein inte­grier­ter Rei­ni­gungs­me­cha­nis­mus in der Reak­ti­ons­kam­mer sorgt für lan­ge War­tungs­zy­klen. Die Anbin­dung des Sys­tems an ein Moni­to­ring-Netz­werk ist mög­lich. Für Anwen­dun­gen, bei denen eine Ver­füg­bar­keit von nahe­zu 100 Pro­zent erfor­der­lich ist, hat die DAS Envi­ron­men­tal Expert GmbH zudem die Vari­an­te SPRUCE DUO ent­wi­ckelt. Dabei han­delt es sich um eine Anla­ge mit zwei Reak­tor/­Wä­scher-Sys­te­men, die par­al­lel zuein­an­der arbei­ten kön­nen. Wenn es erfor­der­lich ist – bei­spiels­wei­se bei der War­tung eines der bei­den Sys­te­me – über­nimmt jeweils das ande­re die gesam­te Abgasbehandlung. 

Bei Rück­fra­gen wen­den Sie sich bit­te an:

Danie­la Geor­gi (Lei­te­rin Mar­ke­ting), Tele­fon: +49 351 40494130,

PR Pilo­ten GmbH & Co. KG, Robert Wei­chert, Tele­fon: +49 351 50 14 02 02,