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從廢氣處理到整合式環境解決方案,DAS Environmental Experts 過去 35 年來一直致力於支援半導體產業。作為全球領導者,我們結合先進的廢氣與廢水處理技術,以減少排放、降低營運成本,並實現永續的淨零排放製造。我們的解決方案確保最高效率、可靠性及運作時間——遍及全球,並提供強大的在地支援。


ALCEA – 先進觸媒催化氧化技術
先進的氮氧化物(NOx)減排技術。能耗極低、幾乎不佔用空間。
ALCEA 這是 DAS Environmental Experts 針對半導體製造過程所推出的全新二次處理解決方案,旨在高效降低氮氧化物(NOx)排放。該方案基於我們經過實證的電漿體增強催化技術, ALCEA 在將能耗降至最低的同時,實現高達 95% 的氮氧化物(NOx)處理效率。
專為直接整合至排氣管道而設計, ALCEA 幾乎不需要額外的佔地面積,且可輕鬆整合至新建或現有的Subfab基礎設備中。

內循環水資源——使用端廢氣處理技術結合水處理與回收
透過將廢氣處理與水處理及回收相結合,我們為更永續的半導體製造開闢了新契機。我們的整合式方法有助於 減少資源消耗與排放 同時使寶貴的水流得以經處理後再利用。
內循環水資源探討
讓我們來探討,整合式廢氣與廢水處理方案如何能降低貴公司製程中的資源消耗與排放量。

潔淨空氣——廢氣處理
從單一的使用端處理系統到全面的廢氣處理解決方案,我們開發的技術皆能精準符合您的特定製程需求。憑藉內部研發實力、德國本土製造以及全球服務網絡,我們將在系統的整個生命週期中為您提供支援。

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想進一步了解我們的產品,或討論您的具體需求嗎?歡迎聯繫我們的環境專家——我們期待與您繼續交流。

