工業界的細微粉塵

顆粒物質在工業中扮演著關鍵的角色,在職業健康和安全方面都會受到影響:在工業製程中,產生的廢氣必須可靠,其中的顆粒物質必須安全分離。尤其是高科技產業,對達思DAS Environmental Expert GmbH的解決方案更是信賴有加。

工業是細微粉塵的最大排放者之一

從能源生產到物流、生產流程和廢棄物處理,工業營運對空氣汙染帶來莫大影響。化工和採礦等行業中的溶劑使用,以及高科技產業中的生產製程,都是工業中細微粉塵的來源。

高科技產業中細微粉塵的來源

在半導體領域中,後端使用雷射切割晶圓就是細微粉塵的一個重要來源。特別是在磊晶製程等塗層製程之後,或在製造太陽能電池或平板螢幕時進行大表面塗層之後,使用熱製程(焚化爐)處理製程廢氣時都會產生粉塵微粒。如果不採取進一步措施,這些粉塵顆粒就會進入廢氣系統,導致堵塞等問題,從而迫使整個設備停止運轉。當細微粉塵釋放到大氣中時,也會對健康和環境造成危害。在工廠中,要審慎確保粉塵微粒不會進入無塵室等關鍵區域,因為細微粉塵會損壞設備和晶圓等產品。

 

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細微粉塵分離製程

細微粉塵對人和機器都會造成危害。特別是在工業製程中,必須安全可靠地處理產生的廢氣,並需要分離其中所含的細微粉塵。為此使用以下不同的製程:

旋風分離器、靜電分離器、濕式分離器和過濾分離器。為了分離細微粉塵,特別是PM2.5顆粒和超細微粒,往往使用靜電分離器或過濾分離器。旋風分離器則更適合粗顆粒。

靜電分離器

靜電過濾器運用電場來清除廢氣中的微粒、懸浮微粒和凝結液。因此,廢氣中的細微、極細微粉塵以及凝結的有機化合物都都被可靠、高效地清除。

濕式分離器

濕式煙氣處理設備使廢氣流接觸洗滌液,洗滌液會結合並局部溶解廢氣流中的微粒。將產生的混合物從廢氣流中分離出來,並對洗滌液進行淨化。

過濾分離器

在過濾分離器中,廢氣通常從外向內流經過濾元件。過濾沉澱在過濾介質上,形成所謂的濾餅,就是一層需要定期清除的粉塵。