TILIA – Doppelreaktorsystem mit interner Redundanz
TILIA ist ein Brenner-Wäscher System für fortschrittliche Ätz- und CVD-Anwendungen in der Halbleiterindustrie.
Abgasreinigung – TILIA
Entsorgung von pyrophoren, fluorierten, giftigen oder langlebigen umweltschädlichen Gasen und Reaktionsprodukten
Warum TILIA
TILIA ist ein System zur Entsorgung von pyrophoren, fluorierten, toxischen oder langlebigen umweltschädlichen Gasen und Reaktionsprodukten, die in chemischen und physikalischen Prozessen in der Halbleiter- und Solarindustrie eingesetzt werden oder durch den Prozess entstehen. Die Entsorgung erfolgt durch Verbrennung und anschließende Behandlung in der Waschstrecke mittels Waschflüssigkeit wobei Partikel und lösliche Gasbestandteile abgeschieden werden. Im Verhältnis Footprint zu Durchsatz bietet TILIA eine hervorragende Effizienz. Durch die zusätzliche Integration eines Prozess-Tool-Interface können die Betriebskosten optimiert werden.
TILIA DUO
TILIA DUO enthält zwei unabhängige Einheiten, die jeweils aus einem Verbrennungsreaktor und einem Wäscher mit einem darüber befindlichen integrierten Demister bestehen. Jede Einheit hat zudem ihre eigene Stromversorgung. TILIA DUO ist in den Varianten TILIA DUO 2+2, TILIA DUO 4+4 und TILIA DUO 6+6 verfügbar. Jede Einheit verfügt über 2, 4 oder 6 Abgaseinlässe sowie 2, 4 oder 6 weitere Einlässe, die über Back-up-Leitungen mit der jeweils anderen Einheit verbunden sind. Bei Bedarf kann das Abgas an den Eingängen einer der beiden Einheiten in die jeweils andere Einheit umgeleitet werden. Das System ist somit intern redundant und hat eine sehr hohe Verfügbarkeit.
TILIA – für anspruchsvolle Etch- und CVD-Verfahren
TILIA DUO ist ausgelegt, die steigenden Prozessgasströme effizient zu bewältigen und kann dadurch mehrere herkömmliche Abgasreinigungssysteme ersetzen.
Vorteile
- Brenner-Wäscher System (Scrubber) mit Flüssigkeitsrückführung
- Bedient bis zu 8 oder 12 Prozesskammern mit bis zu 2400 slm Gesamtdurchfluss in Abhängigkeit vom Prozess
- Beste Kapazität pro Stellfläche mit kosteneffektivem integriertem Backup
- Reaktorkapazität bis zu 1200 slm Edelgas (pro Reaktor) in Abhängigkeit vom Prozess
- Umsetzung der Sicherheitsanforderungen von neuen Prozessen bei höherer Anzahl von Prozessmodulen, größeren Prozessgasströmen und höheren Gesamtdurchflüssen
Anwendung
- CVD
- Etch (Metall, Poly, Oxides, etc.)
- Epitaxy
- GaN
- MOCVD
- LED
TILIA DUO 4+4
TILIA DUO 6+6
Funktionsprinzip der TILIA DUO
Verbrennungsreaktor
Das Abgas wird in den Verbrennungsreaktor geleitet und dort mit Hilfe von Brenngas (Erdgas, Propan, Wasserstoff) und einem Oxidationsmittel (Sauerstoff) verbrannt. Konstruktionsbedingt strömt das Abgas von oben nach unten durch den Verbrennungsreaktor. Die chemischen Bindungen werden aufgrund der hohen Temperatur im Reaktor aufgebrochen und oxidieren zu chemisch stabilen Verbindungen, die in der nachfolgenden Waschstrecke ausgewaschen werden.
Wäscher
Das behandelte Abgas durchströmt den Wäscher nach dem Gegenstromprinzip. Im Wäscher befinden sich mehrere Sprühdüsen und ein Demister. Mittels der Sprühdüsen wird Waschflüssigkeit in den Gasstrom gesprüht. Bei der Wäsche werden die Partikel in der Waschflüssigkeit suspendiert und die sauren Bestandteile durch eine basische Waschflüssigkeit neutralisiert.
Waschflüssigkeitstank und Rezirkulationskreislauf
Ein Waschflüssigkeitstank befindet sich unter dem Brenner und dem Wäscher und dient als Sammelbehälter für die Waschflüssigkeit. Die verwendete Flüssigkeit ist Wasser, dem je nach Ausführung Lauge zugesetzt werden kann. Die Waschflüssigkeit wird in einem Rezirkulationskreislauf umgewälzt und absorbiert lösliche Gasbestandteile. Kühlwasser-basierte Wärmeübertrager sorgen dafür, dass das System nicht überhitzt.
Demister
Im Demister werden die Wassertröpfchen abgeschieden. Das abgeschiedene Wasser gelangt in den Waschflüssigkeitsbehälter.
Technische Daten
| TILIA DUO 4+4 | TILIA DUO 6+6 | |
|---|---|---|
| Abpumpleistung: | 3000 slm (8 Einlässe) | 3000 slm (12 Einlässe) |
| Brennerleistung (einstellbar): | 2 x 100 kW | 2 x 100 kW |
| Einlässe: | 8 x DN40 mit interner Redundanz | 12 x DN40 mit interner Redundanz |
| Standzeit: | > 99.9% | > 99.9% |
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Dr. Christian Kuhne
Director Sales Global