TILIA – Dop­pel­re­ak­tor­sys­tem mit inter­ner Redundanz

TILIA ist ein Bren­ner-Wäscher Sys­tem für fort­schritt­li­che Ätz- und CVD-Anwen­dun­gen in der Halbleiterindustrie.

Abgas­rei­ni­gung – TILIA

Ent­sor­gung von pyro­pho­ren, fluo­rier­ten, gif­ti­gen oder lang­le­bi­gen umwelt­schäd­li­chen Gasen und Reaktionsprodukten

War­um TILIA

TILIA ist ein Sys­tem zur Ent­sor­gung von pyro­pho­ren, fluo­rier­ten, toxi­schen oder lang­le­bi­gen umwelt­schäd­li­chen Gasen und Reak­ti­ons­pro­duk­ten, die in che­mi­schen und phy­si­ka­li­schen Pro­zes­sen in der Halb­lei­ter- und Solar­in­dus­trie ein­ge­setzt wer­den oder durch den Pro­zess ent­ste­hen. Die Ent­sor­gung erfolgt durch Ver­bren­nung und anschlie­ßen­de Behand­lung in der Wasch­stre­cke mit­tels Wasch­flüs­sig­keit wobei Par­ti­kel und lös­li­che Gas­be­stand­tei­le abge­schie­den wer­den. Im Ver­hält­nis Foot­print zu Durch­satz bie­tet TILIA eine her­vor­ra­gen­de Effi­zi­enz. Durch die zusätz­li­che Inte­gra­ti­on eines Pro­zess-Tool-Inter­face kön­nen die Betriebs­kos­ten opti­miert werden.

TILIA DUO

TILIA DUO  ent­hält zwei unab­hän­gi­ge Ein­hei­ten, die jeweils aus einem Ver­bren­nungs­re­ak­tor und einem Wäscher mit einem dar­über befind­li­chen inte­grier­ten Demis­ter bestehen. Jede Ein­heit hat zudem ihre eige­ne Strom­ver­sor­gung. TILIA DUO ist in den Vari­an­ten TILIA DUO 2+2, TILIA DUO  4+4 und TILIA DUO 6+6 ver­füg­bar. Jede Ein­heit ver­fügt über 2, 4 oder 6 Abgas­ein­läs­se sowie 2, 4 oder 6 wei­te­re Ein­läs­se, die über Back-up-Lei­tun­gen mit der jeweils ande­ren Ein­heit ver­bun­den sind. Bei Bedarf kann das Abgas an den Ein­gän­gen einer der bei­den Ein­hei­ten in die jeweils ande­re Ein­heit umge­lei­tet wer­den. Das Sys­tem ist somit intern red­un­dant und hat eine sehr hohe Verfügbarkeit.

TILIA – für anspruchs­vol­le Etch- und CVD-Verfahren

TILIA DUO ist aus­ge­legt, die stei­gen­den Pro­zess­gas­strö­me effi­zi­ent zu bewäl­ti­gen und kann dadurch meh­re­re her­kömm­li­che Abgas­rei­ni­gungs­sys­te­me ersetzen. 

Vor­tei­le

  • Bren­ner-Wäscher Sys­tem (Scrub­ber) mit Flüssigkeitsrückführung
  • Bedient bis zu 8 oder 12 Pro­zess­kam­mern mit bis zu 2400 slm Gesamt­durch­fluss in Abhän­gig­keit vom Prozess
  • Bes­te Kapa­zi­tät pro Stell­flä­che mit kos­ten­ef­fek­ti­vem inte­grier­tem Backup
  • Reak­tor­ka­pa­zi­tät bis zu 1200 slm Edel­gas (pro Reak­tor) in Abhän­gig­keit vom Prozess
  • Umset­zung der Sicher­heits­an­for­de­run­gen von neu­en Pro­zes­sen bei höhe­rer Anzahl von Pro­zess­mo­du­len, grö­ße­ren Pro­zess­gas­strö­men und höhe­ren Gesamtdurchflüssen

Anwen­dung

  • CVD
  • Etch (Metall, Poly, Oxi­des, etc.)
  • Epi­ta­xy
  • GaN
  • MOCVD
  • LED
TILIA DUO 4+4 front right closed

TILIA DUO 4+4

TILIA-DUO-6+6_front-right_closed_M

TILIA DUO 6+6

Funk­ti­ons­prin­zip der TILIA DUO 

Ver­bren­nungs­re­ak­tor

Das Abgas wird in den Ver­bren­nungs­re­ak­tor gelei­tet und dort mit Hil­fe von Brenn­gas (Erd­gas, Pro­pan, Was­ser­stoff) und einem Oxi­da­ti­ons­mit­tel (Sau­er­stoff) ver­brannt. Kon­struk­ti­ons­be­dingt strömt das Abgas von oben nach unten durch den Ver­bren­nungs­re­ak­tor. Die che­mi­schen Bin­dun­gen wer­den auf­grund der hohen Tem­pe­ra­tur im Reak­tor auf­ge­bro­chen und oxi­die­ren zu che­misch sta­bi­len Ver­bin­dun­gen, die in der nach­fol­gen­den Wasch­stre­cke aus­ge­wa­schen werden.

Wäscher

Das behan­del­te Abgas durch­strömt den Wäscher nach dem Gegen­strom­prin­zip. Im Wäscher befin­den sich meh­re­re Sprüh­dü­sen und ein Demis­ter. Mit­tels der Sprüh­dü­sen wird Wasch­flüs­sig­keit in den Gas­strom gesprüht. Bei der Wäsche wer­den die Par­ti­kel in der Wasch­flüs­sig­keit sus­pen­diert und die sau­ren Bestand­tei­le durch eine basi­sche Wasch­flüs­sig­keit neutralisiert.

Opeation Principle_TILA-DUO_4+4

Wasch­flüs­sig­keits­tank und Rezirkulationskreislauf

Ein Wasch­flüs­sig­keits­tank befin­det sich unter dem Bren­ner und dem Wäscher und dient als Sam­mel­be­häl­ter für die Wasch­flüs­sig­keit. Die ver­wen­de­te Flüs­sig­keit ist Was­ser, dem je nach Aus­füh­rung Lau­ge zuge­setzt wer­den kann. Die Wasch­flüs­sig­keit wird in einem Rezir­ku­la­ti­ons­kreis­lauf umge­wälzt und absor­biert lös­li­che Gas­be­stand­tei­le. Kühl­was­ser-basier­te Wär­me­über­tra­ger sor­gen dafür, dass das Sys­tem nicht überhitzt.

Demis­ter

Im Demis­ter wer­den die Was­ser­tröpf­chen abge­schie­den. Das abge­schie­de­ne Was­ser gelangt in den Waschflüssigkeitsbehälter.

Tech­ni­sche Daten

TILIA DUO 4+4TILIA DUO 6+6
Abpump­leis­tung:3000 slm (8 Einlässe)3000 slm (12 Einlässe)
Bren­ner­leis­tung (ein­stell­bar):2 x 100 kW2 x 100 kW
Ein­läs­se:8 x DN40 mit inter­ner Redundanz12 x DN40 mit inter­ner Redundanz
Stand­zeit:> 99.9%> 99.9%
Dr. Chris­ti­an Kuhne

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Dr. Chris­ti­an Kuhne

Direc­tor Sales Global