Abgas­rei­ni­gung mit Gas­wä­schern

Was­ser­lös­li­che Schad­stof­fe aus Pro­zess­ab­ga­sen kön­nen mit rei­nen Nass­wä­schern sehr effi­zi­ent aus­ge­wa­schen wer­den. Vor allem in der Halb­lei­ter- und LED-Indus­trie wer­den die Point-of-Use Gas­wä­scher ein­ge­setzt, um das Fab-Abluft­sys­tem opti­mal vor Ver­un­rei­ni­gung und Kor­ro­si­on zu schüt­zen.

Unser Gas­wä­scher-Port­fo­lio im Über­blick

Die kom­pak­ten Abgas­wä­scher von DAS Envi­ron­men­tal Expert zeich­nen sich durch eine hohe Ent­sor­gungs­ef­fi­zi­enz und nied­ri­ge Anschaf­fungs­kos­ten aus. Eine Kopp­lung über das Pro­zess-Tool-Inter­face ist sowohl zur Erhö­hung der all­ge­mei­nen Sicher­heit als auch zur Opti­mie­rung der Betriebs­kos­ten sinn­voll.

AQUABATE – Abgas­rei­ni­gung durch Nass­wä­sche

Auf der Grund­la­ge der Nass­wä­scher-Tech­no­lo­gie hat DAS Envi­ron­men­tal Expert die AQU­ABA­TE-Pro­dukt­li­nie ent­wi­ckelt, die sehr fle­xi­bel und kun­den­spe­zi­fisch was­ser­lös­li­che Schad­stof­fe aus Pro­zess­ab­ga­sen am Point-of-Use ent­fernt.  Die Wäscher arbei­ten effi­zi­ent, benö­ti­gen wenig Platz und ver­rin­gern die Betriebs­kos­ten.

SALIX – Nass­wä­sche von Abga­sen aus Nass­bank­ap­pli­ka­tio­nen

Das Point-of-Use Nass­wä­scher-Kon­zept für die Behand­lung von Schad­ga­sen aus Sin­gel­wa­fer-Nass­bank­pro­zes­sen wur­de mit SALIX erfolg­reich umge­setzt und im Feld hun­dert­fach erfolg­reich eva­lu­iert. Die Anla­ge ermög­licht eine höhe­re Fle­xi­bi­li­tät bei Pro­zess­än­de­run­gen und spart, gegen­über älte­ren Kon­zep­ten, Stand­flä­che und Rein­raum­luft.