Abgasreinigung mit Gaswäschern
Wasserlösliche Schadstoffe aus Prozessabgasen können mit reinen Nasswäschern sehr effizient ausgewaschen werden. Vor allem in der Halbleiter- und LED-Industrie werden die Point-of-Use Gaswäscher eingesetzt, um das Fab-Abluftsystem optimal vor Verunreinigung und Korrosion zu schützen.
Unser Gaswäscher-Portfolio im Überblick
Die kompakten Abgaswäscher von DAS Environmental Expert zeichnen sich durch eine hohe Entsorgungseffizienz und niedrige Anschaffungskosten aus. Eine Kopplung über das Prozess-Tool-Interface ist sowohl zur Erhöhung der allgemeinen Sicherheit als auch zur Optimierung der Betriebskosten sinnvoll.
AQUABATE – Nasswäscher zur Abgasreinigung
Auf der Grundlage der Nasswäscher-Technologie hat DAS Environmental Expert die AQUABATE-Produktlinie entwickelt, die sehr flexibel und kundenspezifisch wasserlösliche Schadstoffe aus Prozessabgasen am Point-of-Use entfernt. Die Wäscher arbeiten effizient, benötigen wenig Platz und verringern die Betriebskosten.
SALIX – Nasswäsche von Abgasen aus Nassbankapplikationen
Das Point-of-Use Nasswäscher-Konzept für die Behandlung von Schadgasen aus Singelwafer-Nassbankprozessen wurde mit SALIX erfolgreich umgesetzt und im Feld hundertfach erfolgreich evaluiert. Die Anlage ermöglicht eine höhere Flexibilität bei Prozessänderungen und spart, gegenüber älteren Konzepten, Standfläche und Reinraumluft.