Abgasreinigung mit Gaswäschern

Wasserlösliche Schadstoffe aus Prozessabgasen können mit reinen Nasswäschern sehr effizient ausgewaschen werden. Vor allem in der Halbleiter- und LED-Industrie werden die Point-of-Use Gaswäscher eingesetzt, um das Fab-Abluftsystem optimal vor Verunreinigung und Korrosion zu schützen.

Unser Gaswäscher-Portfolio im Überblick

Die kompakten Abgaswäscher von DAS Environmental Expert zeichnen sich durch eine hohe Entsorgungseffizienz und niedrige Anschaffungskosten aus. Eine Kopplung über das Prozess-Tool-Interface ist sowohl zur Erhöhung der allgemeinen Sicherheit als auch zur Optimierung der Betriebskosten sinnvoll.

AQUABATE – Abgasreinigung durch Nasswäsche

Auf der Grundlage der Nasswäscher-Technologie hat DAS Environmental Expert die AQUABATE-Produktlinie entwickelt, die sehr flexibel und kundenspezifisch wasserlösliche Schadstoffe aus Prozessabgasen am Point-of-Use entfernt.  Die Wäscher arbeiten effizient, benötigen wenig Platz und verringern die Betriebskosten.

SALIX – Nasswäsche von Abgasen aus Nassbankapplikationen

Das Point-of-Use Nasswäscher-Konzept für die Behandlung von Schadgasen aus Singelwafer-Nassbankprozessen wurde mit SALIX erfolgreich umgesetzt und im Feld hundertfach erfolgreich evaluiert. Die Anlage ermöglicht eine höhere Flexibilität bei Prozessänderungen und spart, gegenüber älteren Konzepten, Standfläche und Reinraumluft.