Bren­ner/­Wä­scher-Anla­gen zur Abgas­rei­ni­gung

Die Kom­bi­na­ti­on von Abgas­bren­ner und Abgas­wä­scher in einem Sys­tem auf kleins­tem Raum ermög­licht die siche­re Ent­sor­gung der Schad­ga­se am Ort ihrer Ent­ste­hung (Point-of-Use). Die Bren­ner/­Wä­scher-Kom­bi­na­ti­on wird in ver­schie­de­nen DAS-Anla­gen zur Ent­sor­gung sehr unter­schied­li­cher umwelt­schäd­li­cher und gefähr­li­cher Abga­se ein­ge­setzt. In der Halb­lei­ter­indus­trie bei­spiels­wei­se kom­men ver­schie­de­ne Flu­or-Ver­bin­dun­gen, Ammo­ni­ak, Silan oder Was­ser­stoff zum Ein­satz.

Unse­re Bren­ner/­Wä­scher-Sys­te­me im Über­blick

Die Bren­ner/­Wä­scher-Kom­bi­na­ti­on wird in ver­schie­de­nen DAS-Anla­gen zur Ent­sor­gung sehr unter­schied­li­cher umwelt­schäd­li­cher und gefähr­li­cher Abga­se ein­ge­setzt. Unse­re kom­pak­ten Anla­gen benö­ti­gen wenig Platz und sind sehr war­tungs­freund­lich. Eine Kopp­lung über das Pro­zess-Tool-Inter­face ist sowohl zur Erhö­hung der all­ge­mei­nen Sicher­heit als auch zur Opti­mie­rung der Betriebs­kos­ten sinn­voll.

ESCAPE – Unser Basis­sys­tem für Pro­zess­ab­gas­rei­ni­gung

Die ESCAPE-Pro­dukt­li­nie ist die Basis unse­rer Point-of-Use Bren­ner-Wäscher-Tech­no­lo­gie, die sich nun schon seit mehr als 25 Jah­ren am Markt bewährt. Der Abgas­wä­scher (burn/wet) wird sehr fle­xi­bel und kun­den­spe­zi­fisch zur Rei­ni­gung fast aller anfal­len­den Pro­zess­ab­ga­se der Halb­lei­ter- und Pho­to­vol­ta­ik­in­dus­trie ein­ge­setzt. Neben unter­schied­li­chen Bau­hö­hen kann auch die Medi­en­ver­sor­gung der Sys­te­me varia­bel aus­ge­führt wer­den.

STYRAX – Rei­ni­gung von Abga­sen aus anspruchs­vol­len CVD-Pro­zes­sen

Die STY­RAX-Pro­dukt­li­nie bie­ten wir spe­zi­ell zur Ent­sor­gung von Abga­sen aus anspruchs­vol­len CVD-Pro­zes­sen in der Halb­lei­ter- und Pho­to­vol­ta­ik­in­dus­trie an. Unse­re Appli­ka­ti­ons­spe­zia­lis­ten kon­fi­gu­rie­ren die Abgas­bren­ner (burn/wet) kun­den­spe­zi­fisch. So kön­nen Medi­en­ver­sor­gung und ‑ver­brauch fle­xi­bel ange­passt wer­den.

 

UPTIMUM – Opti­mier­te Abgas­rei­ni­gung für eine hohe Ver­füg­bar­keit

Die UPTIMUM-Pro­dukt­li­nie haben wir zur Erhö­hung der Uptime (Anla­gen­ver­füg­bar­keit) spe­zi­el­ler CVD-Pro­zes­se in der Halb­lei­ter- und Pho­to­vol­ta­ik­in­dus­trie ent­wi­ckelt. Der Name UPTIMUM basiert auf dem eng­li­schen Begriff „Uptime“ und ver­weist auf die beson­ders hohe Ver­füg­bar­keit der Bren­ner/­Wä­scher-Anla­ge. Sie ist bei vie­len ver­schie­de­nen Appli­ka­tio­nen ein­setz­bar.