TSUGA – Bay Solution mit Mehrfachfunktionalität
TSUGA ist ein Stand-Alone Lösung für die Sekundäre Abgasreinigung von NOx und Feinstaub in der Halbleiterindustrie.
Abgasreinigung – TSUGA
Sekundäre Abgasreinigung für NOx und Feinstaub mit der TSUGA
Die Katalytischen-Systeme von DAS EE stellen eine fortschrittliche Lösung für die Halbleiterindustrie dar. Sie bieten eine überragende Leistung bei der sekundären Abgasreinigung, indem sie die Leistung der Selektiven Katalytischen Reduktion (SCR) mit Ammoniak für DeNOx und Feinstaubreduzierung durch einen hocheffektiven Membranfilter nutzen. Das Katalytische-System gewährleistet eine außergewöhnliche Reduktionseffizienz bei minimalem Energieverbrauch durch Rückgewinnung von mehr als 80 % der Prozesswärme. Mit dieser fortschrittlichen, zuverlässigen und umweltfreundlichen Lösung sind Sie den Umweltvorschriften immer einen Schritt voraus und können Ihre Nachhaltigkeitsziele erreichen.
Funktionsprinzip der Selektiven Katalytischen Reduktion und des Membranfilters
DeNOx: SCR (Selective Catalytic Reduction) mit Ammoniak
- Hohe Reduktionsleistung unabhängig von der NOx Quelle: bis zu 95% *
- Niedriger NH3 Schlupf: 10 ppm durch präzise Steuerung der dosierten Reduktionsmittel *
- Flexible Lösung für NO und NO2 in weiten Konzentrationsbereichen bis zu 4000 ppm bei einem Gesamtvolumenstrom von bis zu 5000 slm
- Geringer Energiebedarf: Niedrigtemperaturprozess und Energierückgewinnung durch Wärmetauscher
DeDust: Membranfilter (Oberflächen Filtration)
- Erforderliche Vorbehandlung für den Katalysator
- Hohe Reduktionseffizienz von PM2.5, PM10, Gesamtstaubanteil (bis zu 99,9%)
- Anwendbar für typische PM-Schadstoffe nach der Verbrennung
* Kompromiss zwischen NOx DRE und NH3 Schlupf: Eine Erhöhung des DRE führt zu einer Erhöhung des Schlupfes und umgekehrt.
TSUGA – Stand-Alone Lösung für die Sekundäre Abgasreinigung
Anwendung
- Sekundäre Abgasreinigung nach NOx-erzeugende Abgasreinigungssysteme, wie z.B. Brenner-Wäscher-Systeme
Ziele
- Hohe NOx Reduktionseffizienz und geringer NH3 Schlupf in den Anlagen
- Hoher Wirkungsgrad bei der Staubentfernung
- Hohe Kapazität
- Hohe Unterdruckstabilität
- Sekundäre Abgasreinigung nach NOx-erzeugende Abgasreinigungssysteme, wie z.B. Brenner-Wäscher-Systeme
- Keine Auswirkungen auf vorgelagerte Abgasreinigungssysteme
- Hohe Energie-Effizienz
Technische Daten
| TSUGA | |
|---|---|
| Abmessungen (B x T x H): | 1980 mm x 1200 mm x 1940 mm |
| Wartungsbereich: | Vorderseite |
| SCR-Reaktor mit Katalysator: | Hohe Volumenstromkapazität bis zu 5000 slm |
| Partikelfilter: | PM2.5, PM10, Gesamtstaubanteil: bis zu 99,9% |
Beratung und Technologieauswahl
Die Auswahl der geeigneten Technologie erfolgt durch unsere Anwendungsspezialisten nach Analyse der Situation vor Ort. Dabei sind Informationen über das Prozesswerkzeug, die Vakuumpumpe, die Gasarten und ‑ströme sowie die verfügbaren Betriebsmittel entscheidend.
Um eine langfristige Laufzeit und Werkzeugverfügbarkeit zu gewährleisten, stehen unser Service und technischer Support auf Abruf oder vor Ort zur Verfügung, sobald die Anlage in Betrieb genommen wurde.
Dr. Christian Kuhne
Director Sales Global