Point-of-Use Abgasreinigung mit STYRAX
Zur STYRAX-Produktfamilie gehören Point-of-Use Brenner/Wäscher-Systeme, die speziell zur Entsorgung von Prozessabgasen aus besonders anspruchsvollen CVD-Prozessen sowie aus Etch‑, EPI- und LED-Prozessen in der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie entwickelt wurden. Vor dem Hintergrund des Klimawandels und der zunehmenden Notwendigkeit, erneuerbare Energien zu nutzen, ist STYRAX auch als Plasma-Wäscher zur Behandlung aller Arten von Abgasen unter Verwendung von Elektrizität verfügbar. Und dies bei gleicher Performance!
Die Medienversorgung kann bei beiden Anlagen kundenspezifisch angepasst werden. Der geringe Wartungsaufwand erhöht zudem die Anlagenverfügbarkeit.
Abgasreinigung – STYRAX
Behandlung von Abgasen mit STYRAX
Warum STYRAX
Die Entwicklung der STYRAX-Produktfamilie basiert auf zwei wesentlichen Ansprüchen für eine moderne Abgasreinigung: Verbesserte PFC-Behandlung und Wartungsintervalle. Außerdem ist die Nasswäscherstufe HF-optimiert, d. h. Wasser- und/oder Laugenverbrauch sind minimiert. Das spezielle Design der Schadgaseinlässe verhindert ein Verblocken. Für spezielle Prozesse sind weitere Optionen zur Verlängerung der Wartungsintervalle entwickelt worden.
Funktionsprinzipien der STYRAX-Produktfamilie im Überblick
Funktionsprinzip der STYRAX als Brenner-Wäscher
Die Schadstoffe in den Prozessabgasen werden direkt am Ort ihres Entstehens (Point-of-Use) beseitigt. Bei der optimierten Brenner/Wäscher-Technologie der STYRAX erfolgt das Brennen von oben nach unten. Abhängig von der chemischen Zusammensetzung der Abgase kommt es in der Flamme zu verschiedenen Reaktionen (Oxidation, Reduktion, Pyrolyse). Ein Flüssigkeitsfilm verhindert die Ablagerung von Feststoffpartikeln an der Reaktorinnenwand und beugt Korrosion vor.
In der Waschkolonne, die parallel zum Reaktor angeordnet ist, werden lösliche Komponenten absorbiert und Partikel suspendiert. Gleichzeitig erfolgt die Abkühlung der Verbrennungsprodukte durch die Waschflüssigkeit. Halogenwasserstoffe, die im Verbrennungsprozess entstehen, werden sofort ausgewaschen und neutralisiert. Der Einsatz von STYRAX im Rahmen eines umfassenden Entsorgungskonzeptes ermöglicht somit die Einhaltung der TA Luft (rechtliche Vorschrift zur Reinhaltung der Luft).
Die Alternative zum Brenngas – STYRAX Plasma-Wäscher
Die STYRAX Plasma-Wäscher setzen neue Maßstäbe in der Abgasreinigung, indem sie elektrische Energie direkt und höchst effizient nutzen. Dank der Integration eines leistungsstarken DC-Plasma-Torchs und einer 15-kW-Stromversorgung wird eine optimale Energieausbeute erzielt.
Das bewährte Reaktordesign und die Waschstufe wurden beibehalten, wodurch die STYRAX Plasma-Wäscher ebenso zuverlässig und wartungsfreundlich sind wie ihre erdgasbetriebenen Vorgängermodelle. Der Footprint bleibt unverändert kompakt. Gleichzeitig wird der Energieverbrauch um beeindruckende 50 % gesenkt!
STYRAX-Vorteile
- Höchste DRE von CF4, SF6 oder NF3 ≥ 99 %
- Hohe Kapazität für CVD-Gase SiH4, TEOS, H2 usw.
- Abpumpkapazität 1.000 slm
- Geringer Wasserverbrauch durch geschlossenes Design
- Wartungszyklen für CVD-Prozesse > 1 Monat
- SEMI 2 Zertifizierung
STYRAX DUO – Abgasreinigung mit Backup-Funktion
STYRAX DUO ist das Standardmodell der Produktlinie. Zwei Brenner/Wäscher-Systeme arbeiten parallel zueinander. Das Doppelsystem ist optimiert für bis zu vier unabhängige Schadgaseinlässe von Prozessanlagen der Halbleiter- oder Photovoltaikindustrie. Im Falle einer Betriebsstörung oder der Wartung eines Reaktors übernimmt der jeweils andere Reaktor die vollständige Abgasbehandlung (internes Backup). Dadurch wird eine nahezu 100-prozentige Verfügbarkeit der Prozessanlage(n) erreicht. Unterschiedliche Brenngase und Waschflüssigkeiten können verwendet werden. Die Anlage ist mit einem wassersparenden Kreislaufsystem für die Waschflüssigkeit ausgestattet. STYRAX DUO EPI ist ein spezialisiertes System zur Abgasreinigung für die Entsorgung von Epitaxie-Prozessen.
Weitere Produkte der Produktfamilie – ohne Backup-System
STYRAX INLINE ist optimiert mit einem Reaktor für bis zu sechs unabhängige Schadgaseinlässe von Prozessanlagen der Halbleiter- oder Photovoltaikindustrie.
STYRAX TWICE ist ein Doppelsystem mit zwei unabhängigen Brenner-Wäscher-Systemen mit einer gemeinsamen Steuerung und Medienzuführung. Bis zu acht unabhängige Schadgaseinlässe von Prozessanlagen der Halbleiter- oder Photovoltaikindustrie sind möglich.
Technische Daten
| STYRAX INLINE | STYRAX TWICE | |
|---|---|---|
| Größe (B x T x H): | 1110 mm x 675 mm x 2070 mm | 1865 mm x 675 mm x 2070 mm |
| Wartungsfläche: | vor und hinter der Anlage | vor und hinter der Anlage |
| Gaseinlass: | 3 x DN40 + 3 x DN25 | 2 x 4 DN40 |
| Gasauslass: | DN100 | 2 x DN100 |
Optionen
Grundsätzlich können alle STYRAX-Anlagen optional wie folgt ausgestattet werden:
- Bis zu 6 Schadgaseinlässe
- Vollständig beheizte Schadgasrohre bis zu 200°C
- Kreislaufsystem: Wasser, Lauge
- Prozess-Tool-Interface
- Signalampel
- Tropfwanne
- Stromversorgung: 3 x 400 V/50 Hz oder 3 x 208 V/60 Hz
- Burn-Wet mit Brenngas NG, LPG oder Wasserstoff | alternativ als Plasma-Wet
- Oxidant: O2, CDA
- Adaptive Verbrennungsregelung – Integrierte NOx-Emissionsminderung in CVD-Prozessen
- Reinigungssystem (Plunger) zur Ablagerungsreduktion an Schadgaseinlässen
- Gespülter Liner – Reaktordesign zur Ablagerungsvermeidung bei Ätzprozessen
- Zusatzlüfter für Unterdruck
- Erdbeben-Sicherheitsset
- Monitoring
Beratung und Verfahrensauswahl
Die Auswahl des passenden Verfahrens erfolgt durch unsere Applikationsspezialisten nach Analyse der Situation vor Ort. Informationen zu Prozessanlage, Vakuumpumpe, Gastypen und ‑flüssen sowie den verfügbaren Betriebsmitteln sind dafür ausschlaggebend. Sprechen Sie uns dazu an.
Dr. Christian Kuhne
Director Sales Global