Point-of-Use Abgas­rei­ni­gung mit STYRAX

Zur STYRAX-Pro­dukt­fa­mi­lie gehö­ren Point-of-Use Bren­ner/­Wä­scher-Sys­te­me, die spe­zi­ell zur Ent­sor­gung von Pro­zess­ab­ga­sen aus beson­ders anspruchs­vol­len CVD-Pro­zes­sen sowie aus Etch‑, EPI- und LED-Pro­zes­sen in der Halb­lei­ter- und Pho­to­vol­ta­ik­in­dus­trie ent­wi­ckelt wur­den. Vor dem Hin­ter­grund des Kli­ma­wan­dels und der zuneh­men­den Not­wen­dig­keit, erneu­er­ba­re Ener­gien zu nut­zen, ist STYRAX auch als Plas­ma-Wäscher zur Behand­lung aller Arten von Abga­sen unter Ver­wen­dung von Elek­tri­zi­tät ver­füg­bar. Und dies bei glei­cher Performance!

Die Medi­en­ver­sor­gung kann bei bei­den Anla­gen kun­den­spe­zi­fisch ange­passt wer­den. Der gerin­ge War­tungs­auf­wand erhöht zudem die Anlagenverfügbarkeit.

Abgas­rei­ni­gung – STYRAX

Behand­lung von Abga­sen mit STYRAX

War­um STYRAX

Die Ent­wick­lung der STYRAX-Pro­dukt­fa­mi­lie basiert auf zwei wesent­li­chen Ansprü­chen für eine moder­ne Abgas­rei­ni­gung: Ver­bes­ser­te PFC-Behand­lung und War­tungs­in­ter­val­le. Außer­dem ist die Nass­wä­scher­stu­fe HF-opti­miert, d. h. Was­ser- und/oder Lau­gen­ver­brauch sind mini­miert. Das spe­zi­el­le Design der Schad­gas­ein­läs­se ver­hin­dert ein Ver­blo­cken. Für spe­zi­el­le Pro­zes­se sind wei­te­re Optio­nen zur Ver­län­ge­rung der War­tungs­in­ter­val­le ent­wi­ckelt worden.

Funk­ti­ons­prin­zi­pi­en der STYRAX-Pro­dukt­fa­mi­lie im Überblick

Funk­ti­ons­prin­zip der STYRAX als Brenner-Wäscher

Die Schad­stof­fe in den Pro­zess­ab­ga­sen wer­den direkt am Ort ihres Ent­ste­hens (Point-of-Use) besei­tigt. Bei der opti­mier­ten Bren­ner/­Wä­scher-Tech­no­lo­gie der STYRAX erfolgt das Bren­nen von oben nach unten. Abhän­gig von der che­mi­schen Zusam­men­set­zung der Abga­se kommt es in der Flam­me zu ver­schie­de­nen Reak­tio­nen (Oxi­da­ti­on, Reduk­ti­on, Pyro­ly­se). Ein Flüs­sig­keits­film ver­hin­dert die Abla­ge­rung von Fest­stoff­par­ti­keln an der Reak­to­rin­nen­wand und beugt Kor­ro­si­on vor.

In der Wasch­ko­lon­ne, die par­al­lel zum Reak­tor ange­ord­net ist, wer­den lös­li­che Kom­po­nen­ten absor­biert und Par­ti­kel sus­pen­diert. Gleich­zei­tig erfolgt die Abküh­lung der Ver­bren­nungs­pro­duk­te durch die Wasch­flüs­sig­keit. Halo­gen­was­ser­stof­fe, die im Ver­bren­nungs­pro­zess ent­ste­hen, wer­den sofort aus­ge­wa­schen und neu­tra­li­siert. Der Ein­satz von STYRAX im Rah­men eines umfas­sen­den Ent­sor­gungs­kon­zep­tes ermög­licht somit die Ein­hal­tung der TA Luft (recht­li­che Vor­schrift zur Rein­hal­tung der Luft).

DAS EE Operation Principal STYRAX
Operation-Principle_STYRAX_Plasma-Wet

Die Alter­na­ti­ve zum Brenn­gas – STYRAX Plasma-Wäscher

Die STYRAX Plas­ma-Wäscher set­zen neue Maß­stä­be in der Abgas­rei­ni­gung, indem sie elek­tri­sche Ener­gie direkt und höchst effi­zi­ent nut­zen. Dank der Inte­gra­ti­on eines leis­tungs­star­ken DC-Plas­ma-Torchs und einer 15-kW-Strom­ver­sor­gung wird eine opti­ma­le Ener­gie­aus­beu­te erzielt.

Das bewähr­te Reak­tor­de­sign und die Wasch­stu­fe wur­den bei­be­hal­ten, wodurch die STYRAX Plas­ma-Wäscher eben­so zuver­läs­sig und war­tungs­freund­lich sind wie ihre erd­gas­be­trie­be­nen Vor­gän­ger­mo­del­le. Der Foot­print bleibt unver­än­dert kom­pakt. Gleich­zei­tig wird der Ener­gie­ver­brauch um beein­dru­cken­de 50 % gesenkt!

STYRAX-Vor­tei­le 

  • Höchs­te DRE von CF4, SF6 oder NF3 ≥ 99 %
  • Hohe Kapa­zi­tät für CVD-Gase SiH4, TEOS, H2 usw.
  • Abpump­ka­pa­zi­tät 1.000 slm
  • Gerin­ger Was­ser­ver­brauch durch geschlos­se­nes Design
  • War­tungs­zy­klen für CVD-Pro­zes­se > 1 Monat
  • SEMI 2 Zertifizierung

STYRAX DUO – Abgas­rei­ni­gung mit Backup-Funktion

STYRAX DUO ist das Stan­dard­mo­dell der Pro­dukt­li­nie. Zwei Bren­ner/­Wä­scher-Sys­te­me arbei­ten par­al­lel zuein­an­der. Das Dop­pel­sys­tem ist opti­miert für bis zu vier unab­hän­gi­ge Schad­gas­ein­läs­se von Pro­zess­an­la­gen der Halb­lei­ter- oder Pho­to­vol­ta­ik­in­dus­trie. Im Fal­le einer Betriebs­stö­rung oder der War­tung eines Reak­tors über­nimmt der jeweils ande­re Reak­tor die voll­stän­di­ge Abgas­be­hand­lung (inter­nes Back­up). Dadurch wird eine nahe­zu 100-pro­zen­ti­ge Ver­füg­bar­keit der Prozessanlage(n) erreicht. Unter­schied­li­che Brenn­ga­se und Wasch­flüs­sig­kei­ten kön­nen ver­wen­det wer­den. Die Anla­ge ist mit einem was­ser­spa­ren­den Kreis­lauf­sys­tem für die Wasch­flüs­sig­keit aus­ge­stat­tet. STYRAX DUO EPI ist ein spe­zia­li­sier­tes Sys­tem zur Abgas­rei­ni­gung für die Ent­sor­gung von Epitaxie-Prozessen.

DAS EE STYRAX DUO 3D Rendering

Wei­te­re Pro­duk­te der Pro­dukt­fa­mi­lie – ohne Backup-System

 

DAS EE STYRAX Inline 3D Rendering

STYRAX INLINE ist opti­miert mit einem Reak­tor für bis zu sechs unab­hän­gi­ge Schad­gas­ein­läs­se von Pro­zess­an­la­gen der Halb­lei­ter- oder Photovoltaikindustrie.

DAS EE STYRAX TWICE 3D Rendering

STYRAX TWICE ist ein Dop­pel­sys­tem mit zwei unab­hän­gi­gen Bren­ner-Wäscher-Sys­te­men mit einer gemein­sa­men Steue­rung und Medien­zu­füh­rung. Bis zu acht unab­hän­gi­ge Schad­gas­ein­läs­se von Pro­zess­an­la­gen der Halb­lei­ter- oder Pho­to­vol­ta­ik­in­dus­trie sind möglich.

Tech­ni­sche Daten

STYRAX INLINESTYRAX TWICE
Grö­ße (B x T x H):1110 mm x 675 mm x 2070 mm1865 mm x 675 mm x 2070 mm
War­tungs­flä­che:vor und hin­ter der Anlagevor und hin­ter der Anlage
Gas­ein­lass:3 x DN40 + 3 x DN252 x 4 DN40
Gas­aus­lass:DN1002 x DN100

Optio­nen

Grund­sätz­lich kön­nen alle STYRAX-Anla­gen optio­nal wie folgt aus­ge­stat­tet werden:

  • Bis zu 6 Schadgaseinlässe
  • Voll­stän­dig beheiz­te Schad­gas­roh­re bis zu 200°C
  • Kreis­lauf­sys­tem: Was­ser, Lauge
  • Pro­zess-Tool-Inter­face
  • Signal­am­pel
  • Tropf­wan­ne
  • Strom­ver­sor­gung: 3 x 400 V/50 Hz oder 3 x 208 V/60 Hz
  • Burn-Wet mit Brenn­gas NG, LPG oder Was­ser­stoff | alter­na­tiv als Plasma-Wet
  • Oxi­dant: O2, CDA
  • Adap­ti­ve Ver­bren­nungs­re­ge­lung – Inte­grier­te NOx-Emis­si­ons­min­de­rung in CVD-Prozessen
  • Rei­ni­gungs­sys­tem (Plun­ger) zur Abla­ge­rungs­re­duk­ti­on an Schadgaseinlässen
  • Gespül­ter Liner – Reak­tor­de­sign zur Abla­ge­rungs­ver­mei­dung bei Ätzprozessen
  • Zusatz­lüf­ter für Unterdruck
  • Erd­be­ben-Sicher­heits­set
  • Moni­to­ring
Dr. Chris­ti­an Kuhne

Bera­tung und Verfahrensauswahl

Die Aus­wahl des pas­sen­den Ver­fah­rens erfolgt durch unse­re Appli­ka­ti­ons­spe­zia­lis­ten nach Ana­ly­se der Situa­ti­on vor Ort. Infor­ma­tio­nen zu Pro­zess­an­la­ge, Vaku­um­pum­pe, Gas­ty­pen und ‑flüs­sen sowie den ver­füg­ba­ren Betriebs­mit­teln sind dafür aus­schlag­ge­bend. Spre­chen Sie uns dazu an.

Dr. Chris­ti­an Kuhne

Direc­tor Sales Global