Point-of-Use Abgas­rei­ni­gung mit STYRAX

Zur STY­RAX-Pro­dukt­fa­mi­lie gehö­ren Point-of-Use Bren­ner/­Wä­scher-Sys­te­me, die spe­zi­ell zur Ent­sor­gung von Pro­zess­ab­ga­sen aus beson­ders anspruchs­vol­len CVD-Pro­zes­sen in der Halb­lei­ter- und Pho­to­vol­ta­ik­in­dus­trie ent­wi­ckelt wur­den. Die Medi­en­ver­sor­gung der Anla­gen kann kun­den­spe­zi­fisch ange­passt wer­den. Ein gerin­ger War­tungs­auf­wand erhöht die Anla­gen­ver­füg­bar­keit.

Abgas­rei­ni­gung – STYRAX

Behand­lung von Abga­sen mit STYRAX

Die Ent­wick­lung der STY­RAX-Pro­dukt­fa­mi­lie basiert auf zwei wesent­li­chen Ansprü­chen für eine moder­ne Abgas­rei­ni­gung: Ver­bes­ser­te PFC-Behand­lung und War­tungs­in­ter­val­le. Um dies zu errei­chen, wur­den eini­ge tech­no­lo­gi­sche Neue­run­gen im Port­fo­lio von DAS Envi­ron­men­tal Expert ein­ge­führt. Das Bren­nen erfolgt nun nach dem Top-Down-Prin­zip (von oben nach unten). Die Nass­wä­scher­stu­fe ist HF-opti­miert, d. h. Was­ser- und/oder Lau­gen­ver­brauch sind mini­miert. Das spe­zi­el­le Design der Schad­gas­ein­läs­se ver­hin­dert ein Ver­blo­cken. Für spe­zi­el­le Pro­zes­se sind wei­te­re Optio­nen zur Ver­län­ge­rung der War­tungs­in­ter­val­le ent­wi­ckelt wor­den.

Funk­ti­ons­prin­zip der STY­RAX-Abgas­wä­scher

Die Schad­stof­fe in den Pro­zess­ab­ga­sen wer­den direkt am Ort ihres Ent­ste­hens (Point-of-Use) besei­tigt. Bei der opti­mier­ten Bren­ner/­Wä­scher-Tech­no­lo­gie der STYRAX erfolgt das Bren­nen von oben nach unten. Abhän­gig von der che­mi­schen Zusam­men­set­zung der Abga­se kommt es in der Flam­me zu ver­schie­de­nen Reak­tio­nen (Oxi­da­ti­on, Reduk­ti­on, Pyro­ly­se). Ein Flüs­sig­keits­film ver­hin­dert die Abla­ge­rung von Fest­stoff­par­ti­keln an der Reak­to­rin­nen­wand und beugt Kor­ro­si­on vor. In der Wasch­ko­lon­ne, die par­al­lel zum Reak­tor ange­ord­net ist, wer­den lös­li­che Kom­po­nen­ten absor­biert und Par­ti­kel sus­pen­diert. Gleich­zei­tig erfolgt die Abküh­lung der Ver­bren­nungs­pro­duk­te durch die Wasch­flüs­sig­keit. Halo­gen­was­ser­stof­fe, die im Ver­bren­nungs­pro­zess ent­ste­hen, wer­den sofort aus­ge­wa­schen und neu­tra­li­siert. Der Ein­satz von STYRAX im Rah­men eines umfas­sen­den Ent­sor­gungs­kon­zep­tes ermög­licht somit die Ein­hal­tung der TA Luft (recht­li­che Vor­schrift zur Rein­hal­tung der Luft).

STYRAX DUO – Abgas­rei­ni­gung mit Back­up-Funk­ti­on

STYRAX DUO ist das Stan­dard­mo­dell der Pro­dukt­li­nie. Zwei Bren­ner/­Wä­scher-Sys­te­me arbei­ten par­al­lel zuein­an­der. Das Dop­pel­sys­tem ist opti­miert für bis zu vier unab­hän­gi­ge Schad­gas­ein­läs­se von Pro­zess­an­la­gen der Halb­lei­ter- oder Pho­to­vol­ta­ik­in­dus­trie. Im Fal­le einer Betriebs­stö­rung oder der War­tung eines Reak­tors über­nimmt der jeweils ande­re Reak­tor die voll­stän­di­ge Abgas­be­hand­lung (inter­nes Back­up). Dadurch wird eine nahe­zu 100-pro­zen­ti­ge Ver­füg­bar­keit der Prozessanlage(n) erreicht. Unter­schied­li­che Brenn­ga­se und Wasch­flüs­sig­kei­ten kön­nen ver­wen­det wer­den. Die Anla­ge ist mit einem was­ser­spa­ren­den Kreis­lauf­sys­tem für die Wasch­flüs­sig­keit aus­ge­stat­tet. STYRAX DUO EPI ist ein spe­zia­li­sier­tes Sys­tem zur Abgas­rei­ni­gung für die Ent­sor­gung von Epi­ta­xie-Pro­zes­sen.

Spe­zi­fi­ka­tio­nen

  • Je Reak­tor bis zu zwei getrenn­te Schad­gas­ein­läs­se
  • Fast 100 % Ver­füg­bar­keit auf­grund der Back­up-Funk­ti­on
  • Back­up-Reak­tor erlaubt unter­bre­chungs­frei­en Betrieb wäh­rend der War­tung
  • Ver­schie­de­ne Brenn­ga­se und Wasch­flüs­sig­kei­ten mög­lich
  • Gerin­ger Was­ser­ver­brauch auf­grund des Kreis­lauf­sys­tems

 

Wei­te­re Pro­dukt­va­ri­an­ten – ohne Back­up-Sys­tem

 

STYRAX INLINE ist opti­miert mit einem Reak­tor für bis zu sechs unab­hän­gi­ge Schad­gas­ein­läs­se von Pro­zess­an­la­gen der Halb­lei­ter- oder Pho­to­vol­ta­ik­in­dus­trie.

STYRAX TWICE ist ein Dop­pel­sys­tem mit zwei unab­hän­gi­gen Bren­ner/­Wä­scher-Sys­te­men mit einer gemein­sa­men Steue­rung und Medien­zu­füh­rung. Bis zu acht unab­hän­gi­ge Schad­gas­ein­läs­se von Pro­zess­an­la­gen der High­tech­in­dus­trie sind mög­lich.

Tech­ni­sche Daten

 STYRAX INLINESTYRAX TWICE
Grö­ße (B x T x H):1110 mm x 675 mm x 2070 mm1865 mm x 675 mm x 2070 mm
War­tungs­flä­che:vor und hin­ter der Anla­gevor und hin­ter der Anla­ge
Gas­ein­lass:6 x DN25 oder 4 x DN402 x 4 DN25 oder DN40
Gas­aus­lass:DN1002 x DN100

Grund­sätz­lich kön­nen alle STY­RAX-Anla­gen optio­nal wie folgt aus­ge­stat­tet wer­den

  • Strom­ver­sor­gung: 3 x 400 V/50 Hz oder 3 x 208 V/60 Hz
  • Brenn­gas: NG, LPG
  • Oxidant: O2, CDA
  • Kreis­lauf­sys­tem: Was­ser, Lau­ge
  • Hei­zung für Schad­gas­ein­läs­se und ‑lei­tun­gen
  • Pro­zess-Tool-Inter­face
  • Signal­am­pel
  • Tropf­wan­ne
  • Erd­be­ben-Sicher­heits­set
  • Moni­to­ring
  • SEMI S2-Zer­ti­fi­zie­rung

Zer­ti­fi­ka­te