Point-of-Use Abgasreinigung mit SALIX

Der SALIX-Gaswäscher wurde für neue Anforderungen bei nasschemischen Reinigungsprozessen (Wet Clean Technology) in der Halbleiterindustrie entwickelt. Die Anlage entsorgt u. a. zuverlässig Isopropylalkohole (IPA), Ammoniak und Fluorwasserstoff aus den Abgasströmen moderner „single wafer clean“ Anlagen.

SALIX – Nasswäscher zur Abgasreinigung

Abgasreinigung mit SALIX

SALIX wurde als alternative Lösung zum Ersatz von Gasumschaltsystemen (Switching Boxes) entwickelt. Die grundlegenden Vorteile der Anlage sind dabei vielfältig: kleinere und einfachere Abluftleitungen, geringere Last für die zentralen Abluftsysteme, höhere Flexibilität bei Prozessänderungen und geringere Standfläche. Detaillierte Hintergründe werden in unserer Fallstudie zu Nassbank-Prozessen in der Halbleiterindustrie aufgeführt.

Funktionsprinzip der SALIX-Abgaswäscher

Über bis zu zwölf separate Einlässe werden die Schadgase in einen Vorwäscher geleitet und mittels Sprühdüsen vorgewaschen. Danach gelangen die Gase in die erste Waschstrecke und strömen zwangsweise von unten nach oben durch eine Füllkörperpackung, die über Sprühdüsen mit Waschflüssigkeit versorgt wird. Durch die große Oberfläche der Füllkörper und das Gegenstromprinzip ist eine optimale Absorption der Schadgase möglich.

Nach der ersten Waschstrecke durchströmt das Gas einen Tröpfchenabscheider, um eine Verschleppung von Waschflüssigkeit zu verhindern. In der zweiten Waschstrecke wird in der Regel mit einer anderen Waschflüssigkeit gewaschen. Inhaltsstoffe der Schadgase, die in der ersten Waschstrecke nicht reagiert haben, können somit in der zweiten Waschstrecke besser absorbiert werden. Nachdem mitgerissene Tröpfchen des Gasstroms in einem Demister abgeschieden wurden, entspricht das verbleibende Restgas den Vorschriften zur Reinhaltung der Luft (TA Luft).

SALIX-Nasswäscher entfernt wasserlösliche Schadstoffe aus Single-Wafer-Clean-Prozessen

Gaswäscher der SALIX-Produktfamilie können entsprechend den spezifischen Kundenanforderungen für Inert-Abgasströme zwischen 2.000 bis 5.000 m3/h modifiziert werden. Entsprechend ist auch der Platzbedarf variabel.

Technische Daten

  • Größe (B x T x H) Einstufiger Wäscher: 2000 mm x 1250 mm x 1965 bis 2378 mm (mit Bypass)
  • Größe (B x T x H) Zweistufiger Wäscher: 3207 mm x 1250 mm x 2040 bis 2575 mm (mit Bypass)
  • Gaseinlass: max. 12 x DN 150
  • Gasauslass: DN 300

Optionen

Grundsätzlich können alle SALIX-Anlagen wie folgt optional ausgestattet werden:

  • Stromversorgung: 3 x 400 V/50 Hz oder 3 x 208 V/60 Hz
  • Bypass
  • Signalampel
  • Tropfwanne
  • Erdbeben-Sicherheitsset
  • Monitoring
  • SEMI S2-Zertifizierung

Zertifikate