DAS-Anla­gen rei­ni­gen zuver­läs­sig Abga­se aus der MEMS-Pro­duk­ti­on

Mikro-Elek­tro­me­cha­ni­sche Sys­te­me (MEMS) kom­bi­nie­ren auf einem Chip mecha­ni­sche Bestand­tei­le, wie Sen­so­ren und Akto­ren, und elek­tro­ni­sche Bau­grup­pen, wie Aus­wer­te- und Kom­mu­ni­ka­ti­ons­tech­nik. Kom­men noch opti­sche Ele­men­te hin­zu, dann spricht man von Mikro-Opto-Elek­tro­me­cha­ni­schen Sys­te­men (MOEMS). DAS bie­tet zuver­läs­si­ge Abgas­lö­sun­gen für die MEMS-Pro­duk­ti­on.

Ent­sor­gungs­tech­nik aus Dres­den für einen Wachs­tums­markt

 

Für Zukunfts­tech­no­lo­gien wie Indus­trie 4.0, selbst­fah­ren­de Auto­mo­bi­le oder das Inter­net der Din­ge („Inter­net of Things“ – IoT) sind MEMS-Bau­tei­le von grund­le­gen­der Bedeu­tung, weil sie Bin­de­glied sind zwi­schen der ana­lo­gen Welt und der digi­ta­len Daten­ver­ar­bei­tung. Ent­spre­chend stark wach­sen der­zeit die Märk­te und Markt­an­tei­le von MEMS. So sind die­se Bau­ele­men­te schon heu­te sehr gefragt im Auto­mo­ti­ve-Bereich, wo sie dazu bei­tra­gen, Fahr­kom­fort und Sicher­heit zu ver­bes­sern.

Auch bei­spiels­wei­se zum Ein­satz in der Auto­ma­ti­sie­rungs­tech­nik wer­den stei­gen­de Stück­zah­len gefer­tigt. Bei der Her­stel­lung von MEMS ergän­zen die Abgas­rei­ni­gungs­an­la­gen der DAS Envi­ron­men­tal Expert GmbH wir­kungs­voll die eigent­li­che Pro­duk­ti­ons­tech­nik. Egal, wel­ches Equip­ment Sie ein­set­zen und mit wel­chen Ver­fah­ren Sie fer­ti­gen – unse­re Ent­sor­gungs­tech­nik ent­fernt gefähr­li­che Sub­stan­zen direkt am Ort ihrer Ent­ste­hung („Point-of-Use“) aus dem Abgas­strom.

Point-of-Use-Abgas­ent­sor­gungs­an­la­gen erhö­hen die Sicher­heit in der Fer­ti­gung von MEMS bei allen Pro­zess­schrit­ten

Zur Pro­duk­ti­on von MEMS wer­den Ver­fah­ren ein­ge­setzt, wie sie auch sonst in der Halb­lei­ter­indus­trie üblich sind. Ins­be­son­de­re Mikro­sys­te­me auf einem Chip wer­den mit nor­ma­len Tech­no­lo­gien der Mikro­elek­tro­nik gefer­tigt, ergänzt durch eini­ge weni­ge spe­zi­el­le Ver­fah­rens­schrit­te. Die DAS Envi­ron­men­tal Expert GmbH ent­wi­ckelt, pro­du­ziert und instal­liert bereits seit ihrer Grün­dung in den 90er Jah­ren maß­ge­schnei­der­te Abgas-Ent­sor­gungs­tech­nik für die Halb­lei­ter­fer­ti­gung. Selbst­ver­ständ­lich über­neh­men wir auf Wunsch unse­rer Kun­den auch die Betreu­ung und War­tung unse­rer Anla­gen.

Von den ver­schie­de­nen Mög­lich­kei­ten, dün­ne Schich­ten abzu­schei­den, ob reak­ti­ves Sput­tern, ALD oder CVD/PECVD, über diver­se Tech­no­lo­gien für das Ätzen und Struk­tu­rie­ren bis hin zum Wafer Clea­ning – wir bie­ten Ihnen für alle Arbeits­schrit­te die pas­sen­den Anla­gen zur Abgas­rei­ni­gung an. Unse­re Tech­no­lo­gie basiert dabei auf einem fle­xi­blen, inte­grier­ten Anla­gen­kon­zept. Auf­grund ihrer klei­nen Grund­flä­che – in der Regel pas­sen unse­re Anla­gen in einen Schrank und benö­ti­gen weni­ger als einen Qua­drat­me­ter Stell­flä­che – ist es mög­lich, die Ent­sor­gungs­tech­nik von DAS direkt neben dem Pro­duk­ti­on­se­quip­ment zu instal­lie­ren.

Die Ent­sor­gung gefähr­li­cher Gase und Gas­ge­mi­sche erfolgt somit sicher und zuver­läs­sig direkt am Point-of-Use. Das kann durch den Ein­satz von Brenner/Wäscher-Sys­te­men, sepa­ra­ten Bren­nern oder Gas­wä­schern und mit Hil­fe elek­tro­sta­ti­scher Fil­ter erreicht wer­den. Die von Schad­stof­fen und Par­ti­keln gerei­nig­ten Gase kön­nen beden­ken­los über das Abluft­sys­tem in die Umge­bung abge­ge­ben wer­den. Die Abluft aus unse­ren Anla­gen erfüllt die behörd­li­chen Anfor­de­run­gen.

In unse­rem Port­fo­lio fin­den Sie Ent­sor­gungs­tech­nik für alle  Pro­zes­se, die zur Pro­duk­ti­on von MEMS ein­ge­setzt wer­den. Unse­re Anla­gen arbei­ten voll auto­ma­ti­siert und sen­sor­ge­steu­ert. Sie erfül­len höchs­te Sicher­heits­stan­dards, was auch durch die ent­spre­chen­den Zer­ti­fi­ka­te doku­men­tiert ist..