DAS-Anlagen reinigen zuverlässig Abgase aus der MEMS-Produktion

Mikro-Elektromechanische Systeme (MEMS) kombinieren auf einem Chip mechanische Bestandteile, wie Sensoren und Aktoren, und elektronische Baugruppen, wie Auswerte- und Kommunikationstechnik. Kommen noch optische Elemente hinzu, dann spricht man von Mikro-Opto-Elektromechanischen Systemen (MOEMS). DAS bietet zuverlässige Abgaslösungen für die MEMS-Produktion.

Entsorgungstechnik aus Dresden für einen Wachstumsmarkt

 

Für Zukunftstechnologien wie Industrie 4.0, selbstfahrende Automobile oder das Internet der Dinge („Internet of Things“ – IoT) sind MEMS-Bauteile von grundlegender Bedeutung, weil sie Bindeglied sind zwischen der analogen Welt und der digitalen Datenverarbeitung. Entsprechend stark wachsen derzeit die Märkte und Marktanteile von MEMS. So sind diese Bauelemente schon heute sehr gefragt im Automotive-Bereich, wo sie dazu beitragen, Fahrkomfort und Sicherheit zu verbessern.

Auch beispielsweise zum Einsatz in der Automatisierungstechnik werden steigende Stückzahlen gefertigt. Bei der Herstellung von MEMS ergänzen die Abgasreinigungsanlagen der DAS Environmental Expert GmbH wirkungsvoll die eigentliche Produktionstechnik. Egal, welches Equipment Sie einsetzen und mit welchen Verfahren Sie fertigen – unsere Entsorgungstechnik entfernt gefährliche Substanzen direkt am Ort ihrer Entstehung („Point-of-Use“) aus dem Abgasstrom.

Point-of-Use-Abgasentsorgungsanlagen erhöhen die Sicherheit in der Fertigung von MEMS bei allen Prozessschritten

Zur Produktion von MEMS werden Verfahren eingesetzt, wie sie auch sonst in der Halbleiterindustrie üblich sind. Insbesondere Mikrosysteme auf einem Chip werden mit normalen Technologien der Mikroelektronik gefertigt, ergänzt durch einige wenige spezielle Verfahrensschritte. Die DAS Environmental Expert GmbH entwickelt, produziert und installiert bereits seit ihrer Gründung in den 90er Jahren maßgeschneiderte Abgas-Entsorgungstechnik für die Halbleiterfertigung. Selbstverständlich übernehmen wir auf Wunsch unserer Kunden auch die Betreuung und Wartung unserer Anlagen.

Von den verschiedenen Möglichkeiten, dünne Schichten abzuscheiden, ob reaktives Sputtern, ALD oder CVD/PECVD, über diverse Technologien für das Ätzen und Strukturieren bis hin zum Wafer Cleaning – wir bieten Ihnen für alle Arbeitsschritte die passenden Anlagen zur Abgasreinigung an. Unsere Technologie basiert dabei auf einem flexiblen, integrierten Anlagenkonzept. Aufgrund ihrer kleinen Grundfläche – in der Regel passen unsere Anlagen in einen Schrank und benötigen weniger als einen Quadratmeter Stellfläche – ist es möglich, die Entsorgungstechnik von DAS direkt neben dem Produktionsequipment zu installieren.

Die Entsorgung gefährlicher Gase und Gasgemische erfolgt somit sicher und zuverlässig direkt am Point-of-Use. Das kann durch den Einsatz von Brenner/Wäscher-Systemen, separaten Brennern oder Gaswäschern und mit Hilfe elektrostatischer Filter erreicht werden. Die von Schadstoffen und Partikeln gereinigten Gase können bedenkenlos über das Abluftsystem in die Umgebung abgegeben werden. Die Abluft aus unseren Anlagen erfüllt die behördlichen Anforderungen.

In unserem Portfolio finden Sie Entsorgungstechnik für alle  Prozesse, die zur Produktion von MEMS eingesetzt werden. Unsere Anlagen arbeiten voll automatisiert und sensorgesteuert. Sie erfüllen höchste Sicherheitsstandards, was auch durch die entsprechenden Zertifikate dokumentiert ist..