Behandlung von Abgasen der LED-Industrie mit LARCH

Das LARCH-Brennersystem haben die DAS-Experten speziell für die Point-of-Use Reinigung von Abgasen aus MOCVD-Prozessen in der LED-Industrie entwickelt. Dort müssen große Wasserstoff- und Ammoniakmengen und auch kleinere Mengen Metallorganika und Dotierungsstoffe aus dem Abgasstrom entfernt werden.

Abgasreinigung – LARCH

Behandlung von Abgasen mit Brenner-Technologie

Die Verfahrenskombination von Oxidation und Pyrolyse erweitert das DAS-Technologieportfolio nachhaltig. Geringe Investitions- und Betriebskosten, ein einfacher, robuster Aufbau und die hohe Umweltverträglichkeit zeichnen LARCH aus. Das System erzeugt weder CO2-Emissionen noch Abwasser. NOx-Emissionen sind stark reduziert. Bestehende Installationen überzeugen mit einem Wartungszyklus von mehr als sechs Monaten. Der Zugang für Bedienung und Wartung des LARCH-Abgasbrenners erfolgt von drei Seiten. Eine Prozesskopplung ist sowohl zur Erhöhung der allgemeinen Sicherheit als auch zur Optimierung der Betriebskosten sinnvoll. Die Prozessgasabwärme kann durch Wärmetauscher in unterschiedlichen Ausführungen für andere Produktionsbereiche nutzbar gemacht werden.

Funktionsprinzip des LARCH-Systems

Das System arbeitet in drei Stufen: Zuerst erfolgt die Zersetzung von Ammoniak in einem speziellen, gepackten Pyrolyserohr. Danach wird der Wasserstoff gezündet. Das Schadgas oxidiert vollständig im Reaktor und wird abschließend im Wärmetauscher abgekühlt (< 60 °C) und über das Abluftsystem an die Umwelt abgegeben. Es entspricht den rechtlichen Vorschriften zur Reinhaltung der Luft (TA Luft).

Ihre Vorteile

  • Kein CO2-Ausstoß: keine Treibhausgase, sehr geringer NOx-Ausstoß
  • Kein Abwasser: Kein Problem mit NH4+ Abwasserlimits
  • Behandlung von H2 am Point-of-Use: Maximale Sicherheit bezüglich H2
  • Interne Sicherheit: H2-Verdünnung im Feuerfall

Technische Daten

  • Größe (B x T x H): 1350 mm x 1000 mm x 2000 mm
  • Wartungsfläche vor, hinter und über dem Tool
  • Gaseinlass: DN40
  • Gasauslass: DN300 (Standard)

Optionen

Grundsätzlich können LARCH-Abgassysteme wie folgt optional ausgestattet werden:

  • Stromversorgung: 3 x 400 V/50 Hz oder 3 x 208 V/60 Hz
  • Kühlung nur mit Umgebungsluft (kein Kühlwasser)
  • Prozess-Tool-Interface
  • Signalampel
  • Tropfwanne
  • Erdbeben-Sicherheitsset