Behand­lung von Abga­sen der LED-Indus­trie mit LARCH

Das LARCH-Bren­ner­sys­tem haben die DAS-Exper­ten spe­zi­ell für die Point-of-Use Rei­ni­gung von Abga­sen aus MOCVD-Pro­zes­sen in der LED-Indus­trie ent­wi­ckelt. Dort müs­sen gro­ße Was­ser­stoff- und Ammo­niak­men­gen und auch klei­ne­re Men­gen Metall­orga­nika und Dotie­rungs­stof­fe aus dem Abgas­strom ent­fernt wer­den.

Abgas­rei­ni­gung – LARCH

Behand­lung von Abga­sen mit LARCH

Die Ver­fah­rens­kom­bi­na­ti­on von Oxi­da­ti­on und Pyro­ly­se erwei­tert das DAS-Tech­no­lo­gie­portfo­lio nach­hal­tig. Gerin­ge Inves­ti­ti­ons- und Betriebs­kos­ten, ein ein­fa­cher, robus­ter Auf­bau und die hohe Umwelt­ver­träg­lich­keit zeich­nen LARCH aus. Das Sys­tem erzeugt weder CO2-Emis­sio­nen noch Abwas­ser. NOx-Emis­sio­nen sind stark redu­ziert. Bestehen­de Instal­la­tio­nen über­zeu­gen mit einem War­tungs­zy­klus von mehr als sechs Mona­ten. Der Zugang für Bedie­nung und War­tung des LARCH-Abgas­bren­ners erfolgt von drei Sei­ten. Eine Pro­zess­kopp­lung ist sowohl zur Erhö­hung der all­ge­mei­nen Sicher­heit als auch zur Opti­mie­rung der Betriebs­kos­ten sinn­voll. Die Pro­zess­gas­ab­wär­me kann durch Wär­me­tau­scher in unter­schied­li­chen Aus­füh­run­gen für ande­re Pro­duk­ti­ons­be­rei­che nutz­bar gemacht wer­den.

Funk­ti­ons­prin­zip des LARCH-Sys­tems

Das Sys­tem arbei­tet in drei Stu­fen: Zuerst erfolgt die Zer­set­zung von Ammo­ni­ak in einem spe­zi­el­len, gepack­ten Pyro­ly­se­rohr. Danach wird der Was­ser­stoff gezün­det. Das Schad­gas oxi­diert voll­stän­dig im Reak­tor und wird abschlie­ßend im Wär­me­tau­scher abge­kühlt (< 60 °C) und über das Abluft­sys­tem an die Umwelt abge­ge­ben. Es ent­spricht den recht­li­chen Vor­schrif­ten zur Rein­hal­tung der Luft (TA Luft).

Ihre Vor­tei­le

  • Kein CO2-Aus­stoß: kei­ne Treib­haus­ga­se, sehr gerin­ger NOx-Aus­stoß
  • Kein Abwas­ser: Kein Pro­blem mit NH4+ Abwas­ser­li­mits
  • Behand­lung von H2 am Point-of-Use: Maxi­ma­le Sicher­heit bezüg­lich H2
  • Inter­ne Sicher­heit: H2-Ver­dün­nung im Feu­er­fall

Tech­ni­sche Daten

  • Grö­ße (B x T x H): 1350 mm x 1000 mm x 2000 mm
  • War­tungs­flä­che vor, hin­ter und über dem Tool
  • Gas­ein­lass: DN40
  • Gas­aus­lass: DN300 (Stan­dard)

Optio­nen

Grund­sätz­lich kön­nen LARCH-Abgas­sys­te­me wie folgt optio­nal aus­ge­stat­tet wer­den:

  • Strom­ver­sor­gung: 3 x 400 V/50 Hz oder 3 x 208 V/60 Hz
  • Küh­lung nur mit Umge­bungs­luft (kein Kühl­was­ser)
  • Pro­zess-Tool-Inter­face
  • Signal­am­pel
  • Tropf­wan­ne
  • Erd­be­ben-Sicher­heits­set