Brenner-Wäscher-Anlagen zur Abgasreinigung
Die Kombination von Abgasbrenner und Abgaswäscher in einem System auf kleinstem Raum ermöglicht die sichere Entsorgung der Schadgase am Ort ihrer Entstehung (Point-of-Use).
Abgasbehandlung in der Halbleiterindustrie
Die Brenner/Wäscher-Kombination wird in verschiedenen DAS-Anlagen zur Entsorgung sehr unterschiedlicher umweltschädlicher und gefährlicher Abgase eingesetzt. In der Halbleiterindustrie beispielsweise kommen verschiedene Fluor-Verbindungen, Ammoniak, Silan oder Wasserstoff zum Einsatz. Unsere kompakten Anlagen benötigen wenig Platz und sind sehr wartungsfreundlich. Eine Kopplung über das Prozess-Tool-Interface ist sowohl zur Erhöhung der allgemeinen Sicherheit als auch zur Optimierung der Betriebskosten sinnvoll.
ESCAPE – Unser Basissystem für Prozessabgasreinigung
Die ESCAPE-Produktlinie ist die Basis unserer Point-of-Use Brenner-Wäscher-Technologie, die sich nun schon seit mehr als 25 Jahren am Markt bewährt. Der Abgaswäscher (burn/wet) wird sehr flexibel und kundenspezifisch zur Reinigung fast aller anfallenden Prozessabgase der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie eingesetzt. Neben unterschiedlichen Bauhöhen kann auch die Medienversorgung der Systeme variabel ausgeführt werden.
STYRAX – Reinigung von Abgasen aus anspruchsvollen CVD-Prozessen
Die STYRAX-Produktlinie bieten wir speziell zur Entsorgung von Abgasen aus anspruchsvollen CVD-Prozessen in der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie an. Unsere Applikationsspezialisten konfigurieren die als Brenner-Wäscher-Anlage oder auch Plasma-Wäscher erhältliche Anlage kundenspezifisch. So können Medienversorgung und ‑verbrauch flexibel angepasst werden.
TILIA – Doppelreaktorsystem mit interner Redundanz
TILIA ist eine kompakte Lösung für die sichere Entsorgung pyrophorer, fluorierter und toxischer Prozessgase in der Halbleiter- und Solarindustrie. Durch die Kombination von Verbrennung und Nasswäsche wird eine maximale Abscheideleistung erreicht. Erfahren Sie, wie TILIA mehrere Ihrer herkömmlichen Abgasreinigungssysteme ersetzen kann.
UPTIMUM – Optimierte Abgasreinigung für eine hohe Verfügbarkeit
Die UPTIMUM-Produktlinie haben wir zur Erhöhung der Uptime (Anlagenverfügbarkeit) spezieller CVD-Prozesse in der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie entwickelt. Der Name UPTIMUM basiert auf dem englischen Begriff „Uptime“ und verweist auf die besonders hohe Verfügbarkeit der Brenner/Wäscher-Anlage. Sie ist bei vielen verschiedenen Applikationen einsetzbar.
